专利名称：测量相互作用力的方法和用该相互作用力评价磁性的方法
技术领域：
本发明涉及一种测量样品表面和与样品表面以很小距离相对的探头之间的相互作用力的方法，也涉及一种用该相互作用力评价样品表面磁性的方法。
迄今，在许多已知的采用电子束分析固体样品的方法中，强度(电子的个数)和动能作为一种分析手段。另一种研究手段是电子自旋。已经提出几种基于电子自旋，评价固体物质微观表面磁性的方法。例如，已经提出几种以原子级分辨率确定各个原子磁矩方向的方法，如
图1所示。
根据电子学最近的进展，磁性记录介质上的记录密度一年比一年更高。图2是一个曲线图，表明根据磁性记录介质的进步记录密度的变化，以及各种评价表面磁性方法。水平轴代表阳历年时间，左手垂直轴代表线记录密度(周/厘米)，而右手垂直轴代表评价表面磁性方法的分辨率，单位是μm和nm。磁性记录从1900年具有波长为1mm开始，已经变得越来越密。现代硬盘的密度是0.16-0.19μm。通过电子全息摄影，可以在钴-铬介质上观察到0.085μm磁存储单元。表面磁性的评价方法的分辨率已经被提高。毕他技术的分辨率已经从1μm提高到0.7μm，而克耳效应方法的分辨率已经从1μm提高到0.5μm。自旋偏振扫描电子显微镜(SP-SEM)的分辨率已经从1984年的100-200μm提高到1994年的20nm。磁力显微镜(MFM)1987年具有100nm的分辨率，而1988年具有10nm的分辨率。电子全息摄影在1991年具有10nm的分辨率，而洛伦兹显微镜现在具有10nm的分辨率，在不久的将来将具有0.7nm的分辨率。
如上所述，表面磁性评价的分辨率已经越来越高。但是，无论在材料特性的基础研究中，还是在工程中，例如磁记录都需要较高的分辨率。因而，急切地需要发展一种能以原子级分辨率评价固体表面磁特性的评价方法。本申请的发明者已经提出一种自旋偏振扫描隧道显微镜(SP-STM)。
图3是一个示意图，表明证明SP-STM应用的一种实验装置。在实际的SP-STM中，样品由磁性材料制成，探头由砷化镓(GaAs)。但是，在实验装置中，样品由砷化镓制成，探头由镍(Ni)制成。只要研究SP-STM的原理，这不会引起任何问题。一个单状态激光二极管1被用做波长约为830nm，最大输出功率约为30mW的线偏振光源。线偏振激光束通过一个透镜2入射到普克尔盒3上。来自一个振荡器4的高压经高压放大器5加到普克尔盒3上。然后，所激发的圆偏振激光束被调制，以约400Hz的调制频率调制为右手圆偏振和左手圆偏振以这种方式，所激发的电子的自旋偏振被改变。调制后的激光束通过反射镜6-8，λ/4板9和透镜10入射到样品11上作为激发光。由镍晶体线制成的探头12被DC电压源13偏压，在压电元件14的控制下，进入与样品11表面非常接近的区域，使得隧道电流可以从样品流到探头。产生的隧道电流被控制单元15检测到，控制单元的输出信号与来自振荡器4的输出信号一起加到监视器16上。以这种方式，取决于样品11表面的自旋偏振的隧道电流被检测到。
在SP-STM中，由辐射激发产生的隧道电流被检测，因而不能被用于电绝缘磁性材料。发明者已经提出一种原子力显微镜(AMF)，可以检测样品与探头之间的相互作用力。这种原子力显微镜可以用于绝缘物体。在已知的原子力显微镜中，探头尖端与样品接触，或者进入与样品非常接近的区域，检测加到探头的力。发明者已经研究了这种通过测量探头与样品表面之间相互作用力，评价样品表面磁性的原子力显微镜。
在已知的原子力显微镜中，在非接触区域，即探头尖端与样品表面以相对较大的距离分开的区域内，或者在接触区域，即探头尖端与样品表面接触的区域内，进行测量。在非接触的区域内测量时，测量磁性偶极子之间产生的磁力。但是，这些力是远程力，因此不能实现原子级分辨率。在接触的区域内测量时，尽管可以以原子级分辨率评价表面结构，但不可能以精确方式测量样品与探头之间的相互作用力，因为探头尖端与样品表面接触，受到样品表面磁特性的影响。因而，不可能以精确方式评价样品表面的固有磁性。
本发明的目的在于提供一种新颖而有用的，以原子级分辨率，测量探头和电导体或电绝缘样品之间的相互作用力的方法。
