一种检测设备及检测系统的制作方法

1.本实用新型涉及光学检测技术领域，具体涉及一种检测设备及检测系统。


背景技术：

2.随着半导体技术的发展，半导体光学检测技术运营而生，光学检测技术具有检测速度快、检测精度高且可实现非接触检测等优点。
3.光学检测设备包括检测部，该检测部设有用于对待测对象进行光学检测的光学元件，检测部内始终有气体流动，以保证检测部内的清洁度，避免污染物对光学元件造成污染，影响检测精度或损坏光学元件。
4.因此，在对待测对象进行检测的过程中，如何避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件，是本领域技术人员所亟需解决的技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种检测设备及检测系统，能够避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种检测设备，其包括检测部和设于所述检测部内的检测腔室，所述检测腔室内包括用于对待测对象进行光学检测的光学元件；所述检测部内填充有第一气体，所述检测腔室内填充有第二气体，所述第一气体的清洁度等于或低于所述第二气体的清洁度。
7.检测腔室位于检测部内，检测部内填充有第一气体，检测腔室内填充有第二气体，也就是说位于检测腔室内的光学元件能够受到第一气体和第二气体的两层气体保护，可靠性更高。并且，本实施例中的第二气体的清洁度要不低于第一气体的清洁度，如此一来，能够进一步确保位于检测腔室内的光学元件的清洁性，避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。
8.可选地，所述检测腔室包括第一腔室和第二腔室，所述光学元件包括设于所述第一腔室内的探测装置和镜头组件以及设于所述第二腔室内的光源装置。
9.可选地，所述第一腔室内设有光学元件腔室，所述镜头组件设置在所述光学元件腔室内，所述光学元件腔室内填充有所述第二气体。
10.可选地，还包括位于所述检测部下方的运动部，所述运动部内设有承载装置和运动装置，所述承载装置用于承载待测对象并带动所述待测对象运动，所述运动装置用于带动所述承载装置运动。
11.可选地，所述检测设备还包括供气部和抽排部，所述检测腔室包括第一腔室，所述光学元件包括设于所述第一腔室内的探测装置和镜头组件；所述供气部用于为所述检测部、所述第一腔室和所述运动部提供气体，并分别与所述检测部、所述第一腔室和所述运动部通气连通；所述抽排部用于排出所述检测部、所述第一腔室和所述运动部的气体，并与所述检测部、所述第一腔室和所述运动部通气连通。
12.可选地，所述供气部包括第一供气部和第二供气部，所述第一供气部用于为所述检测部提供所述第一气体，所述第一供气部设有第一过滤装置，所述第一过滤装置用于产生所述第一气体；所述第二供气部用于向所述第一腔室和运动部提供所述第二气体，所述第二供气部设有第二过滤装置，所述第二过滤装置用于产生第二气体；所述第一过滤装置的过滤等级等于或低于所述第二过滤装置的过滤等级。
13.可选地，所述检测腔室还包括第二腔室，所述光学元件包括设于所述第二腔室内的光源装置，所述检测设备还包括与所述第二腔室连通的供气装置，所述供气装置用于为所述第二腔室提供第三气体，所述第三气体的清洁度高于或等于所述第二气体的清洁度；
14.或者，所述第二腔室与所述第二供气部通气连通，所述第二供气部用于向所述第二腔室提供所述第二气体；
15.还包括抽排装置，所述抽排装置用于将所述第二腔室内的气体排出。
16.可选地，所述运动部还包括设于所述运动部侧壁的进样窗口，所述待测对象通过所述进样窗口进入所述运动部并置于所述承载装置上。
17.可选地，所述第一腔室和所述运动部均设有进气口和出气口，所述进气口与所述供气部通过通气管道连通；所述第一腔室和所述运动部内的气体通过所述出气口排出。
18.可选地，还包括柜体，所述供气部、所述检测部和所述运动部由上至下依次设于所述柜体内。
19.另外，本申请还一种检测系统，其包括传递装置以及如上所述的检测设备，所述传递装置能够将待测对象传递至所述检测设备的承载装置。
20.具有如上所述的检测设备的检测系统，其技术效果与上述检测设备的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。
附图说明
21.图1是本实用新型实施例所提供的检测设备的结构示意图；
22.图2是运动部和隔板的结构示意图；
23.图3是运动部的结构示意图；
24.图4是图3中a的放大图。
25.附图1
‑
4中，附图标记说明如下：
[0026]1‑
检测部，11
