时空相干性可调式干涉仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种改善照明条件的扩展光源的干涉系统，尤其涉及一种用于光学平面检测，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]目前商用干涉仪使用的光源多数是单横模激光，它具有很强的空间相干性和时间相干性，所以在干涉成像系统里，光学元件表面的反射或散射都很容易产生杂散条纹，尤其是平行光学元件(如CCD前面的保护玻璃盖、偏振分光棱镜、被测平形平板等)表面反射会引起多表面干涉，将严重影响波前测量结果。为了抑制相干噪声，常规的做法就是在成像光路中，设置光阑或挡板，滤除一部份的杂散光；对系统里的平行光学元件镀增透膜以减小反射；在测量平行平板的反射波前时，在平板后表面涂抹凡士林等。但这些方法既不方便也并不能很好的达到滤除相干噪声的目的。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0004]本实用新型提供了一种时空相干性可调式干涉仪，时空相干性可调式干涉仪主要包括激光器、親合系统、空间光调器、第一透镜、第二透镜、旋转毛玻璃、第三透镜、分光镜、反射镜和准直镜，被测镜设置在分光镜的后侧。
[0005]优选的，上述激光器为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。
[0006]优选的，上述反射镜与准直镜的法线与激光发射方向垂直。
[0007]优选的，上述反射镜与准直镜分别设置在分光镜的两侧。
[0008]优选的，上述干涉系统还包括(XD，所述(XD设置在准直镜的后侧。
[0009]本实用新型提供的时空相干性可调式干涉仪利用了激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布原理，通过改进照明系统，实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调，使干涉仪的相干性曲线基本符合理论计算的结果。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型结构示意图。
[0011]附图标记:1_激光器；2_親合系统；3_空间光调器；4_第一透镜；5_第二透镜；6-旋转毛玻璃；7_第三透镜；8_分光镜；9_反射镜；10_准直镜；11-C⑶；12_被测镜。
【具体实施方式】
[0012]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0013]如图1所示，本实用新型提供的时空相干性可调式干涉仪，时空相干性可调式干涉仪主要包括激光器1、耦合系统2、空间光调器3、第一透镜4、第二透镜5、旋转毛玻璃6、第三透镜7、分光镜8、反射镜9和准直镜10，被测镜12设置在分光镜8的后侧。
[0014]其中，激光器1为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。反射镜9与准直镜10的法线与激光发射方向垂直。反射镜9与准直镜10分别设置在分光镜8的两侧。此外，干涉仪还包括(XD11，(XD11设置在准直镜10的后侧。
[0015]He-Ne激光器1出射632.8nm的光束经扩束镜照射在空间光调器3上，经空间光调器3空间强度调制后的光束依次经过第一透镜4和第二透镜5，再度聚焦于一点。空间光调器3上的环状光强分布经透镜组第一透镜4和第二透镜5成像在旋转毛玻璃6上，被照亮部分就构成了可调的扩展光源。旋转毛玻璃6位于准直镜7的焦面上，其任意被照明点出射的光都将经准直镜7准直后进入干涉腔，再经第三透镜7成像后于(XD11像面处发生干涉。调整被测镜12的距离，使被测镜12经分光镜8所形成的虚像位置和参考镜的距离从_4mm变化到4_，分析CCD11采集到的干涉条纹。可见，该系统可以通过改善照明条件来有效实现空间相干长度的良好可调。本实用新型提供的时空相干性可调式干涉仪利用了激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布原理，通过改进照明系统，实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调，使干涉仪的相干性曲线基本符合理论计算的结果。
[0016]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种时空相干性可调式干涉仪，其特征在于:所述时空相干性可调式干涉仪主要包括激光器(1)、耦合系统(2)、空间光调器(3)、第一透镜(4)、第二透镜(5)、旋转毛玻璃(6)、第三透镜(7)、分光镜(8)、反射镜(9)和准直镜(10)，被测镜(12)设置在分光镜(8)的后侧。2.根据权利要求1所述的时空相干性可调式干涉仪，其特征在于:所述激光器(1)为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。3.根据权利要求1所述的时空相干性可调式干涉仪，其特征在于:所述反射镜(9)与准直镜(10)的法线与激光发射方向垂直。4.根据权利要求3所述的时空相干性可调式干涉仪，其特征在于:所述反射镜(9)与准直镜(10)分别设置在分光镜(8)的两侧。5.根据权利要求1所述的时空相干性可调式干涉仪，其特征在于:所述干涉仪还包括0:0(11)，所述0:0(11)设置在准直镜(10)的后侧。
【专利摘要】本实用新型涉及一种时空相干性可调式干涉仪，主要包括激光器(1)、耦合系统(2)、空间光调器(3)、第一透镜(4)、第二透镜(5)、旋转毛玻璃(6)、第三透镜(7)、分光镜(8)、反射镜(9)和准直镜(10)，被测镜(12)设置在分光镜(8)的后侧。激光器(1)为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。本实用新型提供的时空相干性可调式干涉仪利用了激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布原理，通过改进照明系统，实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调，使干涉仪的相干性曲线基本符合理论计算的结果。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN204963782
【申请号】CN201520261943
【发明人】林燕彬
【申请人】林燕彬
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年4月25日