一种大口径光学元件卧式电磁支撑装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于大口径光学元件面形检测技术领域，涉及一种大口径光学元件卧式电磁支撑装置。
【背景技术】
[0002]光学干涉检测技术是一种以光波干涉原理为基础的计量测试方法，是公认的检测光学元件、光学系统最有效、最准确的手段之一。干涉仪是采用干涉检测技术的典型仪器，其具有非接触检测的特点，可以快速、高精度地获取被测光学元件信息，并具有比其它类型的检测仪器更高的灵敏度与更好的易用性，目前干涉仪的发展体现出更高的空间分辨率、更宽的波段和动态高速测量等特点。
[0003]利用干涉仪检测光学元件时，有时会遇到光学元件的直径大于干涉仪最大检测口径的情况，如大口径准直物镜、大口径透射平晶、大口径反射平晶等，以及不特定外形的大口径被测光学元件。遇到这种情况，一般会采用拼接检测的手段，这时就需要适合大口径光学元件的支撑设备，目前现有的适合大口径光学元件的支撑设备，如V型支撑、多点支撑、吊带支撑等，支撑力主要分布在镜片的下半部分，使镜片受力不均，镜面变形较大，不是理想的支撑方式，且安装前需要针对镜面受力及变形状况，对镜面反复进行光学加工，才能达到使用要求，安装过程繁琐。
【发明内容】
[0004]为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种大口径光学元件卧式电磁支撑装置，该支撑装置使光学元件沿圆周方向受力均匀，光学元件面型变化小，能够满足各种尺寸光学元件的支撑要求，特别适合大口径光学元件，且安装过程简单，并根据光学元件不同的面型要求，切换接触/非接触两种支撑模式。
[0005]为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是:一种大口径光学元件卧式电磁支撑装置，包括支架底座、支架、若干个电磁支撑机构及若干个连接机构，所述支架固定在支架底座上，电磁支撑机构与支架之间为滑动连接，电磁支撑机构与连接机构之间为磁性连接。
[0006]所述的支架底座的上部为半环型，并设置有半环型槽，所述支架为环形，支架的下半部通过嵌入半环型槽内、固定在支架底座上。
[0007]在所述的支架的内壁上设有环形槽，在环形槽的两侧壁上设置有若干个滑槽；所述的电磁支撑机构由滑动底座、球面轴承、压力传感器、电磁体外套、电磁线圈组、电磁芯、支撑体、若干个顶丝及若干个螺栓组成，在电磁体外套的顶面上设置有凹槽，电磁芯固定在凹槽内中心区域，电磁线圈组套在电磁芯上，支撑体的底部设置在凹槽内、位于电磁芯和电磁线圈组的上方，支撑体采用永磁体或导磁体，支撑体的底部的外壁与电磁体外套的凹槽内壁之间采用间隙配合，在支撑体的顶面上设置有弧型槽，在支撑体的侧壁上设置有楔形环槽，若干个顶丝设置在电磁体外套的侧壁上，顶丝与楔形环槽相对应；滑动底座设置在电磁体外套的下方，球面轴承的外圈固定在滑动底座上；压力传感器设置在电磁体外套与滑动底座之间，压力传感器的上端通过连接杆与电磁体外套固连，压力传感器的下端通过连接件与球面轴承的内圈固连；若干个螺栓固定在滑动底座的两侧壁上，滑动底座设置在支架的环形槽内，螺栓穿过支架的滑槽。
[0008]在所述支架的环形槽的每侧侧壁上沿圆周均匀分布若干个滑槽，且两侧侧壁上的滑槽对称设置。
[0009]所述的连接机构由若干个弧面体和若干个弧面体座组成，弧面体采用永磁体，弧面体固定在弧面体座上，弧面体的型面与电磁支撑机构的支撑体的弧型槽相对应，使用时，弧面体与支撑体的弧型槽一一对应、配合，弧面体座固定在待检测镜片沿周向的侧壁上。
[0010]所述电磁支撑机构的滑动底座上的螺栓采用精密螺栓。
[0011]所述的连接杆采用双头螺柱，双头螺柱与电磁体外套之间、双头螺柱与压力传感器之间均为螺纹连接。
[0012]所述连接件采用连接螺栓和锁紧螺母，连接螺栓的螺杆穿过球面轴承的内圈、锁紧螺母与压力传感器的下端通过螺纹连接。
