一种敏感膜及传感器的制作方法

文档序号:16724120发布日期:2019-01-25 16:42阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种敏感膜,其特征在于:包括膜本体,在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构,所述折环结构呈非封闭的环状;所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区,所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的;所述非封闭区设置有至少两个,所述环状的折环结构被至少两个非封闭区间隔成至少两个区段;其中,至少有两个区段的横截面不同。

2.根据权利要求1所述的敏感膜,其特征在于:至少有两个非封闭区的长度不相等。

3.根据权利要求1所述的敏感膜,其特征在于:至少有两个区段的长度不相等。

4.根据权利要求1所述的敏感膜,其特征在于:所述环状的折环结构中,每个非封闭区的长度相等,且均匀分布在折环结构的周向方向上。

5.根据权利要求4所述的敏感膜,其特征在于:所述区段设置有复数个,且至少四个,对称分布的两个区段的横截面相同,相邻的两个区段的横截面不同。

6.根据权利要求1所述的敏感膜,其特征在于:所述折环结构设置有多个,该多个折环结构依次分布在膜本体的径向方向上。

7.根据权利要求1所述的敏感膜,其特征在于:所述折环结构呈圆形。

8.根据权利要求1所述的敏感膜,其特征在于:每个区段的横截面选自上凸的锯齿状、下凸的锯齿状或者V形中的一种。

9.一种传感器,其特征在于:包括如权利要求1至8任一项所述的敏感膜。

10.根据权利要求9所述的传感器,其特征在于:所述传感器为压力传感器、麦克风或扬声器。

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