一种端头同心度装配调节机构及其调节方法与流程

本发明涉及一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，属于靶材生产制造技术领域。

背景技术：

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)；靶材在安装及使用过程中，通常为架设于端头和支撑端之间的，因此对端头与支撑端的同心度要求较高，而传统的对于端头和支撑端同心度的调整由人工手动调节，无法精确定位，误差较大，往往需要来回多次调整，费时费力，极为不便，为方便且直观的确认及调整同心度，特设计研发了此调节机构。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种结构简单、调节方便、精度高、误差小、省时省力的端头同心度装配调节机构及其调节方法。

本发明的目的是这样实现的：

一种端头同心度装配调节机构，包含底座、端头、激光发射装置、支撑架、靶盘和卡箍；所述底座的顶面设置有端头和支撑架，所述端头和支撑架相对设置且位于同一直线上；所述激光发射装置通过卡箍固定连接于端头上，所述靶盘设置于支撑架上，上述激光发射装置与靶盘相对设置；

所述激光发射装置包含壳体，所述壳体呈碗状结构，壳体的开口端外壁边缘处设置有法兰盘，所述法兰盘与端头对应匹配，壳体与端头对接，通过卡箍将壳体的法兰盘和端头固定连接；所述壳体上设置有开关，所述壳体的底部中央设置有激光发射器，所述激光发射器3.3的发射端朝向靶盘5设置，所述开关与激光发射器之间通过导电线连接；

所述支撑架呈h形结构，所述支撑架的上部开有圆形卡接槽，圆形卡接槽的顶部设置有一豁口，靶盘嵌置于支撑架的上部圆形卡接槽内；所述靶盘包含固定座，所述固定座为中空柱体，所述固定座的柱体顶部开有两个相对称的限位槽；所述固定座的底部固定连接有刻度盘，所述刻度盘朝向激光发射装置的一面以刻度盘的圆心为中心设置有刻度环；所述刻度盘正对激光发射装置的一面设置有手柄，所述固定座的柱体顶部设置有支撑架锁定片，所述支撑架锁定片嵌置于固定座的柱体顶部两个相对称的限位槽内；所述手柄与支撑架锁定片对应匹配；所述手柄与支撑架锁定片之间通过螺栓螺母相铰接。

本发明一种端头同心度装配调节机构，所述固定座的外壁上设置有支撑架定位块，所述支撑架定位块嵌置于支撑架的圆形卡接槽的顶部的豁口内。

本发明一种端头同心度装配调节机构的调节方法：

步骤1、将激光发射装置与端头对接，激光发射装置的法兰盘和端头相匹配的，通过卡箍将激光发射装置固定连接在端头上；将靶盘插接至另一端的支撑架的圆形卡接槽内，拨动手柄，通过支撑架锁定片将靶盘锁紧在支撑架上；

步骤2、打开激光发射装置的开关，激光发射器发射激光并照射在对面的靶盘的刻度盘上；

步骤3、将端头旋转360°，同时观察并记录不同角度时的激光点在靶盘的刻度环上的位置；

步骤4、检验激光点的位置是否在刻度环的误差范围内，若激光点始终保持在最小内圈以内，则表示同心度合格，若激光点未落入最小内圈以内，则相应调整端头或支撑端的位置，使激光点最终照射在最小内圈内，完成同心度校验。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过在端头和支撑端分别安装相应的激光放射装置和接收激光点的靶盘，旋转端头的过程中观察激光点在刻度环内的位置，通过记录观察不同角度时的激光点来确定端头与支撑端的同心度是否合格，避免了因人工调节导致的误差大而导致多次调整；本装置结构简单、调节方便、精度高、误差小、省时省力，提高了生产效率，降低了生产成本。

