一种压阻式陶瓷压力传感器的制作方法

文档序号:16180784发布日期:2018-12-07 22:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压阻式陶瓷压力传感器,包括传感器本体,其特征在于,所述传感器本体设置陶瓷座(1),所述陶瓷座(1)的上端面设置弹性膜片(3),所述弹性膜片(3)上设置电源正极(5)、输出负极(6)、电源负极(7)和输出正极(8),所述弹性膜片(3)上端面还设置电阻(10)与弹性膜片(3)之间固定连接,所述弹性膜片(3)上设置焊盘(11),所述传感器本体设置传感器芯片(12),所述传感器芯片(12)设置在陶瓷座(1)的内部,所述陶瓷座(1)的侧壁上设置垫片(13),所述垫片(13)与陶瓷座(1)之间固定连接;所述陶瓷座(1)的端面为三角形结构;所述陶瓷座(1)的上三个脚处设置定位槽(9);所述定位槽(9)为弧形接结构。

2.根据权利要求1所述的压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述陶瓷座(1)上设有陶瓷座安装孔(2)。

3.根据权利要求1所述的压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述陶瓷座(1)的高度为3.5-6.5mm,所述陶瓷座(1)的边长为15mm。

4.根据权利要求1所述的压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述弹性膜片(3)上设置弹性膜片安装孔(4),所述弹性膜片(3)与陶瓷座(1)之间固定连接。

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