双干涉同步测量系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种利用移相干涉测量技术进行测试的双干涉同步测量系统，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到I960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。
[0003]正是因为移相干涉测试技术的高精度和高灵敏性，轻微的扰动都会造成干涉图的扭曲、抖动和模糊，这使得很多测量都需要在封闭室内的隔振台上才能进行，严重限制了移相干涉技术在现场测试中的应用。如何消除干涉测量中的振动影响，实现现场测试，是当前干涉测量方面的主要研究课题之一。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种双干涉同步测量系统，主要包括激光器、偏振分光棱镜、半反半透镜、图像传感器A、图像传感器B和参考镜，所述激光器、偏振分光棱镜和待测件设置在同一光轴线上，偏振分光棱镜、半反半透镜和参考镜设置在同一光轴线上，上述两个光轴线相互垂直，所述半反半透镜对应设置图像传感器A和图像传感器B。
[0006]优选的，上述激光器为偏振氦氖激光器。
[0007]优选的，上述偏振分光棱镜和待测件之间设置有第一波片。
[0008]优选的，上述偏振分光棱镜和半反半透镜之间设置有第二波片。
[0009]优选的，上述第一波片为1/4波片。
[0010]优选的，上述第二波片为1/4波片。
[0011]优选的，上述半反半透镜和图像传感器A之间设置有第三波片。
[0012]优选的，上述半反半透镜和图像传感器B之间设置有反射镜。
[0013]本实用新型提供的双干涉同步测量系统通过偏振分光棱镜将参考光和测试光分解为偏振方向相互垂直的两束光，再经1/4波片和偏振分光镜的不同组合在两个位置分别形成具有λ/4步长的两幅干涉图送入两台CCD相机，实现了两步移相的静态采集，从根本上杜绝了环境振动对测量结果的影响。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型结构示意图。
[0015]附图标记:1_激光器；2_偏振分光棱镜；3_半反半透镜；4_图像传感器A ;5_图像传感器B ;6_待测件；7_参考镜；8_反射镜；9_第一波片；10_第二波片；11_第三波片。
【具体实施方式】
[0016]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0017]如图1所示，本实用新型提供的双干涉同步测量系统，主要包括激光器1、偏振分光棱镜2、半反半透镜3、图像传感器A4、图像传感器B5和参考镜7，激光器1、偏振分光棱镜2和待测件6设置在同一光轴线上，偏振分光棱镜2、半反半透镜3和参考镜7设置在同一光轴线上，上述两个光轴线相互垂直，半反半透镜3对应设置图像传感器A4和图像传感器B5o
[0018]其中，激光器I为偏振氦氖激光器。偏振分光棱镜2和待测件6之间设置有第一波片9。偏振分光棱镜2和半反半透镜3之间设置有第二波片10。第一波片9为1/4波片。第二波片10为1/4波片。半反半透镜3和图像传感器A4之间设置有第三波片11，第三波片11为1/2波片。半反半透镜3和图像传感器B5之间设置有反射镜8。
[0019]本实用新型提供的双干涉同步测量系统集时间的是一种静态采集方法，通过采用特殊的光路结构在同一时刻的不同位置获得具有特定相移的多幅干涉图。系统通过偏振分光棱镜将参考光和测试光分解为偏振方向相互垂直的两束光，再经1/4波片和偏振分光镜的不同组合在两个位置分别形成具有λ /4步长的两幅干涉图送入两台CCD相机，实现了两步移相的静态采集，从根本上杜绝了环境振动对测量结果的影响。
[0020]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】。凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种双干涉同步测量系统，其特征在于:所述双干涉同步测量系统主要包括激光器(I)、偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)、图像传感器A (4)、图像传感器B (5)和参考镜(7)，所述激光器(I)、偏振分光棱镜(2)和待测件(6)设置在同一光轴线上，偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)和参考镜(7)设置在同一光轴线上，上述两个光轴线相互垂直，所述半反半透镜(3)对应设置图像传感器A(4)和图像传感器B(5)。2.根据权利要求1所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述激光器(I)为偏振氦氖激光器。3.根据权利要求1所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述偏振分光棱镜(2)和待测件(6)之间设置有第一波片(9)。4.根据权利要求1所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述偏振分光棱镜(2)和半反半透镜(3)之间设置有第二波片(10)。5.根据权利要求3所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述第一波片(9)为1/4波片。6.根据权利要求4所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述第二波片(10)为1/4波片。7.根据权利要求1所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述半反半透镜(3)和图像传感器A(4)之间设置有第三波片(11)。8.根据权利要求1所述的双干涉同步测量系统，其特征在于:所述半反半透镜(3)和图像传感器B (5)之间设置有反射镜(8)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种双干涉同步测量系统，主要包括激光器(1)、偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)、图像传感器A(4)、图像传感器B(5)和参考镜(7)，所述激光器(1)、偏振分光棱镜(2)和待测件(6)设置在同一光轴线上，偏振分光棱镜(2)、半反半透镜(3)和参考镜(7)设置在同一光轴线上，上述两个光轴线相互垂直，所述半反半透镜(3)对应设置图像传感器A(4)和图像传感器B(5)。本实用新型提供通过偏振分光棱镜将参考光和测试光分解为偏振方向相互垂直的两束光，再经1/4波片和偏振分光镜的不同组合在两个位置分别形成具有λ/4步长的两幅干涉图送入两台CCD相机，实现了两步移相的静态采集，杜绝了环境振动对测量结果的影响。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN204902765
【申请号】CN201520278055
【发明人】林燕彬
【申请人】林燕彬
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年4月28日