X射线透过检查装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及能够检测试样中的金属异物等的X射线透过检查装置。
【背景技术】
[0002]一般情况下，为了检测试样中的金属异物或厚度不均等，而采用通过对试样照射X射线而取得的X射线透过像进行检查的X射线透过检查。在用于该X射线透过检查的装置中，当对带状的试样以在线(in-line)的方式进行检查时，通常是在夹住单向流动的产品(试样)的同时相对地设置产生X射线的X射线产生器和检测X射线的线传感器。
[0003]例如，在专利文献I中记载了如下这样的X射线异物检测装置，其具备:多台X射线产生器、多台X射线检测器和为了从X射线产生器照射的X射线不照射到其它区域的X射线检测器而设置的多台光圈装置或屏蔽板。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2004-61479号公报
【发明内容】
[0007]发明所要解决的课题
[0008]在上述现有的技术中留有以下的课题。
[0009]S卩，现有的基于X射线透过的异物检测装置中，为了进行更微小的检测而需要提高空间分辨率，必然需要提高检测X射线的传感器(检测器)的析像度。提高传感器的析像度意味着减小传感器的像素尺寸，但当传感器的像素尺寸变小时入射到像素的X射线数与其像素面积成比例地降低。当X射线数降低时，X射线透过像的噪声所占的X射线统计变动的比例变大，导致X射线透过像的噪声成为问题。因此通常会考虑通过改善X射线产生器的输出等来增大入射的X射线数本身，但这样会导致检测X射线的传感器内的荧光体由于X射线而加快劣化，从而存在无法维持性能到所要求的寿命这样的不良状况。另外，当传感器劣化时需要更换传感器或停止X射线照射，在需要24小时全面运转的情况下，装置的停机时间(down time)成为问题。
[0010]本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的是提供可降低装置的停机时间并能够实现X射线检测器的长寿命化的X射线透过检查装置。
[0011]解决问题的手段
[0012]本发明为了解决上述课题而采用以下的结构。S卩，第I发明的X射线透过检查装置的特征是具备:χ射线源，其对试样照射X射线；检测器，其相对于上述试样设置于上述X射线源的相反侧，并使用了对透过上述试样的上述X射线进行检测的荧光体；屏蔽部件，其与上述检测器的检测面相对地配置并屏蔽上述X射线的一部分，在上述检测面上部分地形成上述X射线的屏蔽区域；以及部件驱动机构，其能使上述屏蔽部件相对于上述检测器进行相对移动来变更上述屏蔽区域的位置。
[0013]因为该X射线透过检查装置具备屏蔽X射线的一部分在检测面上部分地形成X射线的屏蔽区域的屏蔽部件和能使屏蔽部件相对于检测器进行相对移动来变更屏蔽区域的位置的部件驱动机构，所以使屏蔽部件时间性地进行移动来更换在检测面上照射X射线的检测区域和屏蔽区域，由此能够在使用检测区域进行检查的期间，使屏蔽区域的荧光体恢复。
[0014]关于照射X射线的荧光体已知，虽然基于X射线的发光强度缓缓降低，灵敏度变低，但当停止X射线的照射时，发光强度根据回复(annealing)效应而恢复。在本发明中，即使在照射X射线的检测区域中荧光体劣化并导致发光强度降低，也能够通过利用部件驱动机构时间性地更换检测区域和屏蔽区域，在屏蔽区域中对已劣化的荧光体进行回复，使发光强度恢复。
[0015]第2发明的X射线透过检查装置在第I发明中的特征是具备试样移动机构，该试样移动机构能在延伸方向上移动成为带状的上述试样，上述检测器是TDI传感器，上述部件驱动机构能使上述屏蔽部件相对于上述检测器在上述试样的延伸方向上进行相对移动。
