用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备的制作方法

1.本实用新型涉及芯片测试领域，更具体地说，涉及一种用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备。


背景技术：

2.在使用探针对测试设备的载物台上搭载晶圆(以下称为wafer)测试时，由于晶圆上有多个芯片(以下称为die)，所以测试人员需要花费大量时间去寻找测试die或die上的相应点，这将需要花费较长的时间在移动载物台上。在现有技术中，通常移动载物台有三种方式：1、通过丝杆连接载物台进行移动；2、通过气浮载物台来实现大面积的移动后，利用真空泵将载物台固定，再通过千分尺精细微调；3、通过手推动载物台到达一定位置后手工锁定，再通过千分尺精细微调。对于第一种方式而言，由于die的尺寸越来越小，所以丝杆的精度越来越高，无法在确保精度的同时快速且大面积的移动；对于第二种方式而言，由于载物台需要气浮在台面上，所以需要消耗大量的压缩空气，且固定后还需要移动千分尺精细精细调节，但是往往千分尺的行程非常有限，所以一些较大尺寸的移动无法实现；对于第三种方式而言，通过手动锁定载物台的方式对最终die的定位会由于锁定这样一个机械挤压结构产品位移，使得偏移量增加。总体上来看，现有技术中的载物台移动方式较难实现同时兼顾快速和准确的移动、锁定时误差较大。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述较难实现同时兼顾快速和准确的移动、锁定时误差较大的缺陷，提供一种容易实现同时兼顾快速和准确的移动、锁定时误差较小的用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种用于芯片测试的载物台组件，包括载物台、第一滑块、第二滑块、第一滑块移动单元、第二滑块移动单元和移动把手；所述载物台设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述第二滑块上；所述第一滑块移动单元与所述第一滑块连接，驱动或限定所述第一滑块沿所述第一滑块移动单元的设定方向移动；所述第二滑块移动单元与所述第二滑块连接，驱动或限定所述第二滑块沿所述第二滑块移动单元的设定方向移动；所述移动把手设置在所述第二滑块上，用于对所述第二滑块施加外力使其移动；所述移动把手上还设置有空气开关，所述空气开关在导通或关断时分别使得所述第二滑块相对于所述第二滑块移动单元的位置由所述移动把手的受力决定或由所述第二滑块移动单元本身的操作决定。
5.更进一步地，所述第二滑块移动单元通过第二连接件连接在所述第二滑块的侧面，驱动或限定所述第二滑块沿x轴方向移动。
6.更进一步地，所述第二滑块移动单元包括两个设置在所述载物台同一侧面的不同位置的轴承座、通过轴承安装在所述两个轴承座上的第二滑动轴以及套接在所述第二滑动轴上的第二气动夹紧模块，所述第二气动夹紧模块与所述第二连接件连接；所述第二滑动
轴一端通过所述轴承延伸，并在其延伸的端头设置有使得所述第二滑动轴旋转的第二旋转手柄。
7.更进一步地，所述第二气动夹紧模块包括无牙螺母，所述第二滑动轴包括表面光滑的轴；所述空气开关导通时所述无牙螺母与所述第二滑动轴接触，所述第二滑动轴在所述第二旋转手柄的作用下旋转，使得所述无牙螺母在所述第二滑动轴上的位置改变。
8.更进一步地，所述无牙螺母内设置有在通过所述空气开关的压缩空气作用与所述第二滑动轴接触的环状旋转轴承，所述环状旋转轴承包括多个，多个环状旋转轴承与所述第二滑动轴接触的位置和形状不同，以实现在所述无牙螺母在所述第二滑动轴旋转时沿指定的方向移动的动作。