‑
第一腔室，12
‑
第二腔室；
[0027]2‑
运动部，21
‑
承载装置，22
‑
吹扫装置，23
‑
风板，24
‑
吹风孔，25
‑
进气口，26
‑
出气口；
[0028]3‑
隔板，31
‑
检测窗口；
[0029]4‑
供气部；
[0030]5‑
抽排部。
具体实施方式
[0031]
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
[0032]
请参考图1
‑
4，图1是本实用新型实施例所提供的检测设备的结构示意图；图2是运
动部和隔板的结构示意图；图3是运动部的结构示意图；图4是图3中a的放大图。
[0033]
本实用新型实施例提供了一种检测设备及检测系统，其中，该检测设备包括检测部1和位于该检测部1内的检测腔室，检测腔室内包括用于对待测对象(如晶圆等)进行光学检测的光学元件，检测部1内填充有第一气体，检测腔室内填充有第二气体，第一气体的清洁度等于或低于第二气体的清洁度。
[0034]
详细的讲，检测腔室位于检测部1内，检测部1内填充有第一气体，检测腔室内填充有第二气体，也就是说位于检测腔室内的光学元件能够受到第一气体和第二气体的两层气体保护，可靠性更高。并且，本实施例中的第二气体的清洁度要不低于第一气体的清洁度，如此一来，能够进一步确保位于检测腔室内的光学元件的清洁性，避免污染物对光学元件造成污染，保证检测精度并避免损坏光学元件。
[0035]
在上述实施例中，检测腔室包括第一腔室11和第二腔室12，光学元件包括设于第一腔室11内的镜头组件和探测装置以及设于第二腔室12内的光源装置。由于光源出射的光能量较高，若存在灰尘等杂质，光照射在杂质上被散射后照射到其他元件上会造成损坏，因此，第二腔室12内的气体清洁度要求较高，以保证光源装置的使用寿命。因此，在检测腔室内，将光源装置与镜头组件及探测装置是分开放置的，进一步保证光源装置所在空间的气体清洁度。
[0036]
进一步的，第一腔室11内设有光学元件腔室，镜头组件设在该光学元件腔室内，而探测装置位于第一腔室11内，并且光学元件腔室内填充有第二气体，为了保护镜头组件和待测对象表面不受污染，将镜头组件进一步设置在光学元件腔室内。
[0037]
在本实施例中，该检测设备还包括位于主腔室下方的运动部2，该运动部内设有承载装置21和运动装置，该承载装置21用于承载待测对象并带动待测对象运动，该运动装置用于带动承载装置21平移运动和旋转运动，光学元件能够对位于承载装置21的待测对象进行光学检测。
[0038]
运动部2内还设有至少一个吹扫装置22，用于向承载装置21所承载的待测对象提供吹扫气体，吹扫装置22能够对待测对象的表面及以上空间进行吹扫，保证待测对象表面的清洁度，避免污染物污染待测对象，从而保证由待测对象制备的芯片的产品质量。
[0039]
在上述实施例中，如图4所示，吹扫装置22包括风板23，该风板23 包括长条形吹风面，吹风孔24位于吹封面且沿吹封面延伸方向均布，具体的，可将风板23沿承载装置21的预设运动路径的侧边设置，且风板23 沿吹风面延伸方向贯穿运动部2，使得由风板23的吹风孔24所吹出的吹扫气体能够覆盖承载装置21的运动范围，在本实施例中，多个吹风孔24 的出气方向与承载装置21的承载面平行，吹扫装置22对承载装置21承载的待测对象进行吹扫。
[0040]
进一步的，吹扫装置22的数量为多个，多个吹扫装置22分别设置在承载装置21的运动范围外；多个吹扫装置22包括两个镜像对称的第一吹扫装置22，这两个吹扫装置22均位于承载装置21的运动范围外，不会对承载装置21的运动造成干扰，并且两个吹扫装置22分别位于承载装置21 两侧，且两个第一吹扫装置22的第一镜像对称面垂直于承载装置22的承载面，在本实施例中，两个第一吹扫装置22可以是平行设置(具体是指两个风板23平行设置)，如图3所述；或者两个第一吹扫装置22也可以是相交设置。
[0041]
吹扫装置21的吹扫气体能够在运动部2和检测部1之间形成风帘，能够阻隔运动部
2和检测部1内的气体的连通，从而阻挡由于承载装置21 做机械运动时会产生碎屑等污染物进入检测部1内，防止运动部2内的污染物进入检测部1内对光学元件造成污染，从而能够避免损坏光学元件，并且保证通过该光学元件对待测对象进行光学检测的检测精度。
[0042]
