一种高纯包装容器气密性检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种气密性检测装置，具体涉及一种高纯包装容器气密性检测装置。


背景技术：

2.高纯电子材料一般储存于金属制的包装容器中，对储存电子材料的包装容器来说很重要的一点就是密封性要求很高，在封装电子材料后要有良好的密封性，要避免包装容器出现泄漏或损坏的情况，一旦泄漏或损坏便会带来严重后果。高纯包装容器在出货前进行检漏时如果发现有泄漏或损坏则需要进行返工处理，势必会造成人力、物力的浪费，而且还会影响内部洁净度，因此，有必要在前端工序处理时对包装容器进行气密性检测，及时发现泄漏或损坏，及时修正。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种在前端工序处理时及时检测包装容器的密封性，不至于包装容器的返工返修的高纯包装容器气密性检测装置。
4.本实用新型的技术方案如下：
5.一种高纯包装容器气密性检测装置，其特征在于：包括底座、固定框架、水箱、储水罐、进水组件、排水管、液位传感器、控制器、压板、气体管道、气压表、气源；
6.所述固定框架固定在底座上方，所述水箱固定在固定框架内部；所述固定框架的顶部设有多个压板，所述压板与固定框架紧固连接；
7.所述进水组件设在水箱顶部前方，所述进水组件包括水泵、进水管道一、进水管道二，进水管道一的一端与水泵的输出端密封连接，另一端穿过水箱至所述水箱底部，所述进水管道二的一端与水泵的输入端密封连接，另一端穿过储水罐至储水罐底部；
8.所述排水管设置在水箱底部后方，所述排水管的一端与所述水箱连通，所述排水管另一端与所述储水罐连通；所述进水管道一与水箱连通的一端上设有电磁阀，在水箱顶部设有液位传感器；所述控制器固定在固定框架外侧，所述进水组件、电磁阀和液位传感器分别与控制器电连接；所述气体管道设在固定架的前端靠上部，气体管道上设置有多个气路连接管道以及多个分别控制各气路连接管道的阀门。
9.进一步的，所述固定框架顶部的压板与固定框架通过紧固件实现连接，可根据需要实现压板的安装、拆卸。
10.进一步的，排水管上设置有排水阀门，当放入水槽中的包装容器体积较大时，通过打开排水管阀门可避免水箱内水溢出。
11.进一步的，所述水箱采用透明质的防爆材料制成，气密性检测时方便观察包装容器的泄漏状况。
12.进一步的，所述气路连接管道用于连接待检包装容器的一个接头，所述气压表用于连接待检包装容器的另一个接头。
13.进一步的，所述气路连接管道为软质管道。
14.进一步的，所述气源为99.999％的高纯气体。
15.进一步的，所述控制器为plc控制器。
16.借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
17.1、结构简单、操作方便，水箱外部设有固定框架，既可以对水箱起到保护作用，又可以在万一发生爆炸时防止碎片飞溅保证人员安全。
18.2、当液位传感器检测到水箱内的水位过高时，便会向控制器发送信号，控制器便会将电磁阀关闭，避免水箱内的水过多而漫出的情况。
19.3、水箱内放入待检容器时如果水箱内水位过高，可通过打开排水管阀门将水箱内的水排到储水罐内，避免了水箱内的水直接从排水管排出浪费水资源的情况。当水箱内水不足时，在水泵的作用下可以将储水罐内的水多次循环实用，节约资源。
20.4、气体管道上设置有多个气路连接管道，实现同时对多个高纯包装容器进行气密性检测，极大地提高工作效率。
21.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
22.图1是本实用新型的侧视图；
23.图2是本实用新型的俯视图；
24.图中：1-底座，11-支座，2-固定框架，3-水箱，4-储水罐，5-进水组件，51-进水管道一，52-电磁阀，53-水泵，54-进水管道二，6-排水管，61-排水阀门，7-液位传感器，8-控制器，9-压板，91-紧固件，10-气体管道，101-气体阀门，102-连接管道。