9.更进一步地，所述移动把手垂直设置在所述第二滑块的一个边沿或一个角上，所述空气开关设置在所述移动把手的顶部，并由所述把手中引出分别与外部的压缩空气源和所述第二气动夹紧模块的进气端连接的软管。
10.更进一步地，所述第一滑块移动单元设置在所述第一滑块上，并通过第一连接件连接在所述第一滑块的侧面，驱动或限定所述第一滑块沿y轴方向移动。
11.更进一步地，所述第一滑块移动单元包括两个设在不同位置的轴承座、通过轴承安装在所述两个轴承座上的第一滑动轴以及套接在所述第一滑动轴上的第一夹紧模块，所述第一夹紧模块与所述第一连接件连接；所述第一滑动轴一端通过所述轴承延伸，并在其延伸的端头设置有使得所述第一滑动轴旋转的第一旋转手柄。
12.更进一步地，所述第一夹紧模块包括无牙螺母，所述第一滑动轴包括表面光滑的轴；所述第一夹紧模块与所述第一滑动轴接触，所述第一滑动轴在旋转时使得所述第一夹紧模块在所述第一滑动轴上的位置改变。
13.本实用新型还涉及一种芯片测试设备，包括载物台组件，所述载物台组件是如上任意一项所述的载物台组件。
14.实施本实用新型的用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备，具有以下有益效果：由于载物台设置在第二滑块上，第二滑块又能够通过移动把手使其沿第二滑块移动单元移动，使得上述载物台能够快速地、大范围地移动；同时，上述第二移动滑块采用气动锁止，防止了现有技术中采用机械锁紧时用于机械部件之间的挤压带来的移动。因此，其容易实现同时兼顾快速和准确的移动、锁定时误差较小。
附图说明
15.图1是本实用新型用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备实施例中载物台组件的结构示意图。
具体实施方式
16.下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步说明。
17.如图1所示，在本实用新型的用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备实施例中，所述用于芯片测试的载物台组件包括载物台1、第一滑块2、第二滑块3、第一滑块移动单元4、第二滑块移动单元5和移动把手6；所述载物台1设置在所述第一滑块2上，所述第一滑块2设置在所述第二滑块3上；所述第一滑块移动单元4与所述第一滑块2连接，驱动或限定
所述第一滑块2 沿所述第一滑块移动单元4的设定方向移动；所述第二滑块移动单元5与所述第二滑块3连接，驱动或限定所述第二滑块3沿所述第二滑块移动单元5的设定方向移动；所述移动把手6设置在所述第二滑块3上，用于对所述第二滑块 3施加外力使其移动；所述移动把手6上还设置有空气开关7，所述空气开关 7在导通时提供压缩空气，所述空气开关7在导通或关断时分别使得所述第二滑块相对于所述第二滑块移动单元5的位置由所述移动把手6的受力决定或由所述第二滑块移动单元7本身的操作决定。也就是说，上述空气开关7不导通时，所述第二滑块3相对于第二滑块移动单元5的位置(实际上是第二滑块移动单元5中第二气动夹紧模块53在第二滑动轴52上的位置)主要是由移动把手6来决定的，移动把手6受力，上述第二气动夹紧模块53和第二滑动轴52 没有接触或咬合，于是第二滑块3沿第二滑块移动单元5的限定方向快速移动，其位置改变致使上述第二气动夹紧模块53的位置改变(此时，第二气动夹紧模块53没有和第二滑动轴52接触或咬合)；而当所述空气开关导通时，上述第二气动夹紧模块53和第二滑动轴52接触或咬合，通过移动把手6受力来移动上述第二滑块3将受到一定的阻力，此时可以通过第二滑动轴52的旋转来使得上述第二气动夹紧模块43的位置改变，从而使得第二滑块3的位置改变。在本实施例中，上述第一滑块移动单元4和第二滑块移动单元5的设定方向，是指由于其结构限定，该单元部件或者与该单元部件连接的部件只能沿一个方向移动，例如，x轴方向和y轴方向。在本实施例中，一个上述移动单元的设定方向只有一个，x轴方向或者y轴方向。
