一种快照式全场白光干涉显微测量装置的制作方法

文档序号:17315052发布日期:2019-04-05 20:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种快照式全场白光干涉显微测量装置,其特征在于:它包括宽光谱光源(1)、准直扩束匀光镜头(2)、分束器(3)、轴向色散型干涉显微物镜(4)、载物台(6)、成像耦合镜头(7)、快照式光谱成像探测器(8)、数据传输控制线(9)、计算机(10);

被测元件(5)置于载物台(6)上,被测元件(5)与宽光谱光源(1)各自的位置在测量所用光谱范围的中心波长下满足物像共轭关系;准直扩束匀光镜头(2)、分束器(3)、轴向色散型干涉显微物镜(4)、成像耦合镜头(7)和快照式光谱成像探测器(8)之间呈共光路结构;

宽光谱光源(1)位于准直扩束匀光镜头(2)的前焦面位置,宽光谱光源(1)发出的复色光经准直扩束匀光镜头(2)成为平行光均匀入射至分束器(3)表面;所述分束器(3)将平行、均匀的复色光反射进入轴向色散型干涉显微物镜(4),分别输出一路沿轴向色散并聚焦至不同深度位置的测量光和一路无轴向色散的复色参考光;轴向色散的测量光由被测元件(5)反射返回,与复色参考光经轴向色散型干涉显微物镜(4)混合形成干涉信号,再依次通过分束器(3)和成像耦合镜头(7)传输至快照式光谱成像探测器(8),快照式光谱成像探测器(8)将采集到的图像数据经数据传输控制线(9)传输至计算机(10)。

2.根据权利要求1所述的一种快照式全场白光干涉显微测量装置,其特征在于:所述的快照式光谱成像探测器为多孔径光谱滤波相机、可调谐阶梯光栅成像仪、光谱分辨探测器阵列、计算层析成像光谱仪、快照式编码孔径光谱成像仪、堆栈滤波光谱分解仪、重组光纤成像光谱仪、透镜阵列积分场成像光谱仪、图像折叠成像光谱仪、图像映射光谱仪、多光谱萨格纳克光谱仪、快照式高光谱傅里叶变换成像仪中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种快照式全场白光干涉显微测量装置,其特征在于:所述的轴向色散型干涉显微物镜为基于轴向衍射光学元件的Michelson型、Mirau型、Linik型干涉显微物镜中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种快照式全场白光干涉显微测量装置,其特征在于:所述的宽光谱光源为卤素灯、白光LED、超连续谱激光器中的一种。

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