具体实施方式
25.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
26.参见图1和图2，本实用新型一较佳实施例所述的一种高纯包装容器气密性检测装置，包括底座1、固定框架2、水箱3、储水罐4、进水组件5、排水管6、液位传感器7、控制器8、压板9、气体管道10。
27.底座1为矩形，在底座1的底部安装有支座11，支座11的数量为两个，分别位于底座1底部的左右两侧；在底座1的上方固定安装有固定框架2，固定框架2为整体外形为矩形且小于底座1，固定框架2上部带有开口。
28.固定框架2内部固定安装有水箱3，水箱3为矩形且水箱略小于固定框架2，水箱3上部敞口且水箱2上表面略低于固定框架2，固定框架2在水箱3外部对水箱3起保护作用。
29.固定框架2的外侧后部设有控制器8，固定框架2的顶部设有多个压板9，压板9与固定框架2紧固连接，压板9的两端通过紧固件91分别固定在固定框架2上，通过对压板9的一端拆卸后可将包装容器放入水箱3内，当高纯包装容器放置在水箱3发生漂浮时，通过压板9将包装容器固定在水箱3内。
30.在水箱3顶部前方设有进水组件5，且进水组件5与控制器8电连接，进水组件5包括水泵53、进水管道一51、进水管道二54，水泵53的输出端设有进水管道一51，进水管道一51的一端与水泵53的输出端密封连接，另一端穿过水箱3至水箱3底部，且进水管道一51与水箱3连通的一端上设有电磁阀52，电磁阀52与控制器8电连接；水泵53的输入端设有进水管道二54，进水管道二54的一端与水泵53的输入端密封连接，另一端穿过储水罐4至储水罐4底部；在水箱3顶部还设有液位传感器7，液位传感器7可以检测出水箱3内的水位高低，且液位传感器7与控制器8电连接。当液位传感器7检测到水箱3内的水位过高时，便会向控制器8发送信号，控制器8便会将电磁阀52关闭，实现对进水组件5限流。在水箱3底部后方设有排水管6，排水管6上设有阀门61，排水管6的一端与水箱3连通，另一端与储水罐4连通；放入待检容器水箱3内的水位过高，可通过打开排水管阀门61将水箱3内的水排到储水罐4内，避免了水箱3内的水直接从排水管6排出浪费水资源的情况。当水箱3内水不足时，在水泵53的作用下可以将储水罐4内的水多次循环实用，节约资源。
31.在对高纯包装容器进行气密性检测时，将待检包装容器的一个接头与气路连接管道102密封连接，包装容器另一接头与配套气压表紧固密封连接。气体管道10上设置有多个气路连接管道102，实现同时对多个高纯包装容器进行气密性检测。通过打开气体管道10上相应气路连接管道102上的阀门101，气体管道10中的气体便会通过气路连接管道102向高纯包装容器内通入高纯气体，当气压表上的数值达到检测数值时关闭相应气路连接管道上的阀门101，通过观察30min内高纯包装容器配套气压表，如果在此期间，如果压力表的读数没有出现较大波动，则该高纯包装容器气密性良好，如果压力表出现较大波动或浸入水箱3中的包装容器上部出现一连串气泡，则该高纯包装容器有泄漏点，检测人员进一步的检查对其进行修补即可。
32.本实用新型的优点如下：
33.1、结构简单、操作方便，水箱外部设有固定框架，既可以对水箱起到保护作用，又可以在万一发生爆炸时防止碎片飞溅保证人员安全。
34.2、当液位传感器检测到水箱内的水位过高时，便会向控制器发送信号，控制器便会将电磁阀关闭，避免水箱内的水过多而漫出的情况。
35.3、水箱内放入待检容器时如果水箱内水位过高，可通过打开排水管阀门将水箱内的水排到储水罐内，避免了水箱内的水直接从排水管排出浪费水资源的情况。当水箱内水不足时，在水泵的作用下可以将储水罐内的水多次循环实用，节约资源。
36.4、气体管道上设置有多个气路连接管道，实现同时对多个高纯包装容器进行气密性检测，极大地提高工作效率。
37.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。