物品处置设备的制作方法

本发明涉及具备输送或保管物品的物品处置装置和控制前述物品处置装置的工作的控制部的物品处置设备。

背景技术：

在特开2001－325994号公报中，公开了用管理装置管理物品处置装置是否正常运转的技术。在这样的物品处置设备中，通过检测在物品处置装置中发生异常的情况，能够采取从管理装置对物品处置装置指示异常时用工作等为了使具备该物品处置装置的设备正常运转所需要的处置。

为了借助管理装置随时掌握物品处置装置的状态，从物品处置装置向管理装置发送通知信息并储存。通知信息例如是有关物品处置装置的工作的详细情况的信息，例如是基于以一定的时间间隔取得的有关物品处置装置的状态的状态信息生成的信息。并且，管理装置通过将储存的通知信息解析，判别在物品处置装置中是否发生了异常。通过利用储存的通知信息，管理装置不仅知道在物品处置装置中发生了异常的事实，还能够知道异常发生时的物品处置装置的状态。因而，管理装置通过分析在怎样的状况下在物品处置装置中发生了异常等，能够掌握异常内容。另一方面，在通过将储存的通知信息解析来检测异常发生的有无从而掌握异常内容的情况下，有可能从实际在物品处置装置中发生异常到管理装置掌握该异常内容发生时间滞后。

此外，由于物品处置装置的异常何时发生是不清楚的，所以物品处置装置必须在物品输送装置运转的期间中持续将通知信息向管理装置发送。因此，物品处置装置与管理装置之间的通信量变大，有可能在通信线路中发生拥堵（congestion）。这样的状况在具备多个物品处置装置的设备中更显著。如果使从物品处置装置向管理装置发送通知信息的时间间隔变长来使通信的频度变小，则虽然能减小通信量，但到掌握发生了异常的事实或异常内容的时间滞后有可能进一步变长。

技术实现要素：

所以，希望有一种物品处置设备，前述物品处置设备在抑制物品处置装置与管理装置之间的通信量的增加的同时，管理装置能够尽可能早地掌握物品处置装置的异常内容。

作为1个技术方案，物品处置设备具备物品处置装置、控制部，前述物品处置装置输送或保管物品，前述控制部控制前述物品处置装置的工作，前述控制部构成为，收集作为有关前述物品处置装置的工作状态的信息的状态信息，将基于该状态信息的通知信息向管理前述物品处置装置的工作状态的管理装置发送，其特征在于，前述控制部构成为，基于前述状态信息，判别前述物品处置装置是正常状态还是异常状态，并且，在判别为前述物品处置装置是正常状态的情况下，作为前述通知信息，将由表示前述物品处置装置是正常状态的正常判别信息构成的正常通知信息、或由基于前述状态信息生成的正常时信息和前述正常判别信息构成的正常通知信息向前述管理装置发送，在判别为前述物品处置装置是异常状态的情况下，作为前述通知信息，将由表示前述物品处置装置是异常状态的异常判别信息和基于前述状态信息生成的、数据量及数据项目的至少一方比前述正常时信息多的异常时信息构成的异常通知信息向前述管理装置发送。

根据该方案，在判别为物品处置装置是正常状态的情况下，管理装置能够基于正常通知信息中包括的正常判别信息掌握物品处置装置是正常状态。在判别为物品处置装置是异常状态的情况下，管理装置能够基于异常通知信息中包括的异常判别信息掌握物品处置装置是异常状态。

此外，在判别为物品处置装置是异常状态的情况下，除了异常判别信息以外，还将作为有关物品处置装置的工作的详细的信息的异常时信息也向管理装置发送。管理装置能够基于该异常时信息分析例如物品处置装置的状态的时间上的变迁等，掌握产生的异常状态的内容。此外，由于不仅是异常时信息，将异常判别信息也向管理装置发送，所以管理装置与仅基于异常时信息判别是否是物品处置装置的异常状态的情况相比，能够较早地判定物品处置装置是异常状态。

另一方面，在判别为物品处置装置是正常状态的情况下，将数据的总容量比异常通知信息小的正常通知信息向管理装置发送。正常通知信息由于是仅由正常判别信息构成的信息、或由比异常时信息小的正常时信息和正常判别信息构成的信息，所以数据的总容量比异常通知信息小。因而，在抑制通信量的增加的同时，管理装置也能够可靠地掌握物品处置装置是正常状态。

