一种用于扫描电子显微镜ebsd测试的样品台的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及电子显微镜背散射电子衍射测试技术领域，尤其涉及一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台。本实用新型提供一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，斜台与阶梯式底座连接的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，该斜台切面与阶梯型底座的交线同进样方向呈夹角，以保证样品测试面面向EBSD探头。本实用新型简单可靠，一体结构牢固耐用，简化电镜放样流程，可测量大样品或一次测量多个样品，可显著提高EBSD测样的效率。
【专利说明】
一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台
技术领域
[0001]本实用新型涉及电子显微镜配件技术领域，尤其涉及一种用于日立冷场发射扫描电子显微镜做EBSD测试的样品台。
【背景技术】
[0002]对于扫描电镜背散射电子衍射(缩写EBSD)测试的样品台，为了得到较强的信号，相对于入射电子束，样品需要倾斜70°，最简单的做法是做一个倾斜70°的小台，把样品固定到小台上，然后再粘接到电镜样品台底座上，但是这很难保证定位的精确性，也很难保证粘接的牢固程度。也有很多专利针对以上缺点提出了改进，它们要么过于复杂，要么调节过于繁琐，要么不适于日立冷场发射扫描电子显微镜的样品台。
【实用新型内容】
[0003]针对现有技术中存在的缺陷或不足，本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种用于日立冷场发射扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，该样品台简单可靠，不需要电镜的倾斜和旋转调整，可测量大样品或一次测量多个样品，使用于日立冷场发射扫描电子显微镜(S4700，S4800，Su8000系列等)的EBSD专用样品台。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为提供一种用于日立冷场发射扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，便于固定测试样品并简化操作流程。位于所述斜台上的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，以保证EBSD接受信号的强度。该斜台切面与阶梯式底座的交线同进样方向呈夹角，以保证样品测试面面向EBSD探头。
[0005]作为本实用新型的进一步改进，所述阶梯式底座下部设有螺孔，该螺孔与电镜的进样杆连接。
[0006]作为本实用新型的进一步改进，所述阶梯式底座的两侧为皆有阶梯，其上部短于下部，其上部两侧为半圆形，其下部为方形。
[0007]作为本实用新型的进一步改进，所述斜台的平面投影小于所述阶梯式底座的投影，以便于样品在电镜的测试范围内。
[0008]作为本实用新型的进一步改进，所述斜台的切面与阶梯型底座的交线过阶梯式底座投影圆的圆点，以保证能放厚度较大的样品，同时保证斜台切面的面积较大可以多放样品O
[0009]作为本实用新型的进一步改进，所述样品台采用铝材质制成，以便于加工且降低成本。
[0010]本实用新型的有益效果是:本实用新型简单可靠，样品台本身易于加工，一体结构牢固耐用，大大简化电镜放样流程，可测量大样品或一次测量多个样品，可提高测样的效率，使用于日立冷场发射扫描电子显微镜(S4700，S4800，Su8000系列等)的EBSD专用样品台ο
【附图说明】
[ΟΟ??]图1是本实用新型的结构不意图；
[0012]图2是本实用新型底部的不意图；
[0013]其中数字表示:1、斜台；2、阶梯式底座;3、斜台切面;4、螺孔。
【具体实施方式】
[0014]下面结合【附图说明】及【具体实施方式】对本实用新型进一步说明。
[0015]如图1、图2所示，本实用新型提供一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，该样品台为一体式结构，包括斜台I和阶梯式底座2，该斜台I上部为梯形，下部为五边形，斜台I与阶梯式底座2连接的斜台切面3与阶梯型底座成70°夹角，以保证EBSD接受信号的强度，该斜台切面3与阶梯型底座的交线同进样方向的夹角取决于EBSD探头所处位置，以保证样品测试面面向EBSD探头，本例中为55°角。
[0016]如图1所示，该阶梯式底座2下部设有螺孔4，该螺孔4与电镜的进样杆连接。
[0017]如图1所示，该阶梯式底座2的两侧为皆有阶梯，其上部短于下部，其上部两侧为半圆形，其下部为方形。
[0018]如图1所示，为了保证样品都在电镜的测试范围内，斜台平面投影(阴影处)应该小于阶梯式底座的投影(圆形区域)，以便于样品在电镜的测试范围内。
[0019]如图1所示，斜台切面与阶梯型底座的交线过阶梯式底座投影圆的圆点，以保证能放厚度较大的样品，同时保证斜台切面的面积较大可以多放样品。
[0020]如图1所示，所述样品台采用铝材质制成。
[0021]本实用新型为一整体，斜台切面与阶梯型底座成70°，斜台切面直接朝向EBSD探头，无需调整，上下截面平行试样直接粘接到样品台的倾斜面上然后放入电镜进行EBSD表征即可。因为倾斜面面积很大除了可以放较大样品外，还可以排列很多样品，可以一并放入电镜，从而提高了测样的效率。
[0022]实例I锡焊球(Imm直径)，冷镶嵌后抛光，镶嵌样品长lcm，宽5mm，高8mm，上下截面平行，将四个试样两两并排放在EBSD专用样品台上，做EBSD分析。
[0023]实例2 IF钢片(长5mm，宽3mm，厚1mm)，上下截面平行，可以将12个样品按三排排列放到EBSD专用样品台上，做EBSD分析。
[0024]实例3镁合金薄片(长lcm，宽2mm)，冷镶嵌后抛光，镶嵌样品直径为2cm，高lcm，上下截面平行，将四个试样两两并排放在EBSD专用样品台上，做EBSD分析。
[0025]适用于大样品，也可以一次测量多个尺寸较小的样品。本实用新型样品台装置简单实用，高效可靠。
[0026]以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于:该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，位于所述斜台上的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，该斜台切面与阶梯型底座的交线同进样方向呈夹角。2.根据权利要求1所述的用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于:所述阶梯式底座下部设有螺孔，该螺孔与电镜的进样杆连接。3.根据权利要求2所述的用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于:所述阶梯式底座的两侧为皆有阶梯，其上部短于下部，其上部两侧为半圆形，其下部为方形。4.根据权利要求1所述的用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于:所述斜台的平面投影小于所述阶梯式底座的投影。5.根据权利要求4所述的用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于:所述斜台的切面与所述阶梯型底座的交线过阶梯式底座投影圆的圆点。6.根据权利要求1所述的用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于:所述样品台采用铝材质制成。
【文档编号】G01Q30/02GK205484413SQ201620054539
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月20日
【发明人】高尚, 缪亚美, 王颖
【申请人】哈尔滨工业大学深圳研究生院