本发明的另一目的在于提供一种以原子级分辨率评价样品表面磁特性，而不影响样品的磁特性的方法。
根据本发明，一种测量两种物质之间相互作用力的方法，其中每种物质包含定域电子，且至少其中之一包含传导电子，其中所述的两种物质互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离，同时测量所述两种物质之间的相互作用力。
根据本发明，一种测量两种物质之间相互作用力的方法，其中每种物质包含定域电子，且至少其中之一包含传导电子，包括以下步骤使所述的两种物质互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述两种物质磁矩方向互相平行的条件下，测量所述两种物质之间的相互作用力，得到第一力；在所述两种物质磁矩方向互相反平行的条件下，测量所述两种物质之间的相互作用力，得到第二力；和得到所述第一和第二力之间的差，作为所述两种物质之间的相互作用力。
根据本发明，一种测量样品和探头之间相互作用力的方法，包括以下步骤将所述的样品表面和探头互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述的样品表面和探头的磁矩方向互相平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第一力；在所述的样品表面和探头的磁矩方向互相反平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第二力；和得到所述第一和第二力之间的差，作为所述的样品表面和探头之间的相互作用力。
根据本发明，一种评价两种物质磁特性的方法，其中每种物质包含定域电子，且至少其中之一包含传导电子，而且至少其中之一的磁特性已知，包括以下步骤将所述的两种物质互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；
在所述两种物质磁矩方向互相平行的条件下，测量所述两种物质之间的力，得到第一力；在所述两种物质磁矩方向互相反平行的条件下，测量所述两种物质之间的力，得到第二力；得到所述第一和第二力之间的差，作为所述两种物质之间的相互作用力；和基于所述两种物质之间的所述相互作用力，评价所述两种物质中另一个的磁特性。
根据本发明，一种通过测量所述样品和磁特性已知的探头之间的相互作用力，评价样品磁特性的方法，，包括以下步骤将所述的样品表面和探头互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述样品表面和探头磁矩方向互相平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第一力；在所述样品表面和探头磁矩方向互相反平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第二力；得到所述第一和第二力之间的差，作为所述的样品表面和所述探头之间的相互作用力；和基于所述样品表面和所述探头之间的所述相互作用力，评价所述样品表面磁特性。
在测量由具有晶格常数a的过渡金属制成的样品与由相同过渡金属制成的探头之间的相互作用力的情况下，探头与样品表面相对的距离为d，满足条件1.0≤d/a≤1.7。
在根据本发明的方法中，最好通过在所述非常接近的区域内，改变样品与探头之间的距离，多次进行测量相互作用力，从而得到多个相互作用力，通过综合考虑所述多个相互作用力，评价样品的磁特性。
图1是一个示意图，表明一种磁性样品表面的原子结构；图2是一个曲线图，代表磁性介质，线记录密度，评价方法和分辨率的进步；图3是一个示意图，表明一种已知的自旋偏振扫描隧道显微镜的结构；
图4是一个示意图，表明根据本发明的方法的原理的计算中所用到的样品和探头；图5是一个示意图，表明样品和探头的原子结构的一种模型；图6是一个曲线图，代表样品与探头之间的力和距离的关系；图7是一个曲线图，表示距离与样品磁矩的关系；图8A和8B是示意图，表明在直接相互作用区域和RKKY型相互作用区域内电子的状态；图9是一个示意图，表明根据本发明的方法，用来测量相互作用力的装置的一种实施例；图10是一个表示相互作用力测量装置的另一实施例的示意剖面图。