18.在图1中，所述第二滑块移动单元5通过第二连接件54连接在所述第二滑块3的侧面，驱动或限定所述第二滑块3沿x轴方向移动。也就是说，当通过移动把手6对上述第二滑块3施加沿x轴方向的外力时，如果上述空气开关7关闭，即第二滑块移动单元5没有被锁住或者第二气动夹紧模块53没有和第二滑动轴52接触或咬合，则上述第二滑块3在上述第二滑块移动单元 5的限定下，能够沿x轴方向快速移动。
19.在本实施例中，如图1所示，所述第二滑块移动单元5包括两个设在不同位置的轴承座51、通过轴承安装在所述两个轴承座51上的第二滑动轴52以及套接在所述第二滑动轴52上的第二气动夹紧模块53，所述第二气动夹紧模块53与所述第二连接件54连接；所述第二滑动轴52一端通过所述轴承延伸，并在其延伸的端头设置有使得所述第二滑动轴52旋转的第二旋转手柄55。
20.更具体而言，在本实施例中，所述第二气动夹紧模块53包括无牙螺母，而第二滑动轴52包括表面光滑的轴；所述空气开关7导通时所述无牙螺母与所述第二滑动轴52接触，此时，如果移动把手6受力，则由于上述接触的关系，第二气动夹紧模块53并不能在第二滑动轴52上快速移动，也就是第二滑动块3并不能快速移动；如果此时第二旋转手柄55受力旋转，则所述第二滑动轴52在所述第二旋转手柄55的作用下旋转，使得所述无牙螺母在所述第二滑动轴52上的位置改变，从而导致第二滑动块3位置改变，实现对第二滑动块3的较为精细的位置调节。在本实施例中，所述无牙螺母内设置有在通过所述空气开关的压缩空气作用与所述第二滑动轴52接触的环状旋转轴承(图中未示出)，所述环状旋转轴承包括多个，多个环状旋转轴承与所述第二滑动轴 52接触的位置和形状不同，以实现在所述无牙螺母在所述第二滑动轴52旋转时沿指定的方向移动的动作。一般来讲，在本实施例中，上述无牙螺母和光滑的轴的配合是现有技术中的无牙丝杆或无牙螺杆的配合。
21.为了便于使用者操作，在本实施例中，所述移动把手6垂直设置在所述第二滑块3
的一个边沿或一个角上，所述空气开关7设置在所述移动把手6的顶部，并由所述移动把手6中引出分别与外部的压缩空气源和所述第二气动夹紧模块53的进气端连接的软管(图中未示出)。
22.在本实施例中，所述第一滑块移动单元4设置在所述第二滑块3上，并通过第一连接件连接在所述第一滑块2的侧面，驱动或限定所述第一滑块2沿y 轴方向移动。在本实施例中的一些情况下，上述第一滑块移动单元4可以是现有的机械调节位置并锁紧的调节装置；而在另外一些情况下，第一滑块移动单元4也可以是和第二滑块移动单元5的结构相同或相似的调节装置，只是其移动方向不一样，相互垂直。在这种情况下，所述第一滑块移动单元包括两个设在不同位置的轴承座、通过轴承安装在所述两个轴承座上的第一滑动轴以及套接在所述第一滑动轴上的第一夹紧模块，所述第一夹紧模块与所述第一连接件连接；所述第一滑动轴一端通过所述轴承延伸，并在其延伸的端头设置有使得所述第一滑动轴旋转的第一旋转手柄。更具体而言，所述第一夹紧模块包括无牙螺母，所述第一滑动轴包括表面光滑的轴；所述第一夹紧模块与所述第一滑动轴接触，所述第一滑动轴在旋转时使得所述第一夹紧模块在所述第一滑动轴上的位置改变。也就是说，在一些情况下，上述第一滑块移动单元可以和第二滑块移动单元完全相同(仅设置方向不同)，也可以是相似的结构，即不设置气动开关，即第一夹紧模块和第一滑动轴始终接触(放弃该方向的快速调接)。
23.本实用新型还涉及一种芯片测试设备，包括载物台组件，所述载物台组件是如上所述的载物台组件。
24.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。