弯曲试验方法、片状件的制造方法、弯曲试验装置、脆性片、带元件的脆性片以及电子器件的制作方法

弯曲试验方法、片状件的制造方法、弯曲试验装置、脆性片、带元件的脆性片以及电子器件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及弯曲试验方法、片状件的制造方法、弯曲试验装置、脆性片、带元件的 脆性片以及电子器件。
【背景技术】
[0002] 作为图像显示面板、太阳能电池、薄膜二次电池等电子器件的基板，使用玻璃基 板。近年来，作为玻璃基板，开发出了一种具有挠性的玻璃片。
[0003] 作为用于检查玻璃片的耐久性的试验方法，提出了一种一边利用辊输送玻璃片一 边使玻璃片沿着辊的外周弯曲的方法（参照例如专利文献1)。并且，作为玻璃片的试验方 法，还已知有使夹持已弯曲的玻璃片的平行的两块板之间的间隔逐渐缩小的方法（参照例 如非专利文献1)。
[0004] 现有抟术f献
[0005] 专利f献
[0006] 专利文献1 :日本特表2010 - 506168号公报
[0007] 非专利f献
[0008] 非专利文献 I :S. T. Gulati (其他 4 名），"Two Point Bending of Thin Glass Substrate'，，SID Symposium Digest of Technical Papers，2011 年 6 月，第 42 卷， p. 652-654

