超声波器件及其制造方法、超声波探测器及电子设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及超声波器件、超声波探测器、电子设备及超声波器件的制造方法。
【背景技术】
[0002]使用收发超声波的超声波元件的超声波器件被用于各种用途。专利文献I中公开了具备超声波元件的超声波器件。根据文献内容，超声波器件包括:具备收发超声波的超声波元件的超声波元件阵列基板以及汇聚超声波的声透镜。
[0003]超声波元件形成一种在设置有下侧电极的膜体与设置有上侧电极的膜体之间具有空间的结构。并且，对下侧电极和上侧电极施加交流电压。由此，静电力作用于膜体之间，膜体振动而发送超声波。超声波以通过声透镜汇聚在指定位置的方式射出。声透镜由有机硅树脂形成，为一种超声波易于传递至被检体的材质。
[0004]超声波元件阵列基板设置在支撑部件上，支撑部件上设置有作为电缆的柔性基板。并且，柔性基板与超声波元件的电极通过引线接合方法连接。引线的周围通过树脂密封。声透镜与超声波阵列基板使用粘接剂粘接，这种粘接剂固化而形成使声阻抗匹配的部分。这种粘接剂也配置在声透镜与柔性基板之间，使声透镜和柔性基板粘接。
[0005]当超声波从声透镜射出至被检体时，在声透镜和被检体之间配置有水或凝胶。由此，超声波器件可以减少超声波的反射和衰减，有效地使超声波从声透镜发射至被检体。因此，在使水分接触声透镜的状态下使用超声波器件。
[0006]专利文献I记载的超声波器件中，引线的周围涂布有树脂。设置该树脂用以密封引线。并且，覆盖超声波元件阵列基板、树脂、柔性基板的一部分而涂布有粘接剂。覆盖该粘接剂而设置有声透镜。涂布密封用的树脂及粘接剂而盖住声透镜。这种情况下，有时柔性基板的电极的周围会有气泡残留。而且，由于有气泡的位置粘接剂变薄，因而透湿性增高。于是，存在水分侵入时粘接剂的粘接力减弱，从而声透镜从超声波元件阵列基板剥离的危险。而且，水分侵入时，柔性基板的电极产生电化腐蚀而短路，超声波元件变得不驱动的风险高。因此，需要能够抑制对设置有超声波元件的基板与电缆之间的接合部的透湿性的超声波器件。
[0007]在先专利文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1:国际公开第2008/056643号小册子
【发明内容】
[0010]本发明旨在解决上述问题，可以通过以下方式或应用例来实现。
[0011][应用例I]
[0012]本应用例涉及的超声波器件，其特征在于，具备:设置有收发超声波的超声波元件和与上述超声波元件电连接的电缆的基板、具有与上述基板和上述电缆中的一方连接的多个突起部的声透镜、以及位于基板与上述声透镜之间的声匹配部，上述突起部沿上述基板的外周延伸，与未设置上述电缆的位置相比，在设置有上述电缆的位置，上述突起部延伸的方向的每单位长度中上述突起部所占的比例小。
[0013]根据本应用例，基板上设置有超声波元件和电缆。通过电缆向超声波元件供电，从超声波元件发射超声波。基板上重叠设置有声匹配部和声透镜。由超声波元件发射的超声波通过声匹配部和声透镜而从超声波器件发射。
[0014]在声透镜上沿基板的外周设置有多个突起部。声匹配部是将树脂等涂布在基板上后按压声透镜并固化而形成的。在声透镜上按压树脂时，树脂变形而成为展宽的板状。这种情况下，由突起部规定树脂的厚度。
[0015]突起部沿基板的外周延伸。一些突起部与电缆连接。在未设置有电缆的位置，一些突起部与基板连接。与未设置电缆的位置相比，在设置有电缆的位置，每单位长度中突起部所占的比例更小。因此，与没有电缆的位置相比，有电缆的位置的突起部之间的间隙更大。在树脂被夹在基板与声透镜之间的情况下，树脂从突起部的间隙中流出。因此，相比没有电缆的位置，树脂更容易流出至有电缆的位置。由于流出时会挤出气泡，因而在有电缆的位置可以确保树脂厚度。其结果，由于树脂固化后的厚度合适的的声匹配部覆盖电缆，因此，可以抑制对基板与电缆之间的接合部的透湿性。
[0016][应用例2]
[0017]上述应用例涉及的超声波器件，其特征在于，与未设置上述电缆的位置相比，设置有上述电缆的位置的上述突起部之间的距离长。
[0018]根据本应用例，与未设置电缆的位置相比，设置有电缆的位置的突起部之间的距离长。突起部之间的距离长的一方，作为声匹配部的材料的树脂易于流动。因此，在设置有电缆的位置，可以使气泡流出。
