一种外观瑕疵凸显检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学检测技术领域，具体是指一种外观瑕疵凸显检测装置。
【背景技术】
[0002]在半导体设备制造中，光学检测通常被用来检测晶圆片表面的缺陷，如污染颗粒，划伤以及材料层残留物。上述缺陷能导致设备失效，从而切实影响生产收益。因此，在生产过程的不同阶段中为确保清洁和质量，需要对图案化和未图案化的晶圆片进行仔细的检测。
[0003]检测半导体晶圆片的一个通常使用的方法是用一束光照射晶圆片表面，测量从每一光束入射点散射回来的光。例如，LED引线框架外观的瑕疵，目前其外观采用目检方式，由于采用普通光源的入射光线角度固定，光照的反射造成单独区域对比度不一致，存在漏检、误检、效率低下、批量外观的差异太大等弊端，无法完美凸显其外观上的瑕疵。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种轮廓清晰、避免光照的反射造成单独区域对比度的不一致的外观瑕疵凸显检测装置。
[0005]本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0006]一种外观瑕疵凸显检测装置，包括从上至下依次设置的图像采集装置、光源装置及检测台，所述光源装置包括导光杯体，该导光杯体中部开设有供图像采集装置采集检测台上的待检测区域的检测通道，所述导光杯体下端设有容纳腔，所述容纳腔内以圆周阵列闭合成环状方式布置有若干列LED光源，所述若干列LED光源分别设置在容纳腔不同角度的安装面上，所述若干列LED光源分别连接有光源控制装置。
[0007]作为本实用新型的一种改进，所述容纳腔呈碗状结构，所述安装面包括设置在该碗状结构的侧壁上多个与水平面呈一夹角的环形基台，多个环形基台周向分布且与碗状结构垂直中心线的夹角自上而下逐渐变小。
[0008]本实用新型相比现有技术具有以下优点及有益效果:
[0009]本实用新型的图像采集装置通过导光杯体设置的检测通道检测检测台上的待检测产品，检测时以圆周阵列闭合成环状方式布置的若干列LED光源对产品的各个检测部位进行照射，通过光源控制装置将不同的光源亮度、照射角度的LED光源满足图像采集装置检测需求，达到检测的真实度与解析度要求，从而获得产品轮廓明显清晰、对比度强烈的图像，提尚检测精准度。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0012]实施例
[0013]如图1所示，本实施例提供一种外观瑕疵凸显检测装置，包括从上至下依次设置的图像采集装置1、光源装置2及检测台3，所述光源装置2包括导光杯体201，该导光杯体201中部开设有供图像采集装置采集检测台上的待检测区域的检测通道202，所述导光杯体201下端设有容纳腔，所述容纳腔内以圆周阵列闭合成环状方式布置有若干列LED光源203，所述若干列LED光源203分别设置在容纳腔不同角度的安装面上，所述若干列LED光源分别连接有光源控制装置(图中未示出)。
[0014]本实施例中，所述图像采集装置为(XD照相机。
[0015]作为本实用新型的一种改进，所述容纳腔呈碗状结构，所述安装面包括设置在该碗状结构的侧壁上多个与水平面呈一夹角的环形基台204，多个环形基台204周向分布且与碗状结构垂直中心线的夹角自上而下逐渐变小。
[0016]本实施例中，外观瑕疵凸显检测装置依据待检测产品的产品大小、产品检测的需求，将检测的区域分割区域，根据各个分割区域的大小及各自特点，开发了 4个单独控制亮度以及多角度的LED光源；每个LED光源因为安装角度不一致，使其各环形基台204上的LED光源203照射角度分别主要指向各个分割区域，由此能够对产品的4个区域的亮度进行单独控制，从而达到各个区域的轮廓清晰、避免光照的反射造成单独区域对比度的不一致的问题。
[0017]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种外观瑕疵凸显检测装置，包括从上至下依次设置的图像采集装置、光源装置及检测台，其特征在于:所述光源装置包括导光杯体，该导光杯体中部开设有供图像采集装置采集检测台上的待检测区域的检测通道，所述导光杯体下端设有容纳腔，所述容纳腔内以圆周阵列闭合成环状方式布置有若干列LED光源，所述若干列LED光源分别设置在容纳腔不同角度的安装面上，所述若干列LED光源分别连接有光源控制装置。2.根据权利要求1所述的外观瑕疵凸显检测装置，其特征在于:所述容纳腔呈碗状结构，所述安装面包括设置在该碗状结构的侧壁上多个与水平面呈一夹角的环形基台，多个环形基台周向分布且与碗状结构垂直中心线的夹角自上而下逐渐变小。
【专利摘要】本实用新型公开了一种外观瑕疵凸显检测装置，包括从上至下依次设置的图像采集装置、光源装置及检测台，光源装置包括导光杯体，该导光杯体中部开设有供图像采集装置采集检测台上的待检测区域的检测通道，导光杯体下端设有容纳腔，容纳腔内以圆周阵列闭合成环状方式布置有若干列LED光源，所述若干列LED光源分别设置在容纳腔不同角度的安装面上，若干列LED光源分别连接有光源控制装置。本实用新型检测时以圆周阵列闭合成环状方式布置的若干列LED光源对产品的各个检测部位进行照射，通过光源控制装置将不同的光源亮度、照射角度的LED光源满足图像采集装置检测需求，达到检测的真实度与解析度要求。
【IPC分类】G01N21/95
【公开号】CN205015293
【申请号】CN201520718509
【发明人】龚溥辉
【申请人】惠州市纬讯科技有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年9月16日