这样，根据本结构，能够实现在抑制物品处置装置与管理装置之间的通信量的增加的同时、管理装置能够尽可能早地掌握物品处置装置的异常内容的物品处理设备。

物品处置装置的进一步的特征和优点根据关于参照附图说明的实施方式的以下的记载会变得明确。

附图说明

图1是半导体处理设备的俯视图。

图2是顶棚输送车的局部剖视图。

图3是顶棚输送车的控制块图。

图4是控制部执行的控制的流程图。

图5是容器保管装置的纵剖侧视图。

图6是容器保管装置的控制块图。

具体实施方式

〔第1实施方式〕

以下，基于附图说明将本发明的物品处置设备应用到半导体处理设备中的实施方式。在本实施方式的半导体处理设备中，如图1所示，设有保管收纳多个半导体基板的前端开启式晶圆传送盒（FOUP，Front Opening Unified Pod）等的容器B（参照图2）的多个容器保管装置20、对从容器B取出的半导体基板进行光刻及清洗、检查等处理的多个半导体处理装置50、在这些多个容器保管装置20及多个半导体处理装置50之间输送容器B的顶棚输送车10。如图2所示，顶棚输送车10构成为，能够沿着从半导体工厂的顶棚C悬挂支承的一对行进轨道T行进。

顶棚输送车10如图2所示，具备具有在行进轨道T上行进的行进车轮W1的行进部11、悬挂支承在行进部11上的主体部12。行进部11还具备在行进轨道T的分支部分切换该行进部11的行进方向的转向引导轮W2。转向引导轮W2与沿着行进轨道T设置的未图示的引导轨道的一对侧面中的一方抵接。在行进轨道T分支为多个路径的分支部分处，通过将抵接的侧面切换，切换行进部11的行进方向。此外，行进部11具备将行进车轮W1旋转驱动的行进驱动部M1、切换转向引导轮W2的位置的转向驱动部M2。

主体部12具备悬挂在行进部11上的罩部12C、由支承在罩部12C上的升降驱动部M3升降移动的升降部13。升降部13虽然省略图示，但具备把持部，前述把持部能够切换成把持解除状态和与设置于容器B的上端的凸缘卡合的把持状态。行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3构成为，借助电力驱动。

在本实施方式中，顶棚输送车10相当于物品输送用的移动体。即，物品处置装置是物品输送用的顶棚输送车10，顶棚输送车10构成为，自由支承物品，沿着移动路径（行进轨道T）移动。另外，用来驱动上述行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3的电力被从支承在行进轨道T上、沿着行进轨道T设置的供电线（省略图示）供给。

接着，基于图3说明顶棚输送车10的控制结构。顶棚输送车10除了上述行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3以外，还具备用来对在工作时需要电力的各部分供给适当的电力的电源装置10B。电源装置10B进行将从供电线供给的电力升压或降压来成为希望的电压值、或使从供电线供给的电力成为希望的电流值等的调整，向电力的供给对象输出适当的电压值或电流值的电力。

此外，顶棚输送车10具备检测行进轨道T上的自己的位置的位置检测部10S。位置检测部10S例如具备检测行进车轮W1的旋转量的旋转编码器、将离散地设在行进轨道T上的位置基准标记读取的读取部来构成。位置检测部10S基于位置基准标记的读取位置和由旋转编码器检测到的行进部11的行进量，检测行进轨道T上的顶棚输送车10的位置。此外，位置检测部10S将检测到的位置向顶棚输送车控制部10H输出。

顶棚输送车控制部10H与行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3能够相互通信地连接，通过对行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3输出工作指令，控制它们的工作。此外，顶棚输送车控制部10H监视行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3的工作状态，以驱动部信息收集用的时间间隔（例如10毫秒等）取得有关其工作状态的信息。顶棚输送车控制部10H基于该信息，能够掌握行进驱动部M1、转向驱动部M2及升降驱动部M3的工作状态。

