一种自动光学检测聚焦定位方法
【专利摘要】本申请公开了一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，包括：在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率；使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距；依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距；其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值。通过使用本申请中公开的方法，可以避免自动光学检测仪器聚焦到玻璃基板下表面或无法聚焦的情况，从而提高了自动光学检测仪器的工作范围。
【专利说明】
一种自动光学检测聚焦定位方法
技术领域
[0001]本申请涉及光学检测领域，尤其涉及一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法。
【背景技术】
[0002]随着人们生活水平的提高，平板显示器在生活中也变得越来越常见。玻璃基板是平板显示器的关键基础材料之一，其质量直接影响到平板显示的显示效果。
[0003]玻璃基板上表面的缺陷是玻璃基板常见的质量问题，为了找出缺陷，常用的设备有自动光学检测(Automatic Optic Inspect1n，简称AOI)设备，这类设备在工作时需要对待检测区域，也就是玻璃基板上表面，进行聚焦，以获取缺陷图像，并进一步对缺陷图像进行分析以找到缺陷。这种聚焦的焦距一般是自动光学检测设备上的自动聚焦传感器根据反射光，自动确定的。
[0004]然而，当所检测的玻璃基板为素基板或其他上表面反射率低、透射率高的基板的情况下，由于缺乏反射光，自动聚焦的功能往往会失效。这时，由于玻璃基板下表面也有反射光，自动聚焦有可能聚焦至下表面，从而无法检测出上表面的缺陷；或者由于上表面下表面反射光都很微弱，AOI设备无法获得足够的反射光，从而无法聚焦，也无法检测出缺陷。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明提供了一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其能够将自动光学检测仪器准确的聚焦定位在玻璃基板的上表面，从而可以准确的检测出玻璃基板上表面的缺陷。
[0006]本申请实施例提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，该方法包括:
[0007]在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率；
[0008]使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距；
[0009]依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距;其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值。
[0010]本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述玻璃基板为素基板。
[0011 ]本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述玻璃基板上表面反射率低于0.2。
[0012]本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述标准片反射率高于0.4。
[0013]本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述聚焦定位为成像聚焦定位。
[0014]本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述修正值为所述玻璃基板的厚度。
[0015]本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果:
[0016]通过在玻璃基板下表面设置高反射率的标准片，确保自动光学检测设备可以聚焦至玻璃基板下表面，将此时的焦距减去玻璃基板厚度，就可以聚焦至玻璃基板上表面，从而避免了因上表面反射光太弱无法聚焦至上表面的情况。
【附图说明】
[0017]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0018]图1为自动聚焦传感器正常工作示意图；
[0019]图2为自动聚焦传感器聚焦至玻璃基板下表面示意图；
[0020]图3为调整自动聚焦传感器聚焦至玻璃基板上表面流程示意图；
[0021]图4为增加标准片后，自动聚焦传感器聚焦至标准片示意图。
【具体实施方式】
[0022]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。
[0024]当自动光学检测(Automatic Optic Inspect1n，简称AOI)设备正常工作时，其工作状态如图1所示。AOI设备上的自动聚焦传感器11向玻璃基板20发射定位激光，玻璃基板上表面21反射该定位激光，自动聚焦传感器接收到该定位激光的反射光，并根据该反射光将成像聚焦定位至玻璃基板上表面。这样，AOI设备就可以正常的接收到玻璃基板上表面所成的像，并对该成像进行分析，查找缺陷。
[0025]如果玻璃基板是素基板，或者是其他上表面反射率低、透射率高的玻璃基板，这时玻璃基板上表面的反射光会很微弱，AOI设备上的自动聚焦传感器接收不到足够的来自于玻璃基板上表面的反射光，从而就可能无法定位到玻璃基板上表面。一般来说，玻璃基板上表面反射率低于0.2时就会出现这个问题。这时，如果玻璃基板下表面22反射率高，AOI设备上的自动聚焦传感器接收到的反射光会主要来源于玻璃基板下表面，如图2所示。这时就会自动将成像聚焦定位至玻璃基板下表面。这时，AOI设备接收到的是玻璃基板下表面所成的像，对这一成像进行的分析也只能查找到玻璃基板下表面的缺陷，无法查找玻璃基板上表面的缺陷。而玻璃基板下表面的缺陷往往并不影响产品质量，从而一般是不需要检测的。
[0026]如果玻璃基板下表面反射率也低，这时定位激光会大部分穿透玻璃基板并且不产生多少反射光，AOI设备上的自动聚焦传感器接收不到足够的反射光，从而会无法聚焦，也无法正常成像。
[0027]为了解决上述问题，如图3所示，在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率(SI);使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距(S2);依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距;其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值(S3)。
[0028]本实施例中，如图4所示，在玻璃基板的下表面设置高反射率的标准片30，该标准片的反射率高于玻璃基板的反射率，从而保证有足够的来自于标准片的反射光，使得自动聚焦传感器接收到足够的来自于标准片的反射光，并成像聚焦定位至标准片，记此时的焦距为第一焦距；由于标准片是贴在玻璃基板的下表面的，此时聚焦的焦点也位于玻璃基板下表面，该焦点距离玻璃基板上表面的距离为玻璃基板的厚度；因此，将第一焦距减去玻璃基板的厚度，得到第二焦距，将第二焦距设为AOI设备成像聚焦的焦距，此时聚焦焦点就位于玻璃基板的上表面。从而，AOI设备可以正常的获得玻璃基板上表面的成像，并检查上表面的缺陷。
[0029]在本实施例中，为保证反射光的强度，标准片的反射率一般设置为高于0.4。
[0030]—般来说，玻璃基板的厚度是已知的，和设计玻璃基板时设置的厚度一致，在计算第二焦距的时候，只需要直接将第一焦距减去玻璃基板设计时的厚度即可。然而，有时标准片和玻璃基板下表面不能完全贴合，即标准片和玻璃基板上表面的距离要大于玻璃基板的厚度，从而在计算第二焦距时，需要额外的减去标准片和玻璃基板下表面的距离。这一距离可以根据经验或测量得出。
[0031]通过使用本实施例中提出的方法，可以在玻璃基板上表面反射光微弱的情况下，AOI设备仍然能将成像焦点定位在玻璃基板上表面，从而可以获得玻璃基板上表面的缺陷图像，避免了现有技术中，当玻璃基板是素基板，或者是其他上表面反射率低、透射率高的玻璃基板的情况下，AOI设备无法将成像焦点定位在玻璃基板上表面，从而也无法正确获取玻璃基板上表面所成的像的问题。
【主权项】
1.一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，该方法包括: 在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率； 使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距； 依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距;其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板为素基板。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板上表面的反射率低于0.2。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述标准片的反射率高于0.4。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚焦定位为成像聚焦定位。6.如权利要求1?5中任一所述的方法，其特征在于，所述修正值为所述玻璃基板的厚度。
【文档编号】G01N21/88GK105938107SQ201610481569
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年6月27日
【发明人】胡婷平
【申请人】昆山国显光电有限公司