专利名称：扫描游标标准具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及激光波长测量和光谱分析装置。
已有的标准具一般由两块平行放置的镀膜玻璃平板(标准具工作镜)构成，平板间距为标准具常数。
为了方便测量激光波长和作光谱分析，人们设计了两种组合标准具1.单重游标标准具是由两个标准具常数有微小差异的且公用一个工作镜的标准具组合而成。单重游标标准具可以同时得到两组相关联的标准具干涉花纹，从而可以在一定的条件下精确测量激光波长，或在一定的范围内作光谱分析。
2.多重游标标准具是由两个以上标准具常数有微小差异且公用一个工作镜的标准具组合而成。多重游标标准具可以同时得到多组相关联的标准具干涉花纹，从而扩展了游标标准具的应用范围，并能独立构成高精度的波长计。
上述单重游标标准具和多重游标标准具都是静态的，它们要求激光光源波长连续扫描以得到相关联的干涉花纹，它们对单线光源或多线光源无能为力。
本实用新型的目的，是提供一种可通过标准具扫描，直接获得干涉花纹的扫描游标标准具。
以下结合附图，对本实用新型作详细说明。
附
图1是本实用新型的结构图；附图2是本实用新型的标准具扫描底端面镜的结构图。
图中1、标准具扫描底端面镜；2、标准具支架；3、上端面镜；4、底端面镜镜座；5、压电陶瓷环；6、压电环驱动电极；7、底端面镜；8、底端面镜镀膜面。
本实用新型的结构如附图1所示，在标准具扫描底端面镜(1)的镜上工作面外沿胶合着中空的标准具支架(2)，该标准具支架(2)排列成圆筒形，在标准具支架(2)的上端胶合着上端面镜(3)。
本实用新型的标准具扫描底端面镜(1)的结构如附图2所示在中空圆形底端面镜镜座(4)的内侧下部，胶合有环形压电陶瓷环(5)，压电陶瓷环(5)的内、外侧与压电环驱动电极(6)相连接；压电陶瓷环(5)的上面与底端面镜(7)胶合在一起，在底端面镜(7)上面镀有镀膜面(8)。
本实用新型的底端面镜(7)与底端面镜镜座(4)的内侧应有一能保证底端面镜(7)与压电陶瓷环(5)能上下自由运动的间隙。
本实用新型的标准具支架可以是2～6个，上端面镜是与之相应的数目。
本实用新型工作时，将激光光束分为2～6束，通过底端面镜(7)和标准具支架(2)从上端面镜(3)出射光，压电陶瓷环(5)驱动底端面镜(7)扫描，用光探测器能探测到2～6组随时间变化的干涉花纹，因而可以利用标准具多重游标原理导出激光波长。如果激光器多线输出，在一定条件下，可导出各谱线的位置和相对强度。
本实用新型变静态标准具为扫描标准具，组成扫描游标标准具，这样便可通过标准具扫描直接获得干涉花纹，克服了游标标准具对激光源扫描特性的依赖。
本实用新型新颖独特的标准具扫描端面镜的设计，非常有效地解决了平面扫描标准具难于加工和调节的问题。
权利要求1.一种由工作镜等组成的扫描游标标准具，其特征在于，在标准具扫描底端面镜的镜上工作面外沿胶有中空的标准具支架，在标准具支架的上端胶有上端面镜。
2.如权利要求1所述的标准具，其特征在于，所述标准具扫描底端面镜的结构是在中空圆形底端面镜镜座的内侧下部，胶有环形压电陶瓷环，该压电陶瓷环的内、外侧与压电环驱动电极相连接，在压电陶瓷环的上面胶有底端面镜，在底端面镜的上面镀有镀膜面。
3.如权利要求1所述的标准具，其特征在于，所述的标准具支架是2～6个，上端面镜是与之相应的数目。
4.如权利要求1所述的标准具，其特征在于，所述底端面镜与底端面镜镜座的内侧有一能保证底端面镜与压电陶瓷环上下自由运动的间隙。
专利摘要本实用新型扫描游标标准具是在标准具扫描底端面镜的工作面的外沿胶合着中空的标准具支架,该标准具支架排列成圆筒形;在标准具支架的上端胶合着上端面镜。本实用新型可以通过标准具扫描直接获得干涉花纹,克服了游标标准具对光源扫描特性的依赖。
文档编号G01J3/45GK2293059SQ9720738
公开日1998年9月30日 申请日期1997年3月15日 优先权日1997年3月15日
发明者陈红兵, 高军毅, 丁强, 马志军, 成国胜, 姚生 申请人:中国科学院安徽光学精密机械研究所