此外，在顶棚输送车10中，具备监视电源装置10B的状态的电源监视部10D。电源监视部10D构成为，将电源装置10B输出的电流值、电源装置10B输出的电压值及电源装置10B的温度分别以电源信息收集用的时间间隔（例如1毫秒）检测，将其测量值向自己具备的存储器储存。在存储器中，将电流值、电压值及温度的测量值例如储存有分别1000毫秒即1000次的测量量。此外，该存储器是环形缓冲，测量数据被从较旧的测量数据删除，总是被保持最新的1000个数据。在本实施方式中，上述1秒的测量值相当于期间状态信息。

顶棚输送车控制部10H以1秒周期对电源监视部10D进行概要信息发送请求。电源监视部10D对应于概要信息发送请求，关于储存的电流值、电压值及温度，分别如下述表1所示那样计算1000个测量值中的最大值、最小值及1000个测量值的平均值，向顶棚输送车控制部10H发送。

表1：概要信息

此外，在半导体处理设备中，具备综合管理该设备中的各装置的工作状态的管理装置K。管理装置K管理由顶棚输送车10进行的容器B的输送调度表，对各顶棚输送车10指示容器B的输送。在顶棚输送车10中，设有在与该管理装置K之间进行信息的收发的通信部10T。通信部10T构成为，能够在与设在半导体处理设备中的无线基站之间通信数据。此外，无线基站经由LAN等的场内网络连接在管理装置K上。

在本实施方式中，顶棚输送车10相当于物品处置装置，顶棚输送车控制部10H及电源监视部10D相当于控制部。此外，上述电源监视部10D检测的电流值、电压值及温度的信息（以下称作测量原始数据）相当于状态信息，测量值中的最大值、最小值及1000个测量值的平均值相当于概要信息。即，设有输送物品的顶棚输送车10和控制顶棚输送车10的工作的顶棚输送车控制部10H，电源监视部10D构成为，收集作为有关顶棚输送车10的工作状态的信息的状态信息。

顶棚输送车控制部10H构成为，将基于上述电流值、电压值及温度的测量值的通知信息向管理顶棚输送车10的工作状态的管理装置K发送。在这样的半导体处理设备中，在顶棚输送车10的电源装置10B中发生了异常的情况下，成为该顶棚输送车10不工作或不优选为使工作继续的状态。所以，管理装置K进行将发生了异常的顶棚输送车10从输送指令的指令对象中排除等的处置。在本实施方式中，在顶棚输送车10中发生了异常的情况下，为了将该异常状态向管理装置K通知，顶棚输送车控制部10H向管理装置K进行基于自己的状态信息的正常通知信息或异常通知信息的发送。

以下，基于图4的流程图，说明顶棚输送车控制部10H执行的控制。顶棚输送车控制部10H执行基于电源监视部10D收集到的电流值、电压值及温度各自的测量值生成概要信息的概要信息生成处理（#1）。顶棚输送车控制部10H关于电流值、电压值及温度分别存储有异常判别用的容许范围。并且，在发生了电流值的最大值或最小值脱离电流值的容许范围的状态、电压值的最大值或最小值脱离电压值的容许范围的状态、或温度的最大值或最小值脱离温度的容许范围的状态中的某个的情况下，顶棚输送车控制部10H判别电源装置10B是异常状态（#2）。即，顶棚输送车控制部10H构成为，在电源装置10B的输出电压、输出电流及温度中的至少1个脱离了异常判别用的容许范围的情况下判别为异常状态。

在步骤#2中判别为没有发生异常状态的情况下（#2：No），顶棚输送车控制部10H生成表示顶棚输送车10是正常的1字节的正常标志。并且，顶棚输送车控制部10H生成将正常标志、概要信息和由电源监视部10D得到的测量原始数据中的例如以100毫秒间隔采样的10次测量量的测量原始数结合在一起的正常通知信息（#3），将该正常通知信息向管理装置K发送（#4）。顶棚输送车控制部10H从#1的开始，在作为正常时用设定时间间隔设定的1秒后，向#1的处理返回（#5）。即，顶棚输送车控制部10H在正常时设定时机向#1的处理返回（#5）。在本实施方式中，正常时用设定时间间隔相当于第1设定时间间隔。

