技术特征：
技术总结
一种纳米孔三明治阵列结构及其制作方法，涉及微纳医疗检测应用技术领域，首先在基体两侧表面各沉积一层低应力Si3N4纳米薄膜，刻蚀基体一侧的Si3N4薄膜形成硅表面，另一侧形成基体释放窗口，沉积出密度与尺寸均可控的金属纳米颗粒，随后沉积保护层，再刻蚀所述保护层形成纳米颗粒窗口，再刻蚀所述硅基体得到SiO2/Si复合膜结构，再刻蚀得到硅纳米孔结构，接着，沉积一层较厚的第一绝缘层薄膜，从背面刻蚀出第一绝缘层/Si双层纳米孔阵列结构。最后，在双层纳米孔阵列结构背面沉积一层较薄的第二绝缘层薄膜，形成第一绝缘层/Si/第二绝缘层三明治结构，本发明提出的制造方法可实现固态纳米孔传感器的大规模集成制造。有效地降低了固态纳米孔阵列的制造成本，提高了制造效率。
技术研发人员：袁志山;谢志鹏;王成勇
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：2018.11.14
技术公布日：2019.04.16