首先，我们考虑一个简单的模型，其中由一个3d过渡金属铁制成的两个薄片进入非常接近的区域。其中一个薄铁片可以是样品，另一个可以是探头。在实际测量中，样品可以被看成薄片，但是探头是一个尖端，不能被看成薄片。但是，从微观的角度，探头也可以被看成是薄片。也假定每个薄片都具有由三个原子层构成的结构，如图5所示，薄片的(001)表面相互面对的距离为d，薄片的晶格常数为a(2.83)。
当坐标原点设在两个薄片的中点时，第一薄片的第一层原子x1的位置可以由x1(0，0，d/2)表示，第二层原子x2的位置可以由x2(a/2，a/2，d/2+a/2)表示，而第三层原子x3的位置可以由x3(0，0，d/2+a)表示。类似地，在第二薄片中，第一层原子x1′的位置可以由x1′(a/2，a/2，-d/2)表示，第二层原子x2′的位置可以由x2′(0，0，-d/2-a/2)表示，而第三层原子x3′的位置可以由x3′(a/2，a/2，-d/2-a)表示。不考虑表面松弛。所以，假定晶格是刚性的。
由于两薄片之间的相互作用力可以从这些薄片磁矩的方向互相平行的条件下得到的第一力，与这些薄片磁矩的方向互相反平行的条件下得到的第二力的差得到。因此，第一和第二力与两薄片之间距离的关系被研究。这一关系已经通过将局部自旋近似用于密度函数理论的第一原理计算而得到。根据计算，全电势线性自变量平面波(LAPW)方法(full potentiallinearargumentecl plane wave(LAPW)method)被简化。例如在日本的“应用物理”期刊，第33卷(1994)，2692-2695页，“材料科学与工程”，B31(1995)，69-76页，“物理周报”，B56(1995)，3218-3321页，发明者已经给出在磁矩方向互相平行条件下，加在各个原子上的力的计算结果。为了测量实际相互作用力，需要得到在磁矩方向互相平行时测得的力与在磁矩方向互相反平行时测得的力的差。
根据本发明，不仅在磁矩平行条件下加在各个薄片上的力，而且在磁矩反平行条件下加在各个薄片上的力，都可以以极精确的方式计算，可以得到如图6所示的计算结果。在图6中，水平轴代表被晶格常数a归一化(d/a)的距离d，垂直轴代表力(10-9N)。曲线FP代表平行条件下的力，而曲线FAP代表反平行条件下的力。
薄片之间的力包含不仅是相互作用力，因而为了仅得到相互作用力，必须通过得到他们之间的差，来去掉相互作用力以外的力。在图6中，计算所得的相互作用力，如曲线Fex＝FAP-FP所示。从曲线Fex中可以看出，相互作用力与两薄片之间的距离关系很大。在d/a≤1.7的区域内，出现相互作用力。特别是，在d/a＜1.0的区域内，可以看到较大的相互作用力。在1.0≤d/a≤1.7的区域内，可以看到存在相互作用力。但是，在d/a＞2.0区域内，没有出现相互作用力。
然后，平行与反平行条件下的薄片磁矩的关系被研究，得到如图7所示的结果。在图7中，水平轴代表被晶格常数a归一化(d/a)的薄片之间的距离d，垂直轴代表磁矩m(μB)。曲线x1(p)和x1(Ap)，x2和x3分别表明层x1，x2和x3的原子的磁矩。曲线x1(p)表明平行条件下磁矩的变化，曲线x1(Ap)代表反平行条件下磁矩的变化。第二层x2原子磁矩大体与整体的磁矩相同。当两薄片之间的归一化距离(d/a)小于1.0，第一层x1的磁矩明显减小。这意味着第一层x1的原子受到直接相互作用。在归一化距离(d/a)小于1.0的区域内第一薄片的自旋受到直接相互作用。因此，在本发明中，这一区域称为直接相互作用区域。如上参考图6的解释，在归一化距离(d/a)小于1.0的直接相互作用区域内，可以得到较大的相互作用力。但是，在直接相互作用区域内，磁矩变化很大，因而样品表面的磁结构可能被探头影响，样品表面的磁特性可能评价不精确。