此外，在步骤#2中判别为发生了异常状态的情况下（#2：Yes），顶棚输送车控制部10H生成表示顶棚输送车10是异常的1字节的异常标志。并且，顶棚输送车控制部10H生成将异常标志、概要信息、位置检测部10S测量的顶棚输送车10的位置信息、把持部是否保持着物品的信息、由电源监视部10D得到的1秒的测量原始数据中的较新的数据起例如500次测量量（0.5秒）的测量原始数结合在一起的异常通知信息（#6），将该异常通知信息向管理装置K发送（#7）。即，顶棚输送车控制部10H构成为，作为异常时信息，将收集作为生成异常时信息的基础的状态信息时的表示顶棚输送车10的位置的位置信息和表示顶棚输送车10是否支承着物品的信息向管理装置发送。

接着，顶棚输送车控制部10H判别是否被从管理装置K指示了执行使向顶棚输送车10的电力的供给停止的停止处理的停止指令（#8），如果判别为被指示了停止指令（#8：Yes），则执行停止处理（#10）。这里，所谓停止处理，是从管理装置K切换顶棚输送车10的电源装置10B的继电器来使向顶棚输送车10的电力的供给停止的处理。此外，顶棚输送车控制部10H如果判别为没有被指示停止指令（#8：No），则从#1的开始，在被设定为异常时用设定时间间隔的例如0.5秒后，向步骤#1的处理返回。即，顶棚输送车控制部10H在异常时设定时机向#1的处理返回（#9）。在本实施方式中，异常时用设定时间间隔相当于第2设定时间间隔。

在本实施方式中，正常标志相当于正常判别信息，异常标志相当于异常判别信息。此外，正常时信息由概要信息和10次测量量的测量原始数据构成，异常时信息由位置检测部10S测量的顶棚输送车10的位置信息、把持部是否保持着物品的信息和由电源监视部10D得到的500次测量量的测量原始数据构成。即，顶棚输送车控制部10H构成为，基于状态信息判别顶棚输送车10是正常状态还是异常状态，并且在判别为顶棚输送车10是正常状态的情况下，作为通知信息，将由基于状态信息生成的正常时信息和表示顶棚输送车10是正常状态的正常标志构成的正常通知信息向管理装置K发送，在判别为顶棚输送车10是异常状态的情况下，作为通知信息，将表示顶棚输送车10是异常状态的异常判别信息和基于状态信息生成的异常通知信息向管理装置K发送。

正常通知信息和异常通知信息各自的数据的大下如下述表2所示，异常通知信息比正常通知信息大。另外，下述表2中的各数据尺寸并不限定于该表中例示的尺寸，可以根据需要的数据的种类及管理装置中的数据的表现形式（实数型还是双精度实数型等）来变更。

表2：数据尺寸

此外，在本实施方式中，电源监视部10D在1秒的期间中收集的测量原始数据相当于期间状态信息。即，异常时信息的数据量及数据项目比正常时信息多，进而，顶棚输送车控制部10H构成为，按照一定时间间隔反复执行基于作为在一定时间（1次的正常时用设定时间间隔经过的时间）内收集到的状态信息的期间状态信息生成数据量比前述期间状态信息少的概要信息的概要信息生成处理，作为正常通知信息将正常判别信息及概要信息向管理装置K发送，作为异常通知信息将异常判别信息及期间状态信息向管理装置K发送。此外，顶棚输送车控制部10H构成为，在判别为顶棚输送车10是正常状态的期间中，将正常通知信息对于管理装置K按照第1设定时间间隔（1秒）反复发送，构成为，在判别为顶棚输送车10是异常状态的期间中，将异常通知信息对于管理装置K按照比第1设定时间间隔（1秒）短的第2设定时间间隔（0.5秒）反复发送。

〔第2实施方式〕

以下，说明第2实施方式。在上述第1实施方式中，对顶棚输送车10相当于物品处置装置的情况进行了说明。在第2实施方式中，对容器保管装置20相当于物品处置装置的情况进行说明。第2实施方式仅使物品处置装置为容器保管装置20这一点与第1实施方式不同，所以重复的点的说明省略，以下仅对不同点加以说明。与第1实施方式相同，顶棚输送车10如图2及图5所示那样构成为，能够沿着从半导体工厂的顶棚C悬挂支承的一对行进轨道T行进。

