专利名称：整合无线射频识别的库位监控系统的制作方法
技术领域：
本发明有关一种库位监控系统，特别是有关一种整合无线射频识别(RFID)技术 的库位监控系统。
背景技术：
关于使用RFID技术在晶片库存或运送的先前技术已有美国发明专利 US6330971与美国早期公开申请案US20060043197以及中国台湾发明专利TW 1267029所揭露。其中，美国发明专利US6330971揭露一种使用RFID技术以追踪 晶片的系统，如图1A所示，此系统IO包含承载晶片的多个载具11、 RFID读取机 12，贴附在载具11的RFID标签14以及控制器13，其中RFID读取机12通过其上 的多个天线15以读取贴附在各载具11上的RFID标签14，同时RFID读取机12并 将读取到的标签信息通过RS232接口传送至控制器13以提供目前载具11及其承载 晶片所在位置。
此外，美国早期公开申请案US2006004319揭露一种使用RFID的载具以进行晶 片运输的系统，如图1B所示，此系统100包含运输装置110、承载晶片的载具111、 处理机台115、RFID读取机116以及机台控制器117，当载具111通过运输装置110 输送至处理机台115时，则安装于处理机台115的RFID读取机116读取载具本体 112的RFID标签114，以将RFID标签114记载的载具识别码送至机台控制器117， 以提供处理机台115进行此载具111内晶片片的加工处理。
此外，中国台湾发明专利TW 1267029揭露一种使用RFID的载具以进行晶片运 输的系统，如图1C所示，此运输系统1000包含晶片盒1010、 RFID标签1020、运 输装置1030、处理机台1040、 RFID读取机1050、主机1060及触发器1070，当一 晶片盒1010的RFID标签1020出现在处理机台1040附近时，由于RFID感应器直 接接收到RFID标签1020而自动启动运输装置1030，可能错误将晶片盒1010通过 机械手臂传送至载卸部而误伤操作员，但通过操作员直接操作触发器1070以对主 机1060下达命令而控制RFID感应器何时感应，避免RFID感应器不当地感应RFID标签而使机械手臂意外被启动而危害操作员安全。
上述先前技术的内容主要是利用RFID以进行晶片输送或追踪，但是并没有将 RFID技术与库位监控的信息系统有效整合在一起，以提供操作员(operator)可实 时监控以晶片为主(wafer based)的库位监控，因此提供一种整合RFID技术至库位 监控的信息系统，使得操作员可在线上实时掌握半导体货物的库位管理及半导体测 试的调度规划，实为业界急需解决的课题。
发明内容
为了提供一种可实时监控以晶片为主(wafer based)的载具或半导体对象的库 位监控，以解决上述先前技术不尽理想之处，本发明提供一具有整合RFID技术的 库位监控系统，包含有多个载具(carriers)、 一库位监控主机用以监控各载具或对 象的库位、多个RFID标签(tags)与多个RFID读取机(RFID readers)。其中，载具 放置在厂商的预设空间(predetermined space)内，而各载具用以承载至少一个半 导体对象。RFID标签(tags)分别设置于各载具(carrier)或对象，而各RFID标签 具有一标签信息(tag information) 。 RFID读取机配置于厂商的预设空间内，通过 射频方式自该RFID标签读出或写入标签信息。库位监控主机用以监控各载具或半 导体对象的库位，包含 一数据库(legacy database),储存与该库位监控系统有 关的数据；一RFID中介软件，用以处理RFID读取机与RFID标签之间运作；一 web 接口 ，用以处理通过企业间(B2B)网络联机(internet)的操作员下达指令与输出对 应的结果； 一输出入接口，用以处理通过企业内部网络联机(intranet)的操作员下 达指令与输出对应的结果；以及一库位控制器，处理数据库与RFID中介软件、web 接口、输出入接口之间数据的存取，以执行库位监控的作业，据此，半导体厂的操 作员可线上(on-line)管理以晶片为主(wafer based)的载具或半导体对象的库位 监控。
因此，本发明的主要目的是提供一种整合RFID技术的库位监控系统，通过RFID 技术以提供操作员或系统线上实时监控半导体对象的库位信息。
此外，本发明的次要目的是提供一种整合RFID技术的库位监控系统，可进一 步通过RFID标签的编码作为搜寻索引，以提供上下游厂商从内部网络实时掌控半 导体对象目前所在位置、状态、与测试结果。