附图说明

图1为本发明一种端头同心度装配调节机构的整体结构示意图。

图2为图1中激光发射器和端头装配示意图。

图3为图1中激光发射器和端头装配示意图。

图4为图1中激光发射器结构立体图。

图5为图1中激光发射器结构剖视图。

图6为图1中靶盘与支撑架装配示意图。

图7为图1中靶盘结构示意图。

图8为图1中靶盘结构示意图。

图9为本发明一种端头同心度装配调节机构及其调节方法的同心度合格示意图。

图10为本发明一种端头同心度装配调节机构及其调节方法的同心度不合格示意图。

其中：

底座1、端头2、激光发射装置3、支撑架4、靶盘5、卡箍6；

壳体3.1、开关3.2、激光发射器3.3；

固定座5.1、刻度盘5.2、刻度环5.3、手柄5.4、支撑架锁定片5.5、支撑架定位块5.6。

具体实施方式

参见图1～10，本发明涉及的一种端头同心度装配调节机构，包含底座1、端头2、激光发射装置3、支撑架4、靶盘5和卡箍6；所述底座1的顶面设置有端头2和支撑架4，所述端头2和支撑架4相对设置且位于同一直线上，靶材装配于端头2和支撑架4之间；所述激光发射装置3通过卡箍6固定连接于端头2上，所述靶盘5设置于支撑架4上，上述激光发射装置3与靶盘5相对设置，激光发射装置3发射的激光点落在靶盘5上；

所述激光发射装置3包含壳体3.1，所述壳体3.1呈碗状结构，壳体3.1的开口端外壁边缘处设置有法兰盘，所述法兰盘与端头2对应匹配，壳体3.1与端头2对接，通过卡箍6将壳体3.1的法兰盘和端头2固定连接，激光发射装置3与端头2之间固定连接；所述壳体3.1上设置有开关3.2，所述壳体3.1的碗体底部中央设置有激光发射器3.3，所述激光发射器3.3的发射端朝向靶盘5设置；所述开关3.2与激光发射器3.3之间通过导电线连接，通过开关3.2控制激光发射器3.3的开启和关闭；

所述支撑架4呈h形结构，所述支撑架4的上部开有圆形卡接槽，圆形卡接槽的顶部设置有一豁口，靶盘5嵌置于支撑架4的上部圆形卡接槽内；所述靶盘5包含固定座5.1，所述固定座5.1为中空柱体，所述固定座5.1的柱体顶部开有两个相对称的限位槽；所述固定座5.1的底部固定连接有刻度盘5.2，所述刻度盘5.2朝向激光发射装置3的一面以刻度盘5.2的圆心为中心设置有刻度环5.3；所述刻度盘5.2正对激光发射装置3的一面设置有手柄5.4，所述固定座5.1的柱体顶部设置有支撑架锁定片5.5，所述支撑架锁定片5.5嵌置于固定座5.1的柱体顶部两个相对称的限位槽内；所述手柄5.4与支撑架锁定片5.5对应匹配；所述手柄5.4与支撑架锁定片5.5之间通过螺栓螺母相铰接，具体的讲，转动手柄5.4的同时带动支撑架锁定片5.5在相应的限位槽内转动，当支撑架锁定片5.5旋转至适当位置时，将靶盘5固定于支撑架4上；

进一步的，所述固定座5.1的外壁上设置有支撑架定位块5.6，所述支撑架定位块5.6嵌置于支撑架4的圆形卡接槽的顶部的豁口内，在校验过程中，支撑架定位块5.6有效的防止靶盘5发生转动导致测量精度误差；

一种端头同心度装配调节机构的调节方法：

步骤1、将激光发射装置3与端头2对接，激光发射装置3的法兰盘和端头2相匹配的，通过卡箍6将激光发射装置3固定连接在端头2上；将靶盘5插接至另一端的支撑架4的圆形卡接槽内，拨动手柄5.4，通过支撑架锁定片5.5将靶盘5锁紧在支撑架4上；

步骤2、打开激光发射装置3的开关3.2，激光发射器3.3发射激光并照射在对面的靶盘5的刻度盘5.2上；

步骤3、将端头2旋转360°，同时观察并记录不同角度时的激光点在靶盘5的刻度环5.3上的位置；

步骤4、检验激光点的位置是否在刻度环5.3的误差范围内，若激光点始终保持在最小内圈以内，则表示同心度合格，若激光点未落入最小内圈以内，则相应调整端头或支撑端的位置，使激光点最终照射在最小内圈内，完成同心度校验。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。