根据本发明，最好在1.0≤d/a≤1.7的区域内测量相互作用力。在d/a＜1.0直接相互作用区域内，例如如图8A所示，3d轨道定域电子云(波函数)互相重叠，在1.0≤d/a≤1.7的区域内，如图8A所示，尽管定域电子云相互分开，4s和3p轨道的传导电子云(波函数)互相重叠。因此，根据本发明，通过将样品表面与探头分开一段距离，即从4s和3p轨道的传导电子云开始互相重叠的距离，到3d轨道定域电子云不明显互相重叠的距离，在这一区域内测量相互作用力。在本说明书中，这种区域称为RKKY型相互作用区域。根据本发明相互作用力的测量，不仅用于上述3d过渡金属，而且用于分子显磁(molecules revealing magnetism)，4f稀土金属和化合物及磁性半导体。应该指出，本发明同样用于两种物质，其中每种都包括定域自旋，至少其中之一包含传导电子。
如上参考图6的解释，在RKKY型相互作用区域，即1.0≤d/a≤1.7，测得的相互作用力FEX的值小于在直接作用区域内测得的值，但仍然具有10-10N的量级。具有此值的相互作用力可以被测量，因为常规原子力显微镜具有10-12到10-13N的分辨率。而且，这种RKKY型相互作用力以正弦方式变化，因而用这种特性可以精确测量相互作用力。
现在，解释一下进行根据本发明的方法的装置。
图9是一个示意图，表明测量上述RKKY型相互作用力和根据测得的相互作用力评价样品磁特性的装置的一种实施例。将要评价其磁特性的样品21置于可以以三维方式移动的载物台22上。在样品载物台22上安装一个弹性杠杆23，其两端都通过压电材料制成的振动器25a和25b固定在静止元件上。弹性杠杆23是由硅，氮化硅，不锈钢，磷铜等制成的弹性板条形成。探头24固定在弹性杠杆23底面中心。最好探头24有一个尖端。根据本发明，样品21和探头24材料的组合没有限制，除去由于磁性样品特性而要求的条件，从可加工性的角度看，探头可以是任何合适的材料。
压电材料制成的振动器25a和25b都连接到振荡器26上，它能产生具有几百KHz频率的驱动信号，使杠杆23以此频率振动。在杠杆23的上表面提供有一个反射元件27，激光光源28发射的激光束从倾斜方向入射到反射元件上。反射元件27反射的激光束被位置传感器29接收。位置传感器29包括一个多个光接收元件的阵列，因而激光束入射位置可以被检测。以这种方式，在与样品21表面垂直方向Z上的探头24的位置可以被非常精确的检测。
样品载物台22，杠杆23，激光光源28和位置传感器29都安装在连有真空泵(未示出)的真空室30中。以这种方式，室30的空间可以保持在超高真空状态，因而可以得到相互作用力的精确测量，而不受积在样品21上的灰尘的影响。
在真空室30外，除上述振荡器26以外，还装有一个驱动样品载物台22的驱动电路31，一个连在所述位置传感器29上的力测量电路32，一个计算来自力测量电路32的输出信号的计算电路33，从而得到加在探头24上的相互作用力，和一个处理来自计算电路33的输出信号的处理电路34，从而基于测得的加在探头24上的相互作用力，评价样品21的磁特性。
在将样品21置于载物台22上，将真空室30抽空之后，样品载物台22被驱动电路31驱动，这样探头24的尖端与样品给定部分相对。这种情况下，样品21和探头24尖端之间的距离设定为上述RKKY型相互作用区域内一个值，然后，压电振动器25a和25b被振荡器26驱动，使得弹性杠杆23和探头24在Z方向上，以给定的频率振动。由于振动，激光束入射到位置传感器29的位置发生周期变化。当在样品21与探头24之间未引发任何力时，弹性杠杆23的振动根本不受影响，杠杆23以给定频率和振幅振动。但是，当在样品21与探头24之间引入一个力时，弹性杠杆23的振动受到该力的影响，振动的频率和振幅改变。因而，通过用传感器29和力测量电路32检测杠杆23的振动，可以测量样品21与探头24之间引入的力。如上所述，根据本发明，样品21与探头24之间的力在磁矩方向互相平行的条件下和在磁矩方向互相反平行的条件下测得，而测得的相互作用力是这两个力之间的差。这可以通过提供一个绕在探头上的电磁线圈来进行，电流流向第一方向，使探头在第一方向磁化。在测得第一和第二力中的一个之后，电流通过线圈在与第一方向相反的第二方向上流动，使探头在与第一方向相反的第二方向磁化，同时测量所述第一和第二力中的另一个。在测量力期间，没有电流通过线圈，因此力的测量不受影响。