此外，本发明的再一目的是提供一种整合RFID技术的库位监控系统，可进一 步通过RFID标签的编码作为搜寻索引，以提供操作员从内部网络可实时存取半导体货物。
此外，本发明的又一目的是提供一种整合RFID技术的库位监控系统，可进一 步提供操作员从内部网络以实时掌控目前半导体对象的测试状况及产线的调度管 理。
此外，本发明的再一目的是提供一种整合RFID技术的库位监控系统，可进一 步提供进出货或建物空间内的出入口门禁管制区的操作员从内部网络以实时掌控 半导体货物的进出状况。
图1A至图1C是先前技术的一种使用RFID的晶片系统的示意图。 图2为本发明的第一较佳实施例的一种整合RFID的库位监控系统的示意图。 图3为根据图2提出的另一种整合RFID的库位监控系统的第二较佳实施例的 示意图。
具体实施例方式
由于本发明揭露一种整合RFID技术的库位监控系统，以提供操作员可实时监 控以晶片为主(wafer based)的载具或半导体对象的库位管理与产线控管，其中所 利用的半导体测试及无线射频识别的技术原理，已为相关技术领域具有通常知识者 所能明了，故以下文中的说明，不再作完整描述。同时，以下文中所对照的附图， 是表达与本发明特征有关的结构示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制。
首先请参考图2，示出本发明所提出的第一较佳实施例，为一种整合无线射频 识别(RFID)技术的库位监控系统20，用于半导体厂21，此库位监控系统20包括有 多个载具22、 一库位监控主机26、多个RFID标签24与多个RFID读取机23。其 中载具22放置在半导体厂21的预设空间(是指特定的厂房或作业区)，用以承载至 少一个半导体对象220，此半导体对象220可以是晶片、探针卡或是掩膜，而承载 半导体对象220的载具22可以是晶舟盒、晶片传送匣(FOUP)、晶片运输盒(FOSB)、 手推车、或探针卡盒(Probe Card Box)。此外，在此半导体厂21内配置多个RFID 读取机23，且在各载具与对象不同方位设置多个RFID标签24，以确保每一 RFID 标签24所记载的标签信息可在此预设空间的射频范围内被RFID读取机23所读取 或写入，此标签信息包括标签识别码(tag ID)、载具或晶片批号(carrier or Lot ID)、客户编号(customer ID)、晶片型号(wafer part ID)、晶片编号(wafer ID)、晶片数量(wafer Q' ty)、良好晶粒数量(Good Die Q' ty)及探针卡编号(probe card ID)等，此外上述RFID标签24可以是被动式(passive)或主动式(active)。据此， 上述库位监控主机26可提供操作员实时监控载具或半导体对象的库位信息。
在上述实施例中，库位监控主机26的特点是包含一数据库260、 一RFID中介 软件261、 一web接口 262、 一库位控制器263，以及一输出入接口 264。其中上述 的数据库260储存与载具或半导体对象有关的编号、数量、状况及位置等库位数据， 例如载具或晶片批号、客户编号、晶片型号、晶片编号、晶片数量、良好晶粒数 量及探针卡编号、载具或对象存放位置、晶片处理加工信息、晶片测试结果以及探 针卡使用记录等相关库位数据；RFID中介软件261用以处理RFID读取机23与RFID 标签24之间运作，此外RFID中介软件261并通过一数据传输协议与驱动程序230， 如从RS232、 Ethernet、 USB或WLAN等各种有线或无线传输方式择其一 以进行库位 监控主机26与RFID读取机23之间的数据传输，同时处理RFID读取机23与RFID 标签24之间数据读取与写入；web接口 262提供操作员通过企业间网络(B2B internet)以下达指令与输出对应的结果，例如操作员通过企业间网络以搜寻特 定客户所属半导体对象220的库位信息或工艺加工信息；输出入接口 264可外接多 个输出及输入装置，提供操作员下达指令与输出对应结果的接口；库位控制器263 处理数据库260、 RFID中介软件261、 web接口 262、输出入接口 264之间的数据 传输，以执行库位监控的作业。
在上述实施例中，RFID中介软件261可进一步提供一索引键(未图标)给 上述的库位控制器263，以使库位控制器263根据索引键以进行数据库260的存取， 例如操作员可以载具批号及晶片编号为主索引键(primary index key)及次索引键 (secondary index key),进行线上数据库260的搜寻以找出此晶片目前的位置信 息，而此索引键系由RFID中介软件261自标签信息所撷取的，也就是索引键可由 标签识别码、载具或晶片批号、客户编号、晶片型号、晶片编号及探针卡编号等组 合而成。此外，可在邻近RFID读取机23进一步设置警示装置25，如设置在半导 体厂内21的出入门禁处，以提供操作员实时性安全监控与追踪半导体对象220与 载具22的最新状态。