进一步的，如图2所示，检测部1和运动部2之间设有隔板3，即检测部1和运动部2之间设有隔板3，也可以说是第一腔室1和运动部2之间设有隔板3，该隔板3能够在二者之间形成阻隔，保证检测部1和运动部2都是独立的空间，第一腔室11和运动部之间都是独立的空间，同时，该隔板3设有连通于主腔室和运动部2之间的检测窗口31，光学元件能够通过检测窗口31对放置于运动平台的待测对象进行光学检测。上述风帘设于该检测窗口31处，以在该检测窗口31处形成阻隔，同时该检测窗口31 还用于使运动部2内的部分气体进入子腔室，即检测腔室(具体为检测腔室中的光学元件腔室)或光学元件腔室中，使得检测腔室或光学元件腔室内填充有第二气体。该隔板3的设置能够减少检测部1和运动部2之间的连通面积，进一步保证运动部2内的污染物不会进入检测部1内或者检测部1内的污染物不会落在待测对象表面。
[0043]
在上述实施例中，检测设备还包括供气部4和抽排部5，其中，供气部4用于为检测部1、第一腔室11和运动部2提供气体，并分别与检测部 1、第一腔室11和运动部2通气连通，抽排部5用于排出检测部1、第一腔室11和运动部2的气体，并与检测部1、第一腔室11和运动部2通气连通。
[0044]
进一步的，供气部4包括第一供气部和第二供气部，第一供气部用于向检测部1提供第一气体，第二供气部用于向第一腔室和运动部提供第二气体，第二气体的清洁度等于或高于第一气体清洁度，具体的，第一供气部设有第一过滤装置，第一过滤装置用于形成第一气体，第二供气部设有第二过滤装置，第二过滤装置用于形成第二气体，第二过滤装置的过滤等级等于或高于第一过滤装置的过滤等级。
[0045]
在另一实施例中，也可以是第一腔室11设有第二过滤装置，第二过滤装置用于改变进入第一腔室11内的气体的清洁度；运动部2设有第二过滤装置，该第二过滤装置用于改变进入运动部2内的气体的清洁度；检测部 1设有第一过滤装置，第一过滤装置用于改变进入检测部1内的气体的清洁度；上述第二过滤装置的过滤等级等于高于上述第一过滤装置的过滤等级。也就是说，进入第一腔室11内的气体清洁度以及进入运动部2内的气体清洁度均高于进入检测部1内的气体清洁度，以保证对待测对象的清洁效果以及位于第一腔室11内的光学元件的清洁性。
[0046]
进一步的，由于第二腔室12内放置有光源装置，第二腔室12内的气体清洁度要求较高，以保证光源装置的使用寿命。本实施例中，为保证第二腔室12内的气体清洁度，主要有以下两种方法：一种方法是通过设置与第二腔室12连通的供气装置，该供气装置用于为第二腔室12单独提供第三气体，第三气体的清洁度等于或高于第二气体的清洁度，以保证该第二腔室内的气体清洁度；另一种方法是第二腔室12与第二供气部通气连通，由第二供气部向第二腔室12提供第二气体，并且，该检测设备还包括用于单独将第二腔室12内的气体排出的抽排装置。
[0047]
在上述实施例中，运动部2还包括设于运动部2侧壁的进样窗口，待测对象通过进样窗口进入运动部2并置于承载装置上。传递装置能够将待测对象由上述进样窗口传递至检测设备的承载装置21。
[0048]
运动部2包括进气口25和出气口26，进气口25与吹扫装置22通气连通，清洁气体从进气口25进入并由吹扫装置22向运动部2内吹出，出气口26的位置低于或齐平于承载装置的承载面，即如图3所示进气口25 距离主腔室的距离小于出气口26距离主腔室的距离，出气口26配置为将运动部2内的吹扫气体排出至检测设备外，使得吹扫气体能够在对待测对象清扫后由出气口26排出。本实施例中，对于进气口25和出气口26的具体位置不做限制，如可将进气口25设置在承载装置21的上方，并将出气口26位于承载装置21的下方，吹扫气体由吹扫装置22向承载装置21承载的待测对象提供吹扫气体，而吹扫气体在对待测对象吹扫后，由位于承载装置21下方的出气口26排出，使得吹扫气体中混有的污染物不会在上部位置停留，从而避免该污染物对待测对象造成污染，同时还能够避免气体夹带污染物并向上扩散至检测部1内，进而能够对光学元件提供保护，避免污染物污染光学元件。
[0049]
在本实施例中，该运动部2侧壁包括至少一组出气口26，每组出气口 26包括至少一个出风口，出气口26可设置在运动部2的任意侧壁上，在本实施例中，出气口26优选设置在与风板3延伸方向垂直或相交的侧壁上。
[0050]
或者，抽排部5还可以仅用于将检测部1内的气体排出，此时，该检测设备还包括抽气设备，该抽气设备通过出气口26对运动部2内气体进行抽气。
[0051]
进一步的，该检测设备还包括柜体，上述供气部4、检测部1、运动部 2和抽排部5由上至下依次设于该柜体内，当然，本实施例中，对于各部件之间的设置位置并不做具体要求，如还可将检测部1设置在运动部2的上方，并将供气部4和抽排部5设置于侧边均可，而由上至下依次设置时能够减少各部件的占地空间，便于现场布置。
[0052]
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。