然后，通过力的计算电路32计算的第一和第二力被提供给计算电路33，通过计算电路33计算两个力之间的差。最后，算得的相互作用力提供给处理电路34，基于该相互作用力，评价样品21的磁特性。
在根据本发明的方法中，最好在多个测量点测量相互作用力，得到多个相互作用力，同时样品和探头之间的距离在所述RKKY型区域内变化，通过综合考虑所述多个相互作用力，评价样品的磁特性。
图10是一个示意图，表明测量相互作用力的装置的另一实施例。在图9所示的装置中，以探头相对样品的位移来测量相互作用力。在本实施例中，样品和探头都是圆柱体，以圆柱体的相对位移来测量相互作用力。
在由透明材料制成的外壳41的底面上，形成一个透明窗口42，而光通过透明窗口被引入外壳内。在外壳41内安装有一个由透明材料制成的内壳43，而内壳中容纳诸如纯净水的透明液体。一个第一支撑杆45浸在内壳43容纳的透明液体44中。在支撑杆45的末端固定有由弹性材料制成的臂46的一端，而样品夹具47提供在臂46的另一端。第一支撑杆45通过弹簧块48固定在盖状元件49的后表面。通过调整微调元件50，第一支撑杆45可以上下移动。
在透明液体44中，浸有第二支撑杆51，探头夹具52以探头夹具52与样品夹具47相对的方式，固定在第二支撑杆51的末端。第二支撑杆51通过平行叶片弹簧53固定在盖状元件49的后表面。盖状元件49由一种透明材料制成，在盖状元件的中心部分形成一个透明窗口54。通过透明窗口透射的光被显微镜M检测。在图10中，只表现了显微镜M的一部分。
样品55固定在由第一支撑杆45支撑的样品夹具47的上端，探头56固定在由第二支撑杆51支撑的探头夹具52的底端。样品55和探头56都形成圆柱体的一部分，如局部放大图所示。这些圆柱体这样安装，他们的轴互相垂直。因此，样品55和探头56在单个点上非常接近。
第二支撑杆51的上端固定在一个固定在螺栓58上的杆57上。螺栓58与通过压电元件60，固定在盖状元件49上端的螺帽59啮合。压电元件60与驱动电路61相连。通过转动螺栓58，第二支撑杆51的高度可以上下调整，通过用来自驱动电路61的AC驱动信号驱动压电元件60，第二支撑杆51和探头52可以以给定频率和振幅上下移动。
首先，操纵微调元件50，使第一支撑杆45上下移动，样品定位在一给定平面。下一步，转动螺栓58，使第二支撑杆51上下移动，使得样品55和探头56之间的距离设定为上述RKKY型相互作用区域内的一个值。然后，驱动电路61被启动，使压电元件60振动，探头56也轻微振动。在这种条件下，白光射入透明窗口42，穿过样品55和探头56，被显微镜M观察到。如上所述，由于圆柱形样品55和探头56正交，所以穿过其间的光发生干涉，而产生与牛顿环类似的干涉条纹。如此产生的干涉条纹被显微镜M观察到。干涉条纹随探头56的周期振动而周期性变化。当在样品55与探头56之间引入一个力时，干涉条纹图样的周期性被扰动。因此通过检测干涉条纹的扰动，可以测量引入样品55和探头56之间的力。与上述实施例类似，通过得到测得在平行与反平行情况下引入样品55与探头56之间力的差，就可以测量引入样品和探头之间的相互作用力。
根据本发明的方法可以用图9和10中表明的装置以外的装置进行。而且，在图9所示的实施例中，激光光源和光检测传感器可以安装在真空室外。在图10描述的实施例中，样品和探头可以互换。
如上所述，在根据本发明的测量相互作用力的方法中，无论样品和探头的成分如何，样品和探头之间的相互作用力可以以原子级分辨率精确测得，同时样品的磁特性不受探头的影响。因此，在根据本发明的评价样品磁特性的方法中，可以基于测得的相互作用力，精确评价样品的磁特性。
权利要求
1.一种测量两种物质之间相互作用力的方法，其中每种物质包含定域电子，且至少其中之一包含传导电子，其中所述的两种物质互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离，同时测量所述两种物质之间的相互作用力。