容器保管装置20如图5所示，在被沿着上下方向的壁体21包围的内部空间Y的内部，具备在横向及上下方向上排列多个支承容器B的多个支承部21Q，在支承部21Q的取放方向前面侧，具备堆垛起重机30，前述堆垛起重机30具备能够在与支承部21Q之间交接容器B的移载装置35。堆垛起重机30具备在沿着上述横向设置在地面上的行进轨道R上行进的行进台车31、立设在行进台车31上的升降柱32、沿着升降柱32升降的升降体33。移载装置35支承在升降体33上。移载装置35向多个支承部21Q的每一个及后述输送机20C的内部空间Y侧的端部的前表面移动，在支承部21Q与移载装置35之间，或在输送机20C与移载装置35之间移载容器B。

在壁体21的一部分上设有开口。此外，在该开口处，设有将该开口开闭的自动门20A。此外，设有将容器B经由开口横跨容器保管装置20的内部空间Y和外部空间G输送的输送机20C。另外，在本实施方式中，作为输送机20C，设有在与顶棚输送车10之间交接容器B的上方侧输送机V2、交接作业者输送的容器B的下方侧输送机V1。此外，在容器保管装置20中，为了抑制内部空间Y中的杂质粒子的悬浮，设有用来形成从内部空间Y的上方朝向下方的空气流的风扇单元20F（上方侧风扇单元20F1及下方侧风扇单元20F2）。进而，在容器保管装置20中，安装有检测内部空间Y的温度的库内温度传感器20S（在图5中未图示，参照图6）。

接着，基于图6，说明容器保管装置20的控制结构。在容器保管装置20中，堆垛起重机30、输送机20C、自动门20A、风扇单元20F及库内温度传感器20S等构成为，通过电力工作，容器保管装置20具备用来对它们以适当的电压供给电力的电源装置20B。此外，在本容器保管装置20中，设有监视电源装置20B的电力的供给状态的电源监视部20D。电源监视部20D检测电源装置20B输出的电压及电源装置20B的温度，对应于保管装置控制部20H的信息发送请求，将其检测结果向保管装置控制部20H输出。

保管装置控制部20H与堆垛起重机30、输送机20C、自动门20A、风扇单元20F及库内温度传感器20S能够相互通信地连接。保管装置控制部20H通过对堆垛起重机30、输送机20C、自动门20A及风扇单元20F输出工作指令，来控制它们的工作。此外，保管装置控制部20H监视堆垛起重机30、输送机20C、自动门20A及风扇单元20F的工作状态，以驱动部信息收集用的时间间隔（例如10毫秒等）取得有关该工作状态的信息。保管装置控制部20H基于该信息，能够掌握堆垛起重机30、输送机20C、自动门20A及风扇单元20F的工作状态。

此外，在容器保管装置20中，设有在与管理装置K之间进行信息的收发的通信部20T。管理装置K构成为，管理容器保管装置20的容器B的入出库调度表，对容器保管装置20指示容器B的入出库。通信部20T构成为，能够经由LAN等的场内网络与管理装置K通信。在容器保管装置20相当于物品处置装置的本实施方式中，保管装置控制部20H及电源监视部20D相当于控制部。此外，上述电源监视部20D检测的电流值、电压值及温度的信息（以下称作测量原始数据）相当于状态信息，测量值中的最大值、最小值及1000个测量值的平均值相当于概要信息。

保管装置控制部20H构成为，将基于上述电流值、电压值及温度的测量值的通知信息向管理容器保管装置20的工作状态的管理装置K发送。在这样的半导体处理设备中，在容器保管装置20的电源装置20B中发生了异常的情况下，该容器保管装置20成为不工作的状态或不优选为使工作继续的状态。所以，管理装置K进行将发生了异常的容器保管装置20从作为入库对象的输送目标中排除等的处置。在本实施方式中，在容器保管装置20中发生了异常的情况下，为了将该异常状态向管理装置K通知，保管装置控制部20H向管理装置K进行基于自己的状态信息的正常通知信息或异常通知信息的发送。保管装置控制部20H执行的控制与在第1实施方式中基于图4的流程图说明的控制相同，所以省略详细的说明。

