一种惯性追踪模块的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及人机交互技术领域，具体来说是一种惯性追踪模块。
【背景技术】
[0002] 人机交互技术在很多领域得到广泛应用，如电子产品、游戏、医疗等。然而，在人机 交互系统中，经常因为噪音原因，会导致最终结构不精确。
[0003] 在人机交互技术中，项目产品通过对构成惯性追踪模块的三轴陀螺仪、三轴加速 度传感器、三轴磁传感器及外围电路设计，成功将惯性导航系统应用到体感互动健身系统， 以精确确定运动载体的方位、姿态和速度，且具有在较小范围内测量精度高，误差小，响应 快，抗干扰强等优点。
[0004] 其中传统的三轴磁传感器会因为其他磁场的干扰而导致位置不精确，所以，一种 抗干扰能力强的三轴磁传感器是保证人机交互结构的重要环节。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的是为了解决现有技术中三维目标定位易受噪音干扰的缺陷，提供一 种惯性追踪模块，来解决上述问题。
[0006] 本发明通过以下技术方案实现上述技术内容：
[0007] -种惯性追踪模块，包括惯性追踪模块；所述惯性追踪模块包括三轴陀螺仪、三轴 加速度传感器、三轴磁传感器以及控制器；所述三轴加速度传感器包括两个加速计；所述 两个加速计相隔一定距离设置在人体上；所述三轴陀螺仪设置在人体上；所述三轴传感器 设置在人体上；所述三轴陀螺仪、三轴加速度传感器、三轴磁传感器以及控制器均与所述控 制器连接；
[0008] 所述三轴陀螺仪为MEMS三轴陀螺仪，所述MEMS三轴陀螺仪包括衬底，以及通过锚 点弹性支撑在衬底上方的主质量块，所述衬底上设有与主质量块构成驱动电容并驱动主质 量块转动的驱动电极；以主质量块的横向方向为X轴方向，以主质量块的竖向方向为Y轴方 向，以垂直于主质量块所在平面的方向为Z轴方向；还包括XY轴检测结构，所述XY轴检测 结构包括通过锚点弹性支撑在所述衬底上方的随动质量块，其中，所述随动质量块的侧壁 通过驱动弹性梁与主质量块连接；在所述随动质量块上还设置有X轴检测质量块、Y轴检测 质量块，其中，其中X轴检测质量块位于随动质量块的Y轴方向上，并通过沿Y轴方向的第 一连接梁与随动质量块连接；所述Y轴检测质量块位于随动质量块的X轴方向上，且通过沿 X轴方向的第二连接梁与随动质量块连接；所述X轴检测质量块、Y轴检测质量块的两端具 有分别沿对应的第一连接梁、第二连接梁对称的第一可动电极、第二可动电极；所述衬底上 设置有与第一可动电极、第二可动电极构成差分检测电容的相应的固定电极；还包括Z轴 检测结构，所述Z轴检测结构包括通过第三连接梁与主质量块连接的Z轴解耦质量块，还包 括与Z轴解耦质量块平行布置的Z轴检测质量块，其中所述Z轴检测质量块通过位于其两 侧的第四连接梁与Z轴解耦质量块连接；所述Z轴检测质量块通过第五连接梁连接在固定 于衬底的锚点上，且第四连接梁与第五连接梁垂直；所述Z轴检测质量块上设置有第三可 动电极、第四可动电极，所述衬底上设置有与第三可动电极、第四可动电极构成差分电容的 固定电极；
[0009] 所述三轴加速度传感器包括MEMS加速度芯片、用于过滤干扰信号并处理感应信 号的信号处理芯片和基板，所述MEMS加速度芯片由盖体、微机械系统和用于产生感应信号 的电路基片组成，该微机械系统由X轴加速度感应区、Y轴加速度感应区和用于感应外界Z 轴运动的Z轴加速度感应区组成，所述盖体与电路基片四周边缘通过密封胶层粘接从而形 成一密封腔，所述微机械系统位于密封腔内且在电路基片上表面，该密封腔的高度为45~ 55 μ m；