【发明内容】

[0009] 发明要解决的问题
[0010] 在使含有玻璃等脆性材料的片状件沿着辊弯曲的情况下，以片状件紧抱辊的方式 对片状件施加张力。此外，在辊上存在异物等时，应力集中于片状件的局部。因此，有时设 想外的力会施加于片状件，可靠性降低。
[0011] 此外，在使夹持片状件的平行的两块板之间的间隔逐渐缩小的情况下，片状件的 拉伸应力的发生位置不发生变化。因此，若在拉伸应力的发生位置没有成为裂纹的起点的 缺陷（伤、附着物、内包物等），则破坏强度的检测结果偏高，可靠性降低。
[0012] 本发明是鉴于所述问题而做成的，其目的在于提供一种可靠性较高的弯曲试验方 法等。
[0013] 用于解决问题的方案
[0014] 为了解决所述问题，根据本发明的一技术方案提供一种弯曲试验方法，
[0015] 将含有脆性材料的片状件分别支承于第1支承盘和第2支承盘，
[0016] 在维持彼此平行的所述第1支承盘的支承面与所述第2支承盘的支承面之间的间 隔的状态下，使所述第2支承盘的位置相对于所述第1支承盘移动，
[0017] 检查在所述第1支承盘与所述第2支承盘之间弯曲的所述片状件是否形成有裂 纹。
[0018] 发明的效果
[0019] 采用本发明的一技术方案，提供一种可靠性较高的弯曲试验方法。
【附图说明】
[0020] 图1是表示本发明的一实施方式的弯曲试验装置的试验的样子的图。
[0021] 图2是图1中的弯曲试验装置的俯视图。
[0022] 图3是表示图1中的弯曲试验装置的组装片状件时的状态的图。
[0023] 图4是表示本发明的一实施方式的合成片的图。
[0024] 图5是表不本发明的一实施方式的液晶面板的图。
[0025] 图6是表不本发明的一实施方式的有机EL面板的图。
[0026] 图7是表示本发明的一实施方式的太阳能电池的图。
[0027] 图8是表示本发明的一实施方式的薄膜二次电池的图。
[0028] 图9是表不本发明的一实施方式的电子纸的图。
[0029] 图10是表示变形例的弯曲试验装置的组装片状件时的状态的图。
[0030] 图11是从上方观察图10中的下侧支承盘而得到的图。
【具体实施方式】
[0031] 以下，参照【附图说明】用于实施本发明的方式。在各附图中，对同一结构或对应的结 构标注同一附图标记或对应的附图标记，并省略说明。
[0032] 图1是表示本发明的一实施方式的弯曲试验装置的试验的样子的图。在图1中， 在实线所示的状态下，在使下侧支承盘相对于基部向图中左方移动时，成为单点划线所示 的状态。图2是图1中的弯曲试验装置的俯视图。图3是表示图1中的弯曲试验装置的组 装片状件时的状态的图。在图1和图3中，剖切移动部的局部来进行图示。
[0033] 弯曲试验装置10是用于使含有脆性材料的片状件弯曲的装置。作为片状件，使用 例如玻璃片2。通过检查在弯曲的玻璃片2是否形成有裂纹，来确认玻璃片2的耐久性。
[0034] 玻璃片2可以被用作图像显示面板、太阳能电池、薄膜二次电池等电子器件的基 板，也可以在玻璃片2上形成各种元件。
[0035] 玻璃片2的玻璃的种类可以是多种多样，例如可以是钠钙玻璃、无碱玻璃等。
[0036] 玻璃片2的厚度为例如200 μ m以下。在玻璃片2的厚度为200 μ m以下的情况下， 能够将玻璃片2卷绕成螺旋状而制作玻璃卷。玻璃片2的厚度优选为150 μ m以下，更优选 为100 μπι以下，特别优选为50 μπι以下。此外，玻璃片2的厚度优选为0. 1 μπι以上，更优 选为1 μπι以上，特别优选为5 μπι以上。
[0037] 在玻璃片2为矩形的情况下，也可以是，长边的长度为150mm~3050mm、短边的长 度为 100mm ~2850mm。
[0038] 例如如图1~图3所示，弯曲试验装置10包括：基部12 ;作为第1支承盘的上侧 支承盘14 ;作为第2支承盘的下侧支承盘16 ;移动部20 ;调整部30 ;检测部40 ;支承部50 ; 以及载置部60。
[0039] 上侧支承盘14用于支承玻璃片2。上侧支承盘14的支承面14a可以是朝下的平 坦的面，例如可以是利用带等固定玻璃片2的一端部的面。上侧支承盘14的与支承面14a 相反的一侧的面既可以平坦也可以不平坦。
[0040] 为了防止损伤玻璃片2,上侧支承盘14包括金属制的主体和用于与玻璃片2接触 的树脂层较好。树脂层以与金属制的主体分离自如的方式安装于该金属制的主体较好。在 玻璃片2的碎片等插入树脂层的情况下，能够更换树脂层。
[0041] 下侧支承盘16与上侧支承盘14同样用于支承玻璃片2。下侧支承盘16的支承 面16a可以是朝上的平坦的面，例如可以是供玻璃片2的另一端部载置的载置面。玻璃片 2的另一端部在重力作用下被推压于下侧支承盘16的支承面16a，在摩擦力的作用下被固 定。为了防止玻璃片2发生位置偏移，在下侧支承盘16的支承面16a设置用于与玻璃片2 的另一端部抵接的止挡件17较好。下侧支承盘16的与支承面16a相反的一侧的面既可以 平坦也可以不平坦。
[0042] 为了防止损伤玻璃片2,下侧支承盘16包括金属制的主体和用于与玻璃片2接触 的树脂层较好。树脂层以与金属制的主体分离自如的方式安装于该金属制的主体较好。在 玻璃片2的碎片等插入树脂层的情况下，能够更换树脂层。
[0043] 移动部20用于以维持彼此平行的上侧支承盘14的支承面14a与下侧支承盘16 的支承面16a之间的间隔D的状态使下侧支承盘16的位置相对于上侧支承盘14移动。移 动部20使下侧支承盘16相对于基部12平行地移动，以使下侧支承盘16的位置相对于上 侧支承盘14移动。
[0044] 另外，本实施方式的移动部20使下侧支承盘16相对于基部12平行地移动，但也 可以使上侧支承盘14相对于基部12平行地移动，还可以使上侧支承盘14和下侧支承盘16 这两者相对于基部12平行地移动。在任一情况下，下侧支承盘16的位置均相对于上侧支 承盘14移动。
[0045] 移动部20包括例如升降框架21、马达22、滚珠丝杠机构23、滑块24等。升降框架 21相对于基部12移动自如。马达22例如可以是电动伺服马达，安装于升降框架21。滚珠 丝杠机构23用于将马达22的旋转运动转换成直线运动并传递至滑块24。滑块24与下侧 支承盘16连结，并和下侧支承盘16 -起相对于基部12平行地移动。马达22在包括微型 计算机等的控制器的控制下使滚珠丝杠轴23a旋转，使滚珠丝杠螺母23b移动。随着滚珠 丝杠螺母23b的移动，滑块24和下侧支承盘16相对于基部12平行地移动。
[0046] 另外，本实施方式的马达22为旋转马达，但也可以是直线马达。直线马达包括定 子和可动元件，在可动元件安装下侧支承盘16。在作用在定子与可动元件之间的磁力的作 用下，可动元件进行直线运动，而使下侧支承盘16移动。
[0047] 调整部30用于调整彼此平行的上侧支承盘14的支承面14a与下侧支承盘16的 支承面16a之间的间隔D。调整部30可以使下侧支承盘16相对于基部12升降，以调整间 隔D0
[0048] 另外，本实施方式的调整部30使下侧支承盘16相对于基部12升降，但也可以使 上侧支承盘14相对于基部12升降，还可以使下侧支承盘16和上侧支承盘14这两者相对 于基部12升降。在任一情况下，均能够调整上侧支承盘14与下侧支承盘16之间的间隔D。
[0049] 调整部30包括例如菱形架伸缩式千斤顶。调整部30配置在移动部20 (详细而言 为升降框架21)与基部12之间，用于使移动部20相对于基部12升降。随着移动部20的 升降，下侧支承盘16进行升降，从而能够调整下侧支承盘16与上侧支承盘14之间的间隔。
[0050] 其中，本实施方式的调整部30包括菱形架伸缩式千斤顶，通过手动使调整部30工 作，但也可以将调整部30构成为与移动部20同样，也可以包括马达等。调整部的马达在控 制器的控制下工作。
[0051] 检测部40包括用于检测在玻璃片2形成裂纹时产生的弹性波（例如AE (Acoustic Emission)波）的传感器（例如AE传感器）。确认在玻璃片2被上侧支