光电传感器安装机构及真空设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空设备技术领域，特别涉及一种光电传感器安装机构及真空设备。


背景技术：

2.真空设备被广泛应用于现代化工业生产，通常要求真空设备的腔体内部元器件耐高温、低放气率、高可靠性等。光电传感器具有检测距离长、非接触检测、快速相应、分辨率高、便于调整等优点，被广泛安装在腔体外部用于监测工件状态。
3.通常，光电传感器直接安装在真空设备的腔体上，光电传感器的发射器发射光束穿过视窗件和腔体，光电传感器的接收器接收光束，视窗件能够传输光束。在使用过程中，视窗件表面不可避免地吸附腔体内的粒子造成透光率降低，影响检测效果甚至无法正常检测。如果需要维护视窗件，真空设备必须停机破真空至大气状态，而工作中的真空设备，尤其是真空镀膜生产线，停机到大气状态进行维护，再到开机正常生产，需要消耗大量的时间和经济成本。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种光电传感器安装机构，所述光电传感器安装机构无需真空设备破真空即可维修，节省时间，降低生产成本。
5.本实用新型还提出一种应用上述光电传感器安装机构的真空设备。
6.根据本实用新型的第一方面实施例的光电传感器安装机构，包括：安装件，所述安装件内设置有两端开口的第一通道；视窗件，设置于所述安装件的一端，以传输光束或者封堵所述第一通道的对应端的开口；封堵结构，设置于所述安装件，所述封堵结构能够封堵或者避让所述第一通道。
7.根据本实用新型实施例的光电传感器安装机构，至少具有如下有益效果：设置有封堵结构，当视窗件需要维护时，通过封堵结构封堵第一通道，隔断视窗件与腔体的内腔的连通，在内腔处于真空状态下即拆卸视窗件进行维护，与现有技术相比，本技术方案无需真空设备破真空即可维护视窗件，节省时间，降低生产成本。
8.根据本实用新型的一些实施例，所述封堵结构包括：连接件，设置在所述安装件上，所述连接件内设置有第二通道，所述第二通道与所述第一通道连通；阀芯，设置在所述第二通道内，并能够沿所述第二通道轴向移动；密封端面，设置在所述第一通道的侧壁；其中，所述阀芯能够移动至所述第一通道，并与所述密封端面配合以封堵所述第一通道。
9.根据本实用新型的一些实施例，所述安装件与所述连接件之间呈小于90度角度设置，且所述连接件背离所述安装件的一端靠近所述视窗件。
10.根据本实用新型的一些实施例，所述安装件的两端分别设置有法兰。
11.根据本实用新型的一些实施例，所述视窗件通过其中一个所述法兰可拆卸地安装
于所述安装件。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述视窗件上设置有环形凸起，所述法兰套设于所述环形凸起上以限制所述视窗件脱离于所述安装件。
13.根据本实用新型的一些实施例，所述法兰包括两个半圆环形的半法兰盘，两个所述半法兰盘相向且对接设置。
14.根据本实用新型的第二方面实施例的真空设备，包括腔体、光电传感器及至少两个本实用新型的第一方面实施例所述的光电传感器安装机构，所述光电传感器安装机构分别设置在所述腔体上，所述第一通道与所述腔体的内腔连通，所述光电传感器的发射器设置在其中一个所述光电传感器安装机构的所述视窗件上，所述光电传感器的接收器设置在另一个所述光电传感器安装机构的所述视窗件上。
15.根据本实用新型实施例的真空设备，至少具有如下有益效果：真空设备设置有该光电传感器安装机构，设置有封堵结构，当视窗件需要维护时，通过封堵结构封堵第一通道，隔断视窗件与腔体的内腔的连通，在内腔处于真空状态下即拆卸视窗件进行维护，与现有技术相比，本技术方案无需真空设备破真空即可维护视窗件，节省时间，降低生产成本。
16.根据本实用新型的一些实施例，两个所述光电传感器安装机构相对设置在所述腔体的两侧。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1为本实用新型实施例的光电传感器安装机构和腔体的结构示意图；
20.图2为图1的分解示意图；
21.图3为安装件封堵结构的截面示意图；
22.附图标记：
23.安装件10、第一通道11、视窗件20、环形凸起21、
24.封堵结构30、连接件31、第二通道311、阀芯32、密封端面33；
25.法兰40、腔体50、发射器61、接收器62。
具体实施方式
26.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
27.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.在本实用新型的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