[0016]即，在该X射线透过检查装置中，检测器是TDI (Time Delay Integrat1n:时间延迟积分)传感器，部件驱动机构能使屏蔽部件相对于检测器在试样的延伸方向上进行相对移动，所以利用在试样的移动方向上可使例如200?1000级的级数进行积分运算后输出的TDI传感器，能够使灵敏度提高至级数倍，并且能够与荧光体的必要回复时间相应地在移动方向上以级数区分并设定屏蔽区域。
[0017]第3发明的X射线透过检查装置在第I或第2发明中的特征是具备试样移动机构，其能在延伸方向上移动成为带状的上述试样，上述检测器是TDI传感器，上述检测面的宽度被设定为宽于上述试样的宽度，上述部件驱动机构能使上述屏蔽部件相对于上述检测器在与上述试样的延伸方向垂直的方向上进行相对移动。
[0018]S卩，在该X射线透过检查装置中，将检测面的宽度设定为宽于试样的宽度，部件驱动机构能使屏蔽部件相对于检测器在与试样的延伸方向垂直的方向上进行相对移动，所以能够能够移动屏蔽区域而不改变TDI传感器的级数。
[0019]第4发明的X射线透过检查装置在第I至第3发明的任意一个中的其特征是，上述部件驱动机构每隔一定时间变更上述屏蔽区域的位置。
[0020]S卩，在该X射线透过检查装置中，因为部件驱动机构每隔一定时间变更屏蔽区域的位置，所以能够自动且定期地移动屏蔽区域。
[0021]发明效果
[0022]根据本发明，实现以下的效果。
[0023]即，根据本发明的X射线透过检查装置，因为具备屏蔽X射线的一部分在检测面上部分地形成X射线的屏蔽区域的屏蔽部件和能使屏蔽部件相对于检测器进行相对移动来变更屏蔽区域的位置的部件驱动机构，所以使屏蔽部件时间性地进行移动来更换在检测面上照射X射线的检测区域和屏蔽区域，由此能够在屏蔽区域使荧光体的发光强度恢复。因此，即使在24小时全面运转这样的装置中，也能够降低装置的停机时间，能够实现检测器的长寿命化。
【附图说明】
[0024]图1是示出本发明的X射线透过检查装置的第I实施方式的整体概括性结构图。
[0025]图2是示出本发明的X射线透过检查装置的第2实施方式的整体概括性结构图。
【具体实施方式】
[0026]以下，参照图1来说明本发明的X射线透过检查装置的第I实施方式。
[0027]本实施方式的X射线透过检查装置I如图1所示具备:X射线源2，其对成为带状的试样S照射X射线X ;检测器3，其相对于试样S设置于X射线源2的相反侧，并使用对透过试样S的X射线X的荧光体3b ;屏蔽部件4，其与检测器3的检测面3a相对地配置并屏蔽X射线X的一部分，在检测面3a上部分地形成X射线X的屏蔽区域Al ;部件驱动机构5，其能够使屏蔽部件4相对于检测器3进行相对移动来变更屏蔽区域Al的位置；以及试样移动机构6，其能够使试样S在延伸方向上进行移动。
[0028]另外，该射线透过检查装置I具备控制部C，其控制检测器3并检测与受光的X射线X对应的异物。
[0029]上述试样S是例如在形成为带状的Li离子电池用的材料或医药品系列中使用的材料。
[0030]上述X射线源2是可照射X射线的X射线管，该X射线源从铍箔等的窗中射出X射线X，该X射线X是经由对灯丝(阴极)与靶(阳极)之间施加从灯泡内的灯丝(阴极)产生的热电子而引起的电压进行加速并与靶的W(钨)、Mo (钼)，Cr (铬)等冲突后产生的。
[0031]上述检测器3是TDI (Time Delay Integrat1n)传感器。该TDI传感器具备:焚光体3b，其配置在检测面3a上；FOP (fiber optic plate，纤维光学板)3c，其在焚光体3b下以二维纵横的方式多列并排地配置多个光