技术总结
一种显微扫描装置,包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源设置于第三光路上,且光源提供一照明光经由分光元件至物件。其中,照明光沿第三光路以及第二光路到达物件,且影像光沿第二光路以及第一光路到感光元件。物件驱动机构驱动物件移动或转动,以供撷像机构在同轴照明下扫描物件。
技术研发人员:杨景中
受保护的技术使用者:上海中晶科技有限公司
技术研发日:2018.04.13
技术公布日:2018.10.19