一种气体传感器及传感器阵列的制作方法

技术特征：

1.一种气体传感器，其特征在于，具有基体结构和悬梁结构，包括自下而上依次层叠设置的如下各部分：

硅衬底；

检测电极，包括第一基部，所述第一基部的一侧边设有向上翘曲的第一悬臂，所述第一悬臂的自由端设有第一卷曲部；第一基部远离第一悬臂的一侧设有第一窗口，所述第一悬臂上设有第二窗口，该第二窗口沿第一悬臂延伸至第一卷曲部，并将第一卷曲部分割，第二窗口与第一窗口联通，将检测电极分割为两部分；第一基部位于第一窗口两侧的位置处分别设有第一引线；

第一隔离膜，为氮化硅层，包括第二基部，所述第二基部的一侧边设有向上翘曲的第二悬臂，所述第二悬臂的自由端设有第二卷曲部；第二基部对应于第一引线的位置设有第一透过孔，所述第一引线穿过第一透过孔暴露在外；

加热电阻，包括第三基部，所述第三基部的一侧边设有向上翘曲的第三悬臂，所述第三悬臂的自由端设有第三卷曲部；第三基部背离第三悬臂的一侧设有第三窗口，所述第三悬臂上设有第四窗口，该第四窗口沿第三悬臂延伸至第三卷曲部，第四窗口与第三窗口联通；第三基部位于第三窗口两侧的位置处分别设有第二引线；所述加热电阻的厚度小于第一隔离膜的厚度，且加热电阻不覆盖第一基部；

第二隔离膜，为氮化硅层，包括第四基部，所述第四基部的一侧边设有向上翘曲的第四悬臂，所述第四悬臂的自由端设有第四卷曲部；第四基部上对应于第二引线的位置设有第二透过孔；且第四基部不遮盖第一透过孔；

所述第一基部、第二基部、第三基部和第四基部对应设置形成所述基体结构；所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂对应设置，且所述第一卷曲部、第二卷曲部、第三卷曲部及第四卷曲部由内至外依次设置形成所述悬梁结构；

所述第一卷曲部外包裹有气敏材料。

2.根据权利要求1所述的一种气体传感器，其特征在于，所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂的水平投影呈矩形。

3.根据权利要求1所述的一种气体传感器，其特征在于，所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂的水平投影呈等腰梯形，且沿远离基体结构的方向，所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂的宽度逐渐增大。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种气体传感器，其特征在于，所述第一隔离膜上设有第一孔，所述第一孔自第二悬臂靠近第二基部的一端延伸至第二卷曲部。

5.根据权利要求4所述的一种气体传感器，其特征在于，所述第二隔离膜上设有第二孔，所述第二孔自第四悬臂靠近第四基部的一端延伸至第四卷曲部，并与第一孔对应设置。

6.根据权利要求1所述的一种气体传感器，其特征在于，所述第三基部、第四基部位于第一透过孔朝向第二悬臂的一侧；或第三基部位于第一透过孔背离第二悬臂的一侧，且第四基部上对应于第一透过孔设置有第三透过孔，第三悬臂位于两个第一透过孔之间。

7.根据权利要求1所述的一种气体传感器，其特征在于，所述检测电极、第一隔离膜、加热电阻、第二隔离膜的厚度均为

8.一种气体传感器阵列，其特征在于，由多个如权利要求1-7任一项所述的一种气体传感器构成。