一种柔性传感器的制作方法

文档序号:19131456发布日期:2019-11-15 20:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性传感器,其特征是:包括柔性基底、电极、由表面氧化的液态金属颗粒组成的液态金属薄膜,以及柔性封装层;

液态金属薄膜位于柔性基底上;

柔性封装层位于液态金属薄膜表面;

电极位于柔性基底上,用于监测液态金属薄膜一定区域间的电信号。

2.如权利要求1所述的柔性传感器,其特征是:所述的液态金属薄膜中,表面氧化的液态金属颗粒相互连接。

3.如权利要求1所述的柔性传感器,其特征是:所述电极为柔性电极。

4.如权利要求1所述的柔性传感器,其特征是:所述电极呈阵列分布。

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