请参考图3，系本发明提出的第二较佳实施例，为另一种整合无线射频识别 (RFID)技术的库位监控系统30。用于半导体厂31，此库位监控系统30包括有多 个载具32、 一库位监控主机36、多个RFID标签34、多个RFID读取机33与测试 机台区37。其中载具32系放置在半导体厂31的预设空间(系指特定的厂房或作业区)，用以承载至少一个半导体对象320，此半导体对象320可以是晶片、探针卡 或是掩膜，而承载半导体对象320的载具32可以是晶舟盒、晶片传送匣(FOUP)、 晶片运输盒(FOSB)、手推车、或探针卡盒(Probe Card Box)。此外，在此半导体 厂31内配置多个RFID读取机33，且在各载具或半导体对象不同方位设置多个RFID 标签34,以确保每一 RFID标签34所记载的标签信息可在此预设空间的射频范围 内被RFID读取机33所读取或写入，此标签信息包括标签识别码(tagID)、载具或 晶片批号(carrier or Lot ID)、客户编号(customer ID)、晶片型号(wafer part ID)、 晶片编号(wafer ID)、晶片数量(waferQ' ty)、良好晶粒数量(Good Die Q' ty) 及探针卡编号(probe card ID)等，此外上述RFID标签34可以是被动式(passive) 或主动式(active)。此外，上述的库位监控主机36进一步连接至测试机台区37， 而此测试机台区37包括多个测试机台38、一线上测试系统39及一测试数据库40， 线上测试系统39用以提供各测试机台38所需的测试参数及监控晶片/探针卡的使 用状况，测试数据库40用以存放晶片工艺的测试参数或加工信息，以及晶片测试 结果，使得线上测试系统39可实时提供操作员目前测试设备的运作状况，同时整 合库位监控主机36通过RFID所产生晶片与探针卡的实时库位信息，可进而产出一 可用资源报告366，以使得操作员可预先安排晶片测试的调度，同时完成自动测试 架机(Setup)作业。
在上述实施例中，库位监控主机36包含一数据库360、 一 RFID中介软件361、 一web接口 362、 一库位控制器363，以及一输出入接口 364。其中上述的数据库 360系储存与载具或半导体对象有关的编号、数量、状况及位置等库位数据，例如 载具或晶片批号、客户编号、晶片型号、晶片编号、晶片数量、良好晶粒数量及探 针卡编号、载具或对象存放位置、晶片处理加工信息、晶片测试结果以及探针卡使 用记录等相关数据。RFID中介软件361用以处理RFID读取机33与RFID标签34 之间运作，此外RFID中介软件361并通过一数据传输协议与驱动程序330，如从 RS232、 Ethernet、 USB或WL認等各种有线或无线传输方式择其一 以进行库位监控 主机36与RFID读取机33之间的数据传输，同时处理RFID读取机33与RFID标签 34之间数据读取与写入。web接口 362提供操作员通过企业间网络(B2B internet) 以下达指令与输出对应的结果，例如操作员通过企业间网络以搜寻特定客户所属 半导体对象320的库位信息或工艺加工信息；输出入接口 364可外接多个输出及输 入装置，提供操作员下达指令与输出对应查询结果的接口。库位控制器363处理数 据库360、 RFID中介软件361、 web接口 362、输出入接口 364之间的数据传输，以执行库位监控的作业。
在上述实施例中，RFID中介软件361可进一步提供一索引键(未图标)给上述 的库位控制器363，以使库位控制器363根据索引键以进行数据库360的存取，例 如操作员可以载具批号及晶片编号为主索引键(primary index key)及次索引键 (secondary index key)，进行线上数据库360的搜寻以找出此晶片目前的库位信 息，而此索引键是由RFID中介软件361自标签信息所撷取的，也就是索引键可由 标签识别码、载具或晶片批号、客户编号、晶片型号、晶片编号及探针卡编号等组 合而成。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范围；同时以 上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发 明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请专利范围中。
权利要求