29.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
30.如图1、图2和图3所示，根据本实用新型的第一方面实施例的光电传感器安装机构，包括：安装件10，安装件10内设置有两端开口的第一通道11；视窗件20，设置于安装件10的一端，以传输光束或者封堵第一通道11的对应端的开口；封堵结构30，设置于安装件10，封堵结构30能够封堵或者避让第一通道11。
31.根据本实用新型实施例的光电传感器安装机构，设置有封堵结构30，当视窗件20需要维护时，通过封堵结构30封堵第一通道，隔断视窗件20与腔体50的内腔的连通，在内腔处于真空状态下即拆卸视窗件20进行维护，与现有技术相比，本技术方案无需真空设备破真空即可维护视窗件20，节省时间，降低生产成本。
32.如图1、图2和图3所示，在本实用新型的一些实施例中，封堵结构30包括：连接件31，设置在安装件10上，连接件31内设置有第二通道311，第二通道311与第一通道11连通；阀芯32，设置在第二通道311内，并能够沿第二通道311轴向移动；密封端面33，设置在第一通道11的侧壁；其中，阀芯32能够移动至第一通道11，并与密封端面33配合以封堵第一通道11，即可维护视窗件20，结构简单，节省时间，降低生产成本。
33.需要说明的是，在本实用新型的一些实施例中，密封端面33与阀芯32移动方向垂直；阀芯32可滑动地设置于第二通道311内，在另一些实施例中，阀芯32可通过螺纹连接可移动地设置于第二通道311；在本实用新型的一些实施例中，连接件31与安装件10配置为一体式结构，当然在一些实施例中，连接件31和安装件10可为分体式结构，在此不做限定。
34.如图1、图2和图3所示，在本实用新型的一些实施例中，安装件10与连接件31之间呈小于90度角度设置，且连接件31背离安装件10的一端靠近视窗件20，结构简单，便于阀芯32与密封端面33配合，操作便捷。
35.当然地，在一些实施例中，连接件31背离安装件10的一端背向视窗件20设置，其仍具有上述效果。
36.可以理解的是，在本实用新型的一些实施例中，安装件10的两端分别设置有法兰40，起到安装定位作用。
37.在本实用新型的一些实施例中，视窗件20通过其中一个法兰40可拆卸地安装于安装件10，结构简单，便于对视窗件20进行拆装和维护。
38.在本实用新型的一些实施例中，视窗件20上设置有环形凸起21，法兰40套设于环形凸起21上以限制视窗件20脱离于安装件10，使得视窗件20和安装件10之间连接更为紧凑且定位可靠，结构简单，便于对视窗件20进行拆装和维护。
39.在本实用新型的一些实施例中，法兰40包括两个半圆环形的半法兰盘，两个半法兰盘相向且对接设置，通过将两个半法兰盘分离，以便对该光电传感器安装机构进行拆装，结构简单，操作便捷。
40.如图1、图2和图3所示，根据本实用新型的第二方面实施例的真空设备，包括腔体
50、光电传感器及至少两个本实用新型的第一方面实施例的光电传感器安装机构，光电传感器安装机构分别设置在腔体50上，第一通道11与腔体50的内腔连通，光电传感器的发射器61设置在其中一个光电传感器安装机构的视窗件20上，光电传感器的接收器62设置在另一个光电传感器安装机构的视窗件20上。
41.根据本实用新型实施例的真空设备，真空设备设置有该光电传感器安装机构，设置有封堵结构30，当视窗件20需要维护时，通过封堵结构30封堵第一通道11，隔断视窗件20与腔体50的内腔的连通，在内腔处于真空状态下即拆卸视窗件20进行维护，与现有技术相比，本技术方案无需真空设备破真空即可维护视窗件20，节省时间，降低生产成本。
42.在本实用新型的一些实施例中，两个光电传感器安装机构相对设置在腔体50的两侧，便于对工件进行检测，安装合理。
43.需要说明的是，其中一个法兰40通过螺钉连接于安装件10靠近视窗件20一端，安装件10的另一端通过法兰40和螺钉配合安装于真空设备上。
44.可以理解的是，在一些实施例中，光电传感器安装机构的数量亦可设置为四个，或者四个以上，其中每两个光电传感器安装机构构成一组，每组中的两个光电传感器安装机构相对设置在腔体的两侧，更加可靠地检测工件。
45.需要说明的是，在本实用新型的一些实施例中，本技术方案采用对射式光电传感器；其他类型的光电传感器，例如反射式光电传感器等在此方案基础上做局部调整即可，在此不做赘述。
46.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
47.当然，本实用新型创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。