一种X射线发射调整装置及方法与流程

文档序号:24208277发布日期:2021-03-09 20:20阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种x射线发射调整装置,其特征在于,该装置包括输出驱动机构(21)、射线发出机构(22)和射线调整机构(23);输出驱动机构(21)固定在工作台上,输出驱动机构(21)输出端分别与射线发出机构(22)和射线调整机构(23)相连接;射线调整机构(23)输入端与射线发出机构(22)输出端相对齐,射线调整机构(23)输出端与试样检测部位相对齐;输出驱动机构(21)用于带动射线发出机构(22)和射线调整机构(23)运动;射线发出机构(22)用于发出x射线;射线调整机构(23)用于调整x射线在试样上的照射位置;射线调整机构(23)包括调整机架、显微镜(231)、调整驱动组件(232)和准直器(233);显微镜(231)和调整驱动组件(232)都固定在调整机架上;调整驱动组件(232)输出端与准直器(233)相连接,准直器(233)位于显微镜(231)输出端与试样之间;显微镜(231)物镜包括物镜孔,射线发出机构(22)发出的x射线穿过物镜孔经过准直器(233)准直后与试样检测位置相对齐;显微镜(231)用于观测x射线在试样上的位置;调整驱动组件(232)用于调整准直器(233)的位置;准直器(233)用于对x射线进行聚焦准直。2.根据权利要求1所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,调整驱动组件(232)包括第一调整元件(234)和第二调整元件(235);第一调整元件(234)固定在调整机架上,第一调整元件(234)输出端与第二调整元件(235)相连接;第二调整元件(235)输出端与准直器(233)相连接。3.根据权利要求2所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,第一调整元件(234)包括水平微动平台(2341)和竖直微动平台(2342);水平微动平台(2341)输出端与竖直微动平台(2342)相连接,竖直微动平台(2342)输出端与第二调整元件(235)相连接。4.根据权利要求2所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,水平微动平台(2341)和竖直微动平台(2342)都为手动调节方式。5.根据权利要求2所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,第二调整元件(235)包括左右转动模块(2351)和前后转动模块(2352);左右转动模块(2351)输出端与前后转动模块(2352)相连接,前后转动模块(2352)输出端与准直器(233)相连接;左右转动模块(2351)和前后转动模块(2352)分别用于带动准直器(233)左右方向和前后方向转动。6.根据权利要求1所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,输出驱动机构(21)包括第一输出驱动(211)和第二输出驱动(212);第一输出驱动(211)输出端与第二输出驱动(212)相连接,第二输出驱动(212)输出端与调整机架相连接;第一输出驱动(211)和第二输出驱动(212)分别用于带动射线发出机构(22)水平方向和竖直方向运动。7.根据权利要求6所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,第一输出驱动(211)为直线电机驱动。8.根据权利要求1所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,x射线发射调整装置还包括射线吸收机构(24);射线吸收机构(24)固定在调整机架上,并且射线吸收机构(24)输出端与试样检测部位以外部分相衔接。9.根据权利要求8所述一种x射线发射调整装置,其特征在于,射线吸收机构(24)包括吸收驱动组件(241)和吸收固定组件(242);吸收驱动组件(241)输出端与吸收固定组件(242)相连接,吸收固定组件(242)与射线吸收块相连接。10.一种x射线发射调整方法,其特征在于,该方法采用权利要求1所述一种x射线发射调整装置,该方法包括以下的步骤:
1)输出驱动机构(21)带动射线调整机构(23)运动至检测工位;2)通过显微镜(231)目镜观察试样检测部位,并且调节调整驱动组件(232)使得准直器(233)输出端与试样检测部位相对齐;3)射线发出机构(22)发出x射线,输出驱动机构(21)带动射线输出装置(2)输出端相对于试样检测位置以不同入射角发出x射线对试样进行检测后,射线接收装置在满足布拉格定律的设定位置接收试样的衍射线完成x射线发射调整过程。
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