1.一种整合无线射频识别的库位监控系统，用于半导体厂，包括有多个载具，放置在该半导体厂对应的预设空间，该各载具用以承载至少一个半导体对象；一库位监控主机，用以监控该载具或半导体对象对象的库位；以及多个无线射频识别标签与多个无线射频识别读取机；其特征在于该多个无线射频识别标签，是分别设置于该各载具或半导体对象对象，而该各无线射频识别标签具有一标签信息；该多个无线射频识别读取机，配置于该半导体厂内，通过射频方式自该无线射频识别标签读出或写入该标签信息；该库位监控主机包含一数据库，储存与该载具或半导体对象有关的库位信息；一无线射频识别中介软件，用以处理这些无线射频识别读取机与无线射频识别标签之间运作；一web接口，用以处理通过企业间网络联机的操作员下达指令与输出对应的结果；一输出入接口，用以处理通过企业内部网络联机的操作员下达指令与输出对应的结果；以及一库位控制器，处理该数据库与该无线射频识别中介软件、web接口、输出入接口之间数据的存取，以执行库位监控的作业。
2. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该半 导体对象可为掩膜、晶片或探针卡(probe card),而该库位信息包含有该载具或半 导体对象位于收货站、出货站、测试机、氮气柜、滑轨车或手推车或载具车、或建 物空间内的位置信息。
3. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该标 签信息包括标签识别码、载具或晶片批号、客户编号、晶片型号、晶片编号、晶片 数量、良好晶粒数量及探针卡编号。
4. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该无线射频识别中介软件进一步包含一数据传输协议与驱动程序，用以进行该库位监控 主机与无线射频识别读取机之间的数据传输，而该数据传输协议是一选自于由RS232、 Ethernet、 USB及WLAN等传输方式所构成的群组。
5. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该无 线射频识别标签可以是被动式或主动式，而该输出入接口可外接多个输出及输入装 置。
6. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该无 线射频识别中介软件可进一步提供一索引键给该库位控制器，而该索引键可选自由 该标签识别码、载具或晶片批号、客户编号、晶片型号、晶片编号及探针卡编号所 组成的群组，而该库位控制器根据该索引键以进行该数据库的存取。
7. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该无 线射频识别读取机进一步包含一警示装置，以提供操作员实时性监控。
8. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该库 位监控主机进一步连接至一测试机台区，使得操作员可预先安排晶片测试的调度与 自动测试架机作业。
9. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该载 具是一选自于由晶舟盒、晶片传送匣、晶片运输盒、手推车、及探针卡盒所构成的 群组。
10. 根据权利要求1所述的整合无线射频识别的库位监控系统，其特征在于该 预设空间是该无线射频识别标签被任一邻近无线射频识别读取机可读取到射频信 号的范围内，而该载具或对象可配置有至少一个以上的无线射频识别标签。
全文摘要
一种整合无线射频识别(RFID)技术的在库位监控系统，用于半导体厂，包括有多个载具，各载具承载至少一个半导体对象；一库位监控主机；以及多个RFID标签与RFID读取机。多个RFID标签分别设置于各载具与半导体对象上，各RFID标签具有标签信息；RFID读取机可自RFID标签读出或写入标签信息。库位监控主机包含一数据库储存与库位监控系统有关的数据；一RFID中介软件，处理RFID读取机与RFID标签之间运作；一web接口，处理通过企业间网络联机的操作员下达指令与输出对应的结果；一输出入接口，处理通过企业内部网络联机的操作员下达指令与输出对应的结果；以及一库位控制器，处理数据库与RFID中介软件、web接口、输出入接口之间数据的存取，以执行库位监控的作业。
文档编号G05B19/418GK101551659SQ20081009095
公开日2009年10月7日 申请日期2008年3月31日 优先权日2008年3月31日
发明者易继铭, 江文祥, 纪释棣, 范盛强, 范赐忠, 黄睿清 申请人:南茂科技股份有限公司