掩模版外形尺寸测量装置的制作方法

1.本实用新型涉及掩模版用设备技术领域，特别是涉及一种掩模版外形尺寸测量装置。


背景技术：

2.掩模版是一种表面用金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板，一般情况下载板为透明玻璃。
3.现有的掩模版尺寸测量装置在使用过程中，需要对掩模版进行固定，然后经过多次对焦，找边，对外形和尺寸进行测量，在测量过程中需要用显微镜对焦，依次检测掩模版两边或四边切割情况，测量四边的尺寸，操作复杂费时，且人工检测重复性高，效率低，无法满足高效生产的需求。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对现有的掩模版尺寸测量装置不方便测量外形尺寸的问题，提供一种掩模版外形尺寸测量装置。
5.本实用新型提供了一种掩模版外形尺寸测量装置，包括：底座、螺旋测微器、第一放置槽、第二放置槽以及移动组件，所述第一放置槽和所述第二放置槽的宽度不同；
6.所述底座的侧面设置有第一凹槽，所述螺旋测微器固定在所述第一凹槽内，所述第一放置槽设置在所述底座上，所述第二放置槽设置在所述底座上，所述移动组件与所述第二放置槽连接，用于调节所述第二放置槽的宽度；
7.所述第一凹槽分别与所述第一放置槽和所述第二放置槽连通，所述螺旋测微器上的连接杆能够伸入到所述第一放置槽或所述第二放置槽内。
8.在其中一个实施例中，所述移动组件包括柱体和伸缩杆，所述柱体固定在所述底座的中心；
9.所述第二放置槽朝向所述柱体一侧为活动板，所述伸缩杆的一端与所述柱体连接，另一端与所述活动板连接。
10.在其中一个实施例中，所述底座的上表面设置有第二凹槽，所述第二凹槽的底部与所述第一放置槽连通。
11.在其中一个实施例中，所述第一放置槽朝向所述底座外侧面的一侧上设置有斜坡。
12.在其中一个实施例中，所述第一放置槽上的水平槽与竖直槽的交界处设有第一圆弧。
13.在其中一个实施例中，所述第二放置槽上的水平槽与竖直槽的交界处设有第二圆弧。
14.在其中一个实施例中，还包括第一限位块，所述第一放置槽内沿所述底座高度方向设置有第一卡槽，所述第一限位块与所述第一卡槽相配合。
15.在其中一个实施例中，还包括第二限位块，所述第二放置槽内沿所述底座高度方向设置有第二卡槽，所述第二限位块与所述第二卡槽相配合。
16.在其中一个实施例中，还包括机械臂和真空吸盘，所述机械臂设置在所述底座上，所述真空吸盘设置在所述机械臂上。
17.本实用新型的有益效果包括：
18.本技术提供的掩模版外形尺寸测量装置，当需要测量掩模版的长度时，只需要将掩模版放入到对应的第一放置槽或者第二放置槽内，然后转动螺旋测微器，当螺旋测微器上的连接杆伸入到第一放置槽或者第二放置槽内与掩模版侧边抵接时，通过第一放置槽或者第二放置槽减去螺旋测微器上的读数就可以快速得到掩模版的长度，整体装置测量方便，明显提高了测量效率；同时由于第二放置槽的宽度可调，从而进一步方便测量不同厚度的掩模版。
附图说明
19.图1为本实用新型一实施例提供的掩模版外形尺寸测量装置的示意图；
20.图2为图1的又一示意图；
21.图3为螺旋测微器与掩模版的安装示意图；
22.图4为图3的又一示意图。
23.图中标记如下：
24.10、底座；101、第一凹槽；102、第二凹槽；20、螺旋测微器；201、连接杆；30、第一放置槽；301、第一圆弧；40、第二放置槽；401、第二圆弧；402、活动板；50、第一限位块；60、第二限位块；70、柱体；80、伸缩杆；90、掩模版。
具体实施方式
25.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
26.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
28.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固
定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
