1.一种显微扫描装置,包含:
一撷像机构,包含:
一分光元件,具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路;
一感光元件,设置于该第一光路上,用以撷取一物件的一影像,其中该物件设置于该第二光路上;
一成像镜,设置于该第一光路上,用以汇聚来自该物件的一影像光,其中该成像镜设置于该感光元件与该分光元件之间;
一显微物镜,设置于该第二光路上,用以汇聚来自该物件的该影像光,其中该显微物镜设置于该分光元件与该物件之间;以及
一光源,设置于该第三光路上,用以提供一照明光至该分光元件;其中,该照明光沿该第三光路以及该第二光路到达该物件,且该影像光沿该第二光路以及该第一光路到达该感光元件;以及
一物件驱动机构,用以驱动该物件移动或转动,以供该感光元件扫描该物件。
2.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该物件驱动机构驱动该物件的一边缘位于该第二光路上,以扫描该边缘。
3.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该物件驱动机构包含一移动单元,其中该物件设置于该移动单元上。
4.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该物件驱动机构包含一转动单元,其中该物件设置于该转动单元上。
5.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该物件驱动机构包含一步进马达。
6.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该物件驱动机构包含一平台,其中该物件设置于该平台上。
7.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该感光元件包含一电荷耦合元件或一互补式金属氧化物半导体。
8.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该成像镜包含一凸透镜。
9.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该显微物镜包含一凸透镜。
10.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,该撷像机构还包含:
一影像处理单元,与该感光元件电性连接,用以接收并分析该物件的该影像,以产生一品质参数。
11.如权利要求1所述的显微扫描装置,其特征在于,还包含:
一聚焦驱动机构,用以驱动该撷像机构沿该第二光路的方向移动,其中该物件位于该显微物镜的焦点上。