[0019][应用例3]
[0020]上述应用例涉及的超声波器件，其特征在于，在从上述基板的厚度方向观察到的俯视观察中，沿上述基板外周的方向的上述突起部的长度，位于内侧的上述突起部的长度比位于上述基板的外周侧的上述突起部的长度短。
[0021]根据本应用例，突起部在基板的内侧的一方，截面形状的长度比外周侧的短。该截面形状的长度是沿基板外周的方向的突起部的长度。由此，可以使得突起部之间的间隙变为内侧长而外周侧短。由此，可以减小树脂通过突起部之间时的流体阻力，因此，能够使树脂势力强劲地流出至声透镜的外侧。
[0022][应用例4]
[0023]上述应用例涉及的超声波器件，其特征在于，上述基板具有相对的第一边和第二边，上述电缆位于上述第一边和上述第二边，上述第一边上的上述突起部之间的开口部与上述第二边上的上述突起部之间的上述开口部交替地配置。
[0024]根据本应用例，电缆位于第一边和第二边。而且，第一边上的突起部之间的开口部和第二边上的突起部之间的开口部交替配置。当第一边上的开口部和第二边上的开口部位于相对位置时，通过相对的开口部的线是平行的。并且，声透镜中，与有突起部的位置相比，开口部的强度弱，因此，变得容易沿平行的线弯曲。另一方面，当开口部交替配置时，连接第一边的开口部和第二边的开口部的线交叉。因此，声透镜成为容易弯曲的位置沿着交叉的线的状态，因此，与容易弯曲的位置沿着平行的线的情况相比，能够变得难以弯曲。
[0025][应用例5]
[0026]上述应用例涉及的超声波器件，其特征在于，上述声匹配部的一部分位于上述电缆与上述突起部之间。
[0027]根据本应用例，声匹配部的一部分位于电缆与突起部之间。由此，电缆与突起部之间也被声匹配部覆盖。因此，可以将透湿性抑制为较低。
[0028][应用例6]
[0029]本应用例涉及的超声波探测器，其特征在于，具备上述任一项所记载的超声波器件、以及驱动上述超声波器件的驱动电路。
[0030]根据本应用例，超声波探测器包括上述记载的超声波器件、以及驱动该超声波器件的驱动电路。本应用例的超声波探测器具备将对电缆与基板之间的接合部的透湿性抑制为较低的超声波器件。因此，电缆难以因水分而短路，从而可以提供进行长期可靠性高的超声波收发的超声波探测器。
[0031][应用例7]
[0032]本应用例涉及的电子设备，其特征在于，具备:上述任一项所记载的超声波器件；与上述超声波器件连接、利用上述超声波器件的输出进行生成图像的处理的处理部；以及显示上述图像的显示部。
[0033]根据本应用例，电子设备具备上述记载的超声波器件及处理部。处理部利用超声波器件的输出进行图像数据的生成。本应用例的电子设备具备将对电缆与基板之间的接合部的透湿性抑制为较低的超声波器件。因此，电缆难以因水分而短路，从而可以提供进行长期可靠性高的超声波收发的电子设备。
[0034][应用例8]
[0035]本应用例涉及的超声波器件的制造方法，具有在端部设置有电缆的基板的中央配置树脂，由上述基板和具有突起部的声透镜夹住上述树脂并按压，以及使上述树脂固化而形成声匹配部的工序，上述突起部沿上述基板的外周延伸，与未设置上述电缆的位置相比，在设置有上述电缆的位置，上述突起部延伸方向的每单位长度中上述突起部所占比例小。
[0036]根据本应用例，在端部设置有电缆的基板中央配置有树脂。树脂被夹在基板与具有突起部的声透镜之间并被按压。突起部沿基板的外周延伸。当树脂通过声透镜被按压时，树脂会变形而成为展宽的板状。这种情况下，由突起部规定树脂的厚度。与未设置电缆的位置相比，在设置有电缆的位置，突起部延伸方向的每单位长度中突起部所占比例变得更小。由此，与没有电缆的位置相比，有电缆的位置的突起部之间的间隙变大。当树脂被夹在基板与声透镜之间时，树脂从突起部的间隙中流出。从而，由于相比没有电缆的位置，树脂更容易流出至有电缆的位置，因此，在有电缆的位置，树脂使气泡流出。其结果，厚度合适的树脂固化后的的声匹配部覆盖住电缆，从而可以将透湿性抑制为较低。
【附图说明】
[0037]图1是示出第一实施方式涉及的超声波图像装置的构成的简要立体图。
[0038]图2是示出超声波探测器的构造的局部侧截面示意图。
[0039]图3是示出超声波探测器的构造的主要