31.如图1并结合图2所示，本实用新型一实施例中，提供了一种掩模版外形尺寸测量装置，包括：底座10、螺旋测微器20、第一放置槽30、第二放置槽40以及移动组件，第一放置槽30和第二放置槽40的宽度不同，其中，底座10的侧面设置有第一凹槽101，螺旋测微器20固定在第一凹槽101内，第一放置槽30设置在底座10上，第二放置槽40设置在底座10上，移动组件与第二放置槽40连接，用于调节第二放置槽40的宽度；第一凹槽101分别与第一放置槽30和第二放置槽40连通，螺旋测微器20上的连接杆201能够伸入到第一放置槽30或第二放置槽40内。
32.当需要测量掩模版的长度时，如图4并结合图1、图2以及图3所示，首先将掩模版90放入到第一放置槽30或者第二放置槽40内，参考图4所示，此时将掩模版90的左侧与第一放置槽30或者第二放置槽40的内壁紧贴，然后转动螺旋测微器20，由于螺旋测微器20本身固定在第一凹槽101内，所以在转动螺旋测微器20时，螺旋测微器20本身不移动，螺旋测微器20上的连接杆201移动，当螺旋测微器20上的连接杆201伸入到第一放置槽30或第二放置槽40与掩模版90的右侧抵接时，此时，停止转动螺旋测微器20，同时观看螺旋测微器20上的读数m，由于第一放置槽30或者第二放置槽40的长度l为定值，此时，通过l减去m就可以得到掩模版90的长度，整体装置测量方便，明显提高了测量效率；同时由于第二放置槽的宽度可调，从而进一步方便测量不同厚度的掩模版。
33.在一些实施例中，如图2所示，本技术中的移动组件包括柱体70和伸缩杆80，柱体70固定在底座10的中心，其中，第二放置槽40朝向柱体70一侧为活动板402，伸缩杆80的一端与柱体70连接，另一端与活动板402连接。
34.由于第二放置槽40朝向柱体70一侧为活动板402，当需要调节第二放置槽40的宽度以适应不同厚度的掩模版时，只需要通过调节伸缩杆80的长度，伸缩杆80带动活动板402移动即可，本技术中的伸缩杆80可选用电动伸缩杆。
35.在一些实施例中，如图2所示，本技术中的底座10的上表面设置有第二凹槽102，第二凹槽102的底部与第一放置槽30连通。当需要将掩模版放入到第一放置槽30内时，将手从第二凹槽102伸入到第一放置槽30的底部，手臂拖着掩模版落入到第一放置槽30内，从而可
以使得掩模版稳定的落入到第一放置槽30内。
36.在一些实施例中，本技术中的第一放置槽30朝向底座10外侧面的一侧上设置有斜坡。具体地，该斜坡为15
°
的斜坡，从而可以避免因装置与掩模版镜面接触面积太大导致的划伤蹭伤。
37.在一些实施例中，如图1或者图2所示，本技术中的第一放置槽30上的水平槽与竖直槽的交界处设有第一圆弧301，以防切割不平整的掩模版在放入槽位时顶伤。
38.在一些实施例中，如图1或者图2所示，本技术中的第二放置槽40上的水平槽与竖直槽的交界处设有第二圆弧401，以防切割不平整的掩模版在放入槽位时顶伤。
39.在一些实施例中，如图2所示，本技术中的掩模版外形尺寸测量装置还包括第一限位块50，其中第一放置槽30内沿底座10高度方向设置有第一卡槽，第一限位块50与第一卡槽相配合。
40.具体地，上述第一放置槽30内设置有多个第一卡槽，当需要调节第一放置槽30的整体长度时，将第一限位块50卡入到对应的第一卡槽内，从而就可以方便将不同长度的掩模版放入到第一放置槽30内。
41.在一些实施例中，如图2所示，本技术中的掩模版外形尺寸测量装置还包括第二限位块60，第二放置槽40内沿底座10高度方向设置有第二卡槽，第二限位块60与第二卡槽相配合。
42.具体地，上述第二放置槽40内设置有多个第二卡槽，当需要调节第二放置槽40的整体长度时，将第二限位块60卡入到对应的第二卡槽内，从而就可以方便将不同长度的掩模版放入到第二放置槽40内。
43.在一些实施例中，本技术中的掩模版外形尺寸测量装置还包括机械臂和真空吸盘，机械臂设置在底座10上，真空吸盘设置在机械臂上。
44.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
45.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。