激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法与流程

文档序号:16775743发布日期:2019-02-01 18:42阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法,该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成,CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成,遮光筒内部进行黑化处理,积分球上设置有可移动的顶盖,待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间,CCD成像组件设置于待测样品的正上方,激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧,积分球上设置有探测器。本发明装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息,而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。

技术研发人员:高爱华;侯劲尧;刘卫国;闫丽荣;江坤
受保护的技术使用者:西安工业大学
技术研发日:2018.11.05
技术公布日:2019.02.01
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