一种点状三维球状超小电容半导体探测器模型及应用的制作方法

文档序号:22806855发布日期:2020-11-04 04:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种点状三维球状超小电容半导体探测器模型,其特征在于,所述点状三维球状超小电容半导体探测器模型为:

电势与电场如下:

2.如权利要求1所述的点状三维球状超小电容半导体探测器模型,其特征在于,所述探测器模型中央电极的半径约为10微米,球状外围电极的宽度为10微米,探测器的半径为60微米。

3.如权利要求1所述的点状三维球状超小电容半导体探测器模型,其特征在于,所述硅体即球体若是n型硅基,球状电极由1×1019/cm3的p型重掺杂组成,中央点状电极由1×1019/cm3的n型重掺杂组成,这种探测器用于无辐射环境下的光子探测,低能x射线探测。

4.如权利要求1所述的点状三维球状超小电容半导体探测器模型,其特征在于,所述硅体即球体若是p型硅基,球状电极由1×1019/cm3的n型重掺杂组成,中央点状电极由1×1019/cm3的p型重掺杂组成,设计可用于辐射环境下的电子、高能粒子探测等,通常这种情况下的探测器半径设计与无辐射环境不一致,根据应用场合可能更大也可能更小。

5.一种半导体硅的探测方法,其特征在于,所述半导体硅的探测方法使用权利要求1~4任意一项所述的点状三维球状超小电容半导体探测器模型。

6.一种半导体锗的探测方法,其特征在于,所述半导体锗的探测方法使用权利要求1~4任意一项所述的点状三维球状超小电容锗探测器模型。

7.一种三五族化合物的探测方法,其特征在于,所述三五族化合物的探测方法使用权利要求1~4任意一项所述的点状三维球状超小电容化合物半导体探测器模型。


技术总结
本发明属于电极探测技术领域,公开了一种点状三维球状超小电容半导体探测器模型及应用,探测器模型中央电极的半径约为10微米,球状外围电极的宽度约为10微米,探测器的半径约为60微米。硅体即球体,可以是n型或者p型硅基,电极由1×1019/cm3的n或p型重掺杂组成。本发明中点状三维球状超小电容半导体探测器模型对比二维探测器,耗尽电压将不会再受到探测器晶元厚度的限制,仅与电极间距,即本专利探测器的半径有关。对比其他三维电极探测器,电场分布不会有因无法耗尽而存在的低电场区。对比其他三维电极探测器,本发明探测器的电场分布更均匀,更理想。探测器厚度可作为一个参数灵活设计,可大大增加探测器的探测效率。

技术研发人员:刘曼文;李正
受保护的技术使用者:鲁东大学
技术研发日:2020.08.24
技术公布日:2020.11.03
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