磁传感器的制作方法

文档序号:23100413发布日期:2020-11-27 13:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁传感器,其特征在于,

具备:

第一和第二磁性体层,其经由第一磁隙而互相相对;

第一磁敏元件,其配置于由所述第一磁隙形成的磁路上;以及

补偿线圈,其抵消施加于所述第一磁敏元件的磁通。

2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,

所述第一磁性体层配置于在俯视时与所述补偿线圈的内径区域重叠的位置,

所述第二磁性体层配置于在俯视时与所述补偿线圈的外侧区域重叠的位置。

3.根据权利要求2所述的磁传感器,其特征在于,

还具备将作为测量对象的外部磁通聚磁于所述第一磁性体层的外部磁性体层。

4.根据权利要求3所述的磁传感器,其特征在于,

还具备:

第三磁性体层,其经由第二磁隙而与所述第一磁性体层相对;以及

第二磁敏元件,其配置于由所述第二磁隙形成的磁路上,

所述补偿线圈抵消施加于所述第二磁敏元件的磁通,

所述第三磁性体层配置于在俯视时与所述补偿线圈的外侧区域重叠的位置。

5.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于,

所述第一至第三磁性体层、所述第一和第二磁敏元件、以及所述补偿线圈均集成于传感器基板上。

6.根据权利要求5所述的磁传感器,其特征在于,

所述第一和第二磁敏元件在所述传感器基板上的层叠方向上,形成于所述补偿线圈与所述第一至第三磁性体层之间。

7.根据权利要求5所述的磁传感器,其特征在于,

所述第一至第三磁性体层在所述传感器基板上的层叠方向上,形成于所述补偿线圈与所述第一和第二磁敏元件之间。

8.根据权利要求5~7中的任一项所述的磁传感器,其特征在于,

所述补偿线圈遍及所述传感器基板上的多个配线层而卷绕。


技术总结
本发明提供一种即使作为测量对象的磁场微弱,也能够通过闭环控制检测磁场的磁传感器。本发明的磁传感器具备:磁性体层(41、42),其经由磁隙(G1)而互相相对;磁敏元件(R1),其配置于由磁隙(G1)形成的磁路上;以及补偿线圈(60),其生成抵消施加于磁敏元件(R1)的磁通的抵消磁通。根据本发明,由于作为磁轭发挥功能的磁性体层(41、42)中流通的磁通施加于磁敏元件(R1),因此即使作为测量对象的磁场微弱,也能够进行检测。此外,由于具备抵消磁通的补偿线圈(60),因此也能够进行闭环控制。

技术研发人员:五木田刚男
受保护的技术使用者:TDK株式会社
技术研发日:2019.03.11
技术公布日:2020.11.27
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1