技术总结
本实用新型公开了一种气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、检测电极、第一隔离膜、加热电阻和第二隔离膜，具有基体结构和自由端卷曲的悬臂结构，在悬臂结构的端部上设有气敏材料。本实用新型还提供了一种由气体传感器组成的传感器阵列，本实用新型的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，加热均匀，检测响应速度更快，并具有生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率的好处。
技术研发人员：许磊;彭书峰;谢东成;周睿颖
受保护的技术使用者：合肥微纳传感技术有限公司
技术研发日：2018.05.11
技术公布日：2019.01.01