2.一种测量两种物质之间相互作用力的方法，其中每种物质包含定域电子，且至少其中之一包含传导电子，包括以下步骤将所述的两种物质互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述两种物质磁矩方向互相平行的条件下，测量所述两种物质之间的相互作用力，得到第一力；在所述两种物质磁矩方向互相反平行的条件下，测量所述两种物质之间的相互作用力，得到第二力；和得到所述第一和第二力之间的差，作为所述两种物质之间的相互作用力。
3.一种测量样品和探头之间相互作用力的方法，包括以下步骤将所述的样品表面和探头互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述的样品表面和探头磁矩方向互相平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第一力；在所述的样品表面和探头磁矩方向互相反平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第二力；和得到所述第一和第二力之间的差，作为所述的样品表面和探头之间的相互作用力。
4.根据权利要求3的方法，其中所述样品和探头由具有晶格常数a的过渡金属制成，探头与样品表面相对的距离为d，满足条件1.0≤d/a≤1.7。
5.一种评价两种物质磁特性的方法，其中每种物质包含定域电子，且至少其中之一包含传导电子，而且至少其中之一的磁特性已知，包括以下步骤将所述的两种物质互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述两种物质磁矩方向互相平行的条件下，测量所述两种物质之间的力，得到第一力；在所述两种物质磁矩方向互相反平行的条件下，测量所述两种物质之间的力，得到第二力；得到所述第一和第二力之间的差，作为所述两种物质之间的相互作用力；和基于所述两种物质之间的所述相互作用力，评价所述两种物质中另一个的磁特性。
6.根据权利要求5的方法，其中相互作用力的测量在多个测量点进行，得到多个相互作用力，同时样品和探头之间的距离在所述非常接近的区域内改变，通过综合考虑所述的多个相互作用力，评价样品的磁特性。
7.一种通过测量所述样品和已知磁特性的探头之间的相互作用力，评价样品磁特性的方法，，包括以下步骤将所述的样品表面和探头互相在非常接近的区域内相对，即从传导电子云开始互相重叠的距离，到定域电子云不互相明显重叠的距离；在所述样品表面和探头磁矩方向互相平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第一力；在所述样品表面和探头磁矩方向互相反平行的条件下，测量加在所述探头上的力，得到第二力；得到所述第一和第二力之间的差，作为所述的样品表面和所述探头之间的相互作用力；和基于所述样品表面和所述探头之间的所述相互作用力，评价所述样品表面磁特性。
8.根据权利要求7的方法，其中所述的样品与探头由具有晶格常数a的过渡金属制成，探头与样品表面相对的距离为d，满足条件1.0≤d/a≤1.7。
9.根据权利要求8的方法，其中相互作用力的测量在多个测量点进行，得到多个相互作用力，同时样品和探头之间的距离在所述非常接近的区域内改变，通过综合考虑所述的多个相互作用力，评价样品的磁特性。
全文摘要
一种测量样品和探头之间相互作用力的方法,样品和探头在非常接近的区域或RKKY型相互作用区域内相对,即从传导电子云开始互相重叠的距离,到定域电子云不互相明显重叠的距离,样品和探头之间的相对位移被检测到,在样品表面和探头磁矩方向互相平行的条件下,测得第一力,在样品表面和探头磁矩方向互相反平行的条件下,测得第二力。以所述第一和第二力之差作为相互作用力。基于测得的相互作用力,评价样品表面磁特性。
文档编号G01N37/00GK1196481SQ9810631
公开日1998年10月21日 申请日期1998年4月3日 优先权日1997年4月3日
发明者武笠幸一, 早川和延, 末冈和久, 中村浩次, 田附雄一, 长谷川秀夫, 小口多美夫 申请人:北海道大学