一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置的制作方法

本实用新型属于电阻测量技术领域，尤其涉及一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置。

背景技术：

导电薄膜的方块电阻又称膜电阻、面电阻，简称方阻，是指薄膜状导体任意正方形状对边之间的电阻，在该薄膜厚度不变的情况下它为一定值，不随正方形的面积大小而变化。方电阻的值可以用于表征半导体导电薄膜的导电性能，是研究半导体物理器件不可缺少的量。目前常见的测试方法有霍尔效应法、四探针法及人工铟丝直接测量法。霍尔效应法所用的设备价格昂贵、要求较高、测试成本较大，制作测试电极损坏样品，是一种有损测量方法；四探针法的测量设备虽然普遍，购买成本也较高；虽然人工铟线直接测法比较直观，但在制备测试电极时，需要稀有金属铟，成本较高，并且损坏导电薄膜。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，实现了导电薄膜材料方块电阻的快速、无损、高灵敏度便捷测量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，包括探头，探头包括探头内轴、探头外壳、圆环状工件和弹性导电橡胶，圆环状工件固定在探头内轴的外部，在圆环状工件和探头内轴的截面粘贴等面积弹性导电橡胶。

按上述技术方案，探头内轴为同轴电缆接头。

按上述技术方案，通过在圆环状工件外侧车削加工出螺纹，将其固定在探头外壳的内部，圆环状工件与探头具有轴对称性，并保证圆环状工件底面与探头内轴的底面在同一平面内。

按上述技术方案，圆环状工件材质为铝合金或黄铜或不锈钢。

按上述技术方案，弹性导电橡胶的体积电阻小于6Ω/cm³。

按上述技术方案，还包括绝缘套筒，绝缘套筒设置在圆环状工件上方，并设在探头内轴和探头外壳之间。

按上述技术方案，探头的两极分别与万用表欧姆挡两极相连。

本实用新型产生的有益效果是：实现了导电薄膜材料方块电阻的快速、无损、高灵敏度便捷测量。本实用新型装置可以小型化，便于携带，可用于测量人员对薄膜材料的分析计算，也可以经改进后用于工业流水线的自动检测，符合社会向智能化发展的趋势，具有广泛的应用前景。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型实施例中方块导电薄膜电极示意图；

图2是本实用新型实施例中探头内部剖面结构示意图；

图3是本实用新型实施例定标结果图；

其中，1.绝缘套筒，2.圆环状工件，3.弹性导电橡胶，4.探头内轴，5.探头外壳。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例中，提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，如图1-2所示，选用同轴电缆接头，将一块铝合金材料加工成一个圆环状工件2，增大了接触面积，避免因探头与薄膜样品接触面积小而损伤薄膜。圆环状工件内径大于同轴电缆接头的外径，并且在圆环状工件外侧车削加工出螺纹，将其固定进同轴电缆接头内部，使他们具有轴对称性，并保证圆环状工件底面与探头内轴的底面在同一平面内。为了真正实现无损测量，在圆环状工件和同轴电缆接头的截面粘贴等面积弹性导电橡胶3，弹性导电橡胶的体积电阻小于6Ω/cm3，减小探头与薄膜样品间的摩擦，避免损伤薄膜。最后成型探头内部剖面结构示意图如图2所示。还包括绝缘套筒1，绝缘套筒设置在圆环状工件上方，并设在探头内轴4和探头外壳5之间。图1是本实用新型实施例中方块导电薄膜电极示意图。测量时将加工后的探头两极与万用表欧姆挡两极相连，将探头按压在被测导电薄膜样品表面，通过万用表就可以读取示数。使用本实用新型装置与现有技术最后测量结果比较如图3所示。

本发明设计一种利用同轴电缆接头，对导电薄膜方块电阻进行无损测量的装置。在测量时，这种测量装置直接将接头按压在被测样品表面，就可以得到方块电阻的阻值。实现了导电薄膜材料方电阻的快速、无损测量。这一装置小型化后，便于携带。它可用于测量人员对薄膜材料的分析计算，也可以经改进后用于工业流水线的自动检测，符合社会向智能化发展的趋势，具有广泛的应用前景。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。