光电传感器安装机构及真空设备的制作方法

文档序号:25747721发布日期:2021-07-06 19:18阅读:来源:国知局

技术特征:
1.光电传感器安装机构,其特征在于,包括:安装件(10),所述安装件(10)内设置有两端开口的第一通道(11);视窗件(20),设置于所述安装件(10)的一端,以传输光束或者封堵所述第一通道(11)的对应端的开口;封堵结构(30),设置于所述安装件(10),所述封堵结构(30)能够封堵或者避让所述第一通道(11)。2.根据权利要求1所述的光电传感器安装机构,其特征在于,所述封堵结构(30)包括:连接件(31),设置在所述安装件(10)上,所述连接件(31)内设置有第二通道(311),所述第二通道(311)与所述第一通道(11)连通;阀芯(32),设置在所述第二通道(311)内,并能够沿所述第二通道(311)轴向移动;密封端面(33),设置在所述第一通道(11)的侧壁;其中,所述阀芯(32)能够移动至所述第一通道(11),并与所述密封端面(33)配合以封堵所述第一通道(11)。3.根据权利要求2所述的光电传感器安装机构,其特征在于,所述安装件(10)与所述连接件(31)之间呈小于90度角度设置,且所述连接件(31)背离所述安装件(10)的一端靠近所述视窗件(20)。4.根据权利要求1所述的光电传感器安装机构,其特征在于,所述安装件(10)的两端分别设置有法兰(40)。5.根据权利要求4所述的光电传感器安装机构,其特征在于,所述视窗件(20)通过其中一个所述法兰(40)可拆卸地安装于所述安装件(10)。6.根据权利要求4所述的光电传感器安装机构,其特征在于,所述视窗件(20)上设置有环形凸起(21),所述法兰(40)套设于所述环形凸起(21)上以限制所述视窗件(20)脱离于所述安装件(10)。7.根据权利要求6所述的光电传感器安装机构,其特征在于,所述法兰(40)包括两个半圆环形的半法兰盘,两个所述半法兰盘相向且对接设置。8.一种真空设备,其特征在于,包括腔体(50)、光电传感器及至少两个如权利要求1至7任一项所述的光电传感器安装机构,所述光电传感器安装机构分别设置在所述腔体(50)上,所述第一通道(11)与所述腔体(50)的内腔连通,所述光电传感器的发射器(61)设置在其中一个所述光电传感器安装机构的所述视窗件(20)上,所述光电传感器的接收器(62)设置在另一个所述光电传感器安装机构的所述视窗件(20)上。9.根据权利要求8所述的真空设备,其特征在于,两个所述光电传感器安装机构相对设置在所述腔体(50)的两侧。
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