r>[0062]在图4B和图5B的例子中，用光刻胶掩蔽材料101B从而限定多个特征(252)。在一些例子中，所述多个特征包括检测质量122、限定一个平面且构造成支撑检测质量122的支撑结构130、构造成将检测质量122挠性地连接到支撑结构130的挠曲部124、以及多个凸起垫片126A - 126D，其包括位于支撑结构130上且位于检测质量122的挠曲部124与支撑结构130的外部之间的至少一个凸起垫片(例如，凸起垫片126A)，凸起垫片126A构造成是可隔离的(254)。在图5B的例子中，对材料101B进行处理，从而在材料101B上形成多个特征(256)。
[0063]在一些例子中，用光刻胶掩蔽材料101B包括第一掩膜103B和第二掩膜105B ;其中第一掩膜103B限定支撑结构130，第二掩膜105B限定支撑结构130的内部。在一些例子中，第一掩膜103B可包含丝网聚乙烯基材料，第二掩膜105B可具有硅橡胶材料。在一些例子中，对材料101B进行处理可包括在酸浴中刻蚀石英衬底。在一些例子中，对材料101B进行处理可包括用二氧化碳激光处理石英衬底。在一些例子中，凸起垫片126A构造成利用二氧化碳激光器将其隔离。
[0064]图9是说明根据本文中所描述的技术用于制造加速度计组件的示例操作的流程图。图9是关于图6和图7描述的。在图9的例子中，加速度计位于第一定子212A与第二定子212B之间，并且加速度计包括多个特征(302)。在一些例子中，所述多个特征包括检测质量、限定一个平面且构造成支撑检测质量的支撑结构、构造成将检测质量挠性地连接到支撑结构的挠曲部、及多个凸起垫片，其包括位于挠曲部与支撑结构的外部之间的至少一个凸起垫片，并且至少一个凸起垫片构造成是可隔离的。在图9的例子中，将第一定子212A和第二定子212B压到加速度计上(304)，将腹带214附接到第一定子212A和第二定子212B
(306)。在图9的例子中，将至少一个凸起垫片隔离(308)。例如，可将如图7中所示的凸起垫片206从加速度计组件200中去除。
[0065]在一些例子中，将至少一个凸起垫片206与支撑结构隔离可将加速度计的一个区域与第一定子212A和第二定子212B机械隔离(310)。在一些例子中，将至少一个凸起垫片206隔离可包括将至少一个凸起垫片206的垫片挠曲部剪切或破裂中的至少一种。在一些例子中，将至少一个凸起垫片206隔离可包括去除一部分的支撑结构。在一些例子中，压缩第一定子212A和第二定子212B还可包括将第一定子212A和第二定子212B夹紧到加速度计上。在一些例子中，使腹带214附接还可包括用环氧树脂将腹带214粘接到第一定子212A和第二定子212B上。
[0066]在一个或多个例子中，所述功能可在硬件、软件、固件、或者其任意组合中实施。如果在软件中实施，则可将函数作为一个或多个指令或代码存储在计算机可读介质中或者在计算机可读介质中传递，并且由基于硬件的处理单元来执行。计算机可读介质可包括计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质对应于有形介质(诸如数据存储介质)、或者通信媒质(包括便于将计算机程序从一个位置传输到另一个位置的任何媒质，例如根据通信协议)。这样，计算机可读介质通常可对应于(1)非暂时性的有形计算机可读存储介质；或者
(2)通信媒质，诸如信号或载波。数据存储介质可以是以由一个或多个计算机或者一个或多个处理器访问以便检索用于实施本公开所描述的技术的指令、代码和/或数据结构的任何可获得的介质。计算机程序产品可包括计算机可读介质。
[0067]例如但不限于，这种计算机可读存储介质可以包括:RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或者其它光盘储存器、磁盘储存器或其它磁存储装置、闪速存储器、或者可以用于存储采用指令或数据结构形式的期望的程序代码并且可以由计算机访问的任何其它介质。另外，可将任何连接适当称为计算机可读介质。例如，如果指令是使用同轴电缆、光纤电缆、双绞线、数字用户线(DSL)、或无线技术(诸如红外、无线射频和微波)，从网站、服务器或者其它远程数据源中传递，那么同轴电缆、光纤电缆、双绞线、DSL、或无线技术(诸如红外、无线射频和微波)包括在介质的定义中。然而，应当理解的是，计算机可读存储介质和数据存储介质不包括连接线、载波、信号、或其它瞬态介质，相反可涉及非瞬态的有形存储介质。本文中所使用的盘包括压缩光盘(⑶)、激光光盘、光盘、数字通用光盘(DVD)、软盘及蓝光光盘，其中这些盘通常是以磁的方式复制数据，同时这些盘用激光以光学的方式复制数据。上述的组合也应当包括在计算机可读介质的范围内。