[0013]所述电磁支撑机构的球面轴承、压力传感器、电磁芯、支撑体的弧型槽及连接机构的弧面体的中心均设置在同一中心线上。
[0014]本发明的有益效果:
本发明的大口径光学元件卧式电磁支撑装置，其中连接机构沿镜片圆周方向均匀分布，在镜片下半部分提供径向推力，在镜片上半部分提供径向拉力，通过调节电磁力的大小使镜片沿圆周方向受力均匀，达到理想的受力状况，镜片面型变化小，能够满足各种尺寸镜片的支撑要求，特别适合大口径镜片，且安装过程简单，并根据光学元件不同的面型要求，切换接触/非接触两种支撑模式。
【附图说明】
[0015]图1为本发明的大口径光学元件卧式电磁支撑装置的结构示意图；
图2为本发明的电磁支撑机构的结构示意图；
图3为本发明的连接机构的结构示意图；
图中，1一支架底座，2—支架，21—环形槽，22—滑槽，3—电磁支撑机构，301 —滑动底座，302—螺栓，303—连接螺栓，304—球面轴承，305—锁紧螺母，306—压力传感器，307—双头螺柱，308—电磁体外套，309—电磁线圈组，310—电磁芯，311—支撑体，312—顶丝，313—凹槽，314—弧型槽，315—楔形环槽，4一连接机构，41 一弧面体，42—弧面体座，5—
镜片Ο
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细说明。
[0017]如图1~图3所示，一种大口径光学元件卧式电磁支撑装置，包括支架底座1、支架
2、八个电磁支撑机构3及八个连接机构4，所述支架2通过嵌入方式固定在支架底座1上，支架底座1底部可连接其它移动装置，在支架2的内壁上设有环形槽21，在环形槽21的每侧侧壁上沿圆周均匀分布十二个滑槽22，且两侧侧壁上的滑槽22对称设置；电磁支撑机构3能够沿着滑槽22在环形槽21内滑动，并能够在周向及轴向进行角度的调整；
所述的电磁支撑机构3由滑动底座301、球面轴承304、压力传感器306、电磁体外套308、电磁线圈组309、电磁芯310、支撑体311、两个顶丝312及四个螺栓302组成，在电磁体外套308的顶面上设置有凹槽313，电磁芯310固定在凹槽313内中心区域，电磁线圈组309套在电磁芯310上，电磁线圈组309通电后，可使支撑体311在电磁体外套308内上下滑动，支撑体311的底部设置在凹槽313内、位于电磁芯310和电磁线圈组309的上方，支撑体311采用永磁体或导磁体，支撑体311的底部的外壁与电磁体外套308的凹槽内壁之间采用间隙配合，电磁线圈组309通过励磁电流后，在电磁力的作用下，支撑体311能够在电磁体外套308的凹槽313内上下移动，从而产生推/拉力；在支撑体311的顶面中心设置有弧型槽314，用于与连接机构4的弧面体41相配合；在支撑体311的侧壁上设置有楔形环槽315，在电磁体外套308的侧壁上设置有顶丝312，顶丝312与楔形环槽315相对应；当顶丝312完全旋入后，支撑体311被锁死、不能任意滑动，以免给镜片5安装过程带来不便，当顶丝312慢慢旋出后，通过与楔形环槽315配合，使支撑体311慢慢从电磁体外套308内滑出，避免产生冲击力；
滑动底座301设置在电磁体外套308的下方，球面轴承304的外圈通过胶粘固定在滑动底座301的上部；球面轴承304保证支撑体311与电磁体外套308只承受轴向力，不会因为承受切向力导致变形损坏，四个螺栓302对称固定在滑动底座301的两侧壁上，电磁支撑机构3的上部设置在支架2的环形槽21内，滑动底座301两侧的螺栓302穿过支架2的环形槽21两侧的滑槽22 ;使用时，所述滑动底座301沿支架2轴向的长度小于支架2的环形槽21在同一方向上的长度，电磁支撑机构3的滑动底座301设置在支架2的环形槽21内，螺栓302穿过支架2的滑槽22，带动电磁支撑机构3沿着滑槽22滑动；
压力传感器306设置在电磁体外