[0010] 所述三轴磁传感器为单芯片三轴磁场传感器，所述单芯片三轴磁场传感器传感 器包括：一位于XY平面内的基片，所述基片上集成设置有一X轴传感器、一Y轴传感器和 一Z轴传感器，分别用于检测磁场在X轴方向、Y轴方向、Z轴方向上的分量；所述X轴传 感器和所述Y轴传感器各自均包含有一参考电桥和至少两个磁通量控制器，所述参考电桥 的参考臂和感应臂均包含有一个或多个相同的相互电连接的磁电阻传感元件，所述参考臂 上的磁电阻传感元件位于所述磁通量控制器的上方或下方，并沿着所述磁通量控制器的长 度方向排列形成参考元件串，所述感应臂上的磁电阻传感元件位于相邻两个所述磁通量控 制器之间的间隙处，并沿着所述磁通量控制器的长度方向排列形成感应元件串；所述参考 元件串和所述感应元件串相互交错排放，每个所述参考元件串至少与一个所述感应元件串 相邻，每个所述感应元件串也至少与一个所述参考元件串相邻；所述Y轴传感器中的各元 件和所述X轴传感器中对应的元件排布方向相互垂直；所述X轴传感器和所述Y轴传感器 中各自两个相邻所述磁通量控制器之间的间隙处的磁场的增益系数均为l〈Asns〈100,所 述X轴传感器和所述Y轴传感器的磁通量控制器的上方或者下方处的磁场的衰减系数均 为0〈Aref〈l;所述Z轴传感器包含有一推挽电桥和至少一个磁通量控制器，所述推挽电桥 的推臂和挽臂交替排列，各自均包含有所述一个或多个相同的相互电连接的磁电阻传感元 件，所述推臂和所述挽臂上的磁电阻传感元件均沿着所述Z轴传感器中磁通量控制器的长 度方向排列，分别位于所述Z轴传感器中磁通量控制器的下方两侧或上方两侧；所述X轴传 感器和所述Y轴传感器上的磁电阻传感元件的钉扎层的材料不同，并且钉扎层的磁化方向 垂直；所述Z轴传感器和所述X轴传感器的钉扎层的磁化方向相同；在没有外加磁场时，所 有所述磁电阻传感元件的磁性自由层的磁化方向与钉扎层的磁化方向均垂直；其中，X轴、 Y轴和Z轴两两相互正交。
[0011] 优选的，所述磁电阻传感元件为GMR自旋阀元件或者TMR传感元件。
[0012] 优选的，所述磁通量控制器为矩形长条阵列，其在垂直于所述磁电阻传感元件的 钉扎层的磁化方向上的长度大于沿着所述磁电阻传感元件的钉扎层的磁化方向的长度，并 且其组成材料为软铁磁合金。
[0013] 优选的，所述X轴传感器和所述Y轴传感器各自的所述感应臂和所述参考臂上的 磁电阻传感元件的数量相同；所述Z轴传感器的所述推臂和所述挽臂上的磁电阻传感元件 的数量相同。
[0014] 优选的，所述磁电阻传感元件在垂直于钉扎层磁化方向上的长度大于沿着钉扎层 磁化方向的长度。
[0015] 优选的，所述Z轴传感器的相邻两个所述磁通量控制器之间的间距S不小于所述 Z轴传感器的所述磁通量控制器的三维尺寸中最小的一个。
[0016] 优选的，在没有外加磁场时，所述磁电阻传感元件通过永磁偏置、双交换作用、形 状各向异性或者它们的任意结合来实现磁性自由层的磁化方向与钉扎层的磁化方向垂直。
[0017] 优选的，所述参考电桥和所述推挽电桥均为半桥、全桥或者准桥结构。
[0018] 优选的，所述基片上集成有一ASIC芯片，或所述基片与一独立的ASIC芯片相电连 接。
[0019] 优选的，所述单芯片三轴磁场传感器还包含有至少3个焊盘或所述X轴传感器、所 述Y轴传感器和所述Z轴传感器上各自至少有3个硅通孔。
[0020] 本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：
[0021] 本发明提