[0068]指令可由一个或多个处理器执行，诸如一个或多个数字信号处理器(DSP)、通用微处理器、专用集成电路(ASIC)、现场可编程逻辑阵列(FPGA)、或着其它等效的集成电路或分立逻辑电路。因此，本文中使用的术语“处理器”可指代任何前述结构或者适合于实施本文中所描述技术的任何其它结构。另外，在一些方面，可将本文中所描述的功能设置在用于编码和解码的专用硬件和/或软件模块内部，或者并入复合编码译码器中。另外，可以完全地在一个或多个电路或逻辑元件中实施这些技术。
[0069]本公开的技术可以在种类广泛的设备或装置、集成电路(1C)或者一组1C (例如，芯片组)中实施。在本公开中所描述的各种部件、模块或单元是用于强调构造成实施所公开技术的装置的功能方面，但不必要求由不同的硬件单元而实现。相反，如上所述，可将各种单元可合并在编码译码器硬件单元中，或者由相互操作的硬件单元的集合提供，包括如上所述的一个或多个处理器，并结合合适的软件和/或固件。
[0070]上面已描述了本公开的各种例子。这些例子和其它例子是在所附权利要求的范围内。
【主权项】
1.一种装置，包括: 检测质量； 支撑结构，所述支撑结构围绕所述检测质量，限定一个平面并且构造成支撑所述检测质量； 挠曲部，所述挠曲部将所述检测质量连接到所述支撑结构，其中，所述挠曲部允许所述检测质量在由所述支撑结构所限定的所述平面附近移动；及 多个凸起垫片，其中至少一个凸起垫片位于所述挠曲部与所述支撑结构的外部之间，并且其中，所述至少一个凸起垫片构造成是可隔离的； 其中，所述装置是由单体材料构成。2.如权利要求1所述的装置，其中，所述多个凸起垫片的每个凸起垫片还包括连接到所述支撑结构的两个垫片挠曲部。3.如权利要求2所述的装置，其中，在所述凸起垫片上的所述两个垫片挠曲部的位置是基于所述凸起垫片对所述挠曲部的接近。4.如权利要求2所述的装置，其中，所述加速度计具有圆形形状，并且其中，所述两个垫片挠曲部在所述加速度计的径向方向上是薄的并且在所述加速度计的圆周方向和垂直方向上是刚性的。5.如权利要求2所述的装置，其中，所述两个垫片挠曲部还包括第一垫片挠曲部和第二垫片挠曲部。6.如权利要求5所述的装置，其中，一部分的所述多个凸起垫片的所述第一垫片挠曲部和所述第二垫片挠曲部被连接在所述至少一个凸起垫片的中部与所述支撑结构之间。7.如权利要求5所述的装置，其中，接近所述挠曲部的所述至少一个凸起垫片的所述第一垫片挠曲部和所述第二垫片挠曲部被连接在所述至少一个凸起垫片的角部与所述支撑结构之间，并且其中，所述第一垫片挠曲部和所述第二垫片挠曲部构造成是可去除的。8.如权利要求5所述的装置，其中，所述第一垫片挠曲部和所述第二垫片挠曲部包括所述支撑结构的外部，并且其中，所述第一垫片挠曲部和所述第二垫片挠曲部构造成是可去除的。9.一种制造加速度计的方法，所述方法包括: 用光刻胶掩蔽材料从而限定多个特征，所述多个特征包括: 检测质量； 支撑结构，所述支撑结构限定一个平面并且构造成支撑所述检测质量； 挠曲部，所述挠曲部构造成将所述检测质量挠性地连接到所述支撑结构；和多个凸起垫片，所述多个凸起垫片包括位于所述支撑结构上且在所述检测质量的挠曲部与所述支撑结构的外部之间的至少一个凸起垫片，其中，所述至少一个凸起垫片构造成是可隔离的； 以及 对所述材料进行处理，从而在所述材料上形成所述多个特征。10.一种制造加速度计组件的方法，所述方法包括: 将加速度计放置在第一定子与第二定子之间，其中所述加速度计包括多个特征，所述特征包括: 检测质量， 支撑结构，所述支撑结构限定一个平面并且构造成支撑所述检测质量， 挠曲部，所述挠曲部构造成将所述检测质量挠性地连接到所述支撑结构，和多个凸起垫片，所述多个凸起垫片包括位于所述挠曲部与所述支撑结构的外部之间的至少一个凸起垫片，其中，所述至少一个凸起垫片构造成是可隔离的； 将所述第一定子和所述第二定子压到所述加速度计上； 将腹带附接到所述第一定子和所述第二定子；以及 将所述至少一个凸起垫片隔离。
【专利摘要】本发明涉及减少加速度计中的滞后效应。本文中公开了制造加速度计的技术，该技术包括将加速度计放置在第一定子和第二定子之间，并且加速度计包括多个特征。在一些例子中，所述多个特征包括检测质量、限定一个平面且构造成支撑检测质量的支撑结构、构造成将检测质量挠性地连接到支撑结构的挠曲部、和多个凸起垫片，所述多个凸起垫片包括位于挠曲部与支撑结构外部之间的至少一个凸起垫片，其中至少一个凸起垫片构造成是可隔离的。如本文中所公开的制造加速度计的技术还包括：将第一定子和第二定子压到加速度计上、将腹带附接到第一定子和第二定子、以及将至少一个凸起垫片隔离。
【IPC分类】G01P15/125
【公开号】CN105301285
【申请号】CN201510392868
【发明人】P.德维尔, W.李
【申请人】霍尼韦尔国际公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年7月7日
【公告号】EP2966450A1, US20160011229