技术总结
由硅基基底(1)制造微机械钟表部件的方法，其依序包括步骤：a)在所述硅基基底(1)的表面的至少一个部分的表面上形成确定深度的孔(2)，b)用选自金刚石、类金刚石碳(DLC)、氧化硅、氮化硅、陶瓷、聚合物及其混合物的材料完全填充所述孔(2)，以在孔(2)中形成厚度至少等于孔(2)的深度的所述材料的层。本发明还涉及包含硅基基底(1)的微机械钟表部件，其在所述硅基基底(1)的表面的至少一个部分的表面上具有确定深度的孔(2)，所述孔(2)被厚度至少等于孔(2)的深度的选自金刚石、类金刚石碳(DLC)、氧化硅、氮化硅、陶瓷、聚合物及其混合物的材料的层完全填充。
技术研发人员：P·杜博瓦
受保护的技术使用者：尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
文档号码：201610803279
技术研发日：2016.09.05
技术公布日：2017.03.15