〔其他实施方式〕

（1）在上述第1及第2实施方式中，例示了将第1设定时间以1秒间隔向管理装置K发送、并且将异常通知信息以0.5秒间隔向管理装置K发送来构成的形态。但是，正常通知信息的发送时间间隔及异常通知信息的发送时间间隔并不限定于上述时间。如果正常通知信息的发送时间间隔比异常通知信息的发送时间间隔长，则时间间隔能够任意地设定。此外，也可以使正常通知信息的发送时间间隔与异常通知信息的发送时间间隔相同。在此情况下，正常通知信息仅为表示装置正常工作的信息，异常通知信息也可以为除了表示装置的工作是异常的信息以外还附加了表示异常发生时的装置的状态的各种信息的信息。通过这样，能够在物品处置装置正常工作的状态下尽可能削减向管理装置K发送的信息的通信量，并且能够在物品处置装置中发生了异常的状态下对管理装置K发送需要的信息。

（2）在上述第1及第2实施方式中，例示了作为正常通知信息而将正常标志（正常判别信息）和正常时信息（概要信息）向管理装置K发送的结构。但是，并不限定于这样的结构，也可以做成作为正常通知信息仅将正常标志（正常判别信息）向管理装置K发送的结构。

（3）作为将物品输送或保管的物品处置装置，在上述第1实施方式中例示了顶棚输送车10，在上述第2实施方式中例示了容器保管装置20。但是，物品处置装置并不限定于顶棚输送车10及容器保管装置20。例如，也可以将辊式输送机等的固定设置型输送装置或光刻装置、清洗装置、检查装置等的半导体处理装置作为物品处置装置。进而，在上述实施方式中，作为物品处置装置而表示了在半导体处理设备中处置物品（容器B）的装置，但只要是由管理装置管理物品处置装置的工作的设备，也可以应用到半导体处理设备以外的设备中。

（4）在上述第1及第2实施方式中，表示了使状态信息为电源监视部10D、20D输出的有关电源装置10B、20B的工作状态信息的例子。但是，作为状态信息，也可以包含有关电源装置10B、20B的工作状态信息以外的信息。例如，关于顶棚输送车10，也可以包括表示行进驱动部M1中具备的被动制动器的工作状态、转向驱动部M2的切换位置、升降驱动部M3的被动制动器的工作状态等的信息。此外，在容器保管装置20中，也可以包括表示堆垛起重机30的移载装置的工作状态或自动门20A的开闭状态的信息。

（5）在上述第1及第2实施方式中，表示了将电源信息收集用的时间间隔设为1毫秒的例子，但电源信息收集用的时间间隔并不限定于上述1毫秒，既可以设为比1毫秒长的时间间隔，也可以设为较短的时间间隔。此外，表示了在存储器中将电流值、电压值及温度的测量值分别储存1000次的测量量的例子，但向存储器储存的测量值的个数可以任意变更。此外，在上述第1及第2实施方式中，构成为，将储存在存储器中的测量值从较旧的测量值删除，但例如也可以为将较旧的测量值向物品处置装置中具备的硬盘等保存的结构。

（6）在上述第1及第2实施方式中，表示了使第1设定时间间隔为1秒、使第2设定时间间隔为0.5秒的例子，但第1设定时间间隔及第2设定时间间隔并不限定于上述时间间隔。此外，在上述第1及第2实施方式中，例示了基于1000次（即1秒）的测量值生成概要信息、作为第1设定时间间隔按照1秒生成正常通知信息来向管理装置K发送的结构，并不限定于这样的结构。例如也可以做成基于比1秒短的时间的测量值生成概要信息、按照第1设定时间间隔将包括多个概要信息的正常通知信息向管理装置K发送的结构。

（7）在上述第1及第2实施方式中，构成为，作为概要信息，关于电流值、电压值及温度分别计算最大值、最小值及平均值，但并不限定于这样的结构，例如也可以是不计算平均值的结构、或代替平均值而计算中位数的结构等，作为概要信息能够进行各种变更。

〔实施方式的概要〕

以下，对在上述中说明的物品处置设备的概要简单地说明。

作为1个技术方案，物品处置设备具备物品处置装置、控制部，前述物品处置装置输送或保管物品，前述控制部控制前述物品处置装置的工作，前述控制部构成为，收集作为有关前述物品处置装置的工作状态的信息的状态信息，将基于该状态信息的通知信息向管理前述物品处置装置的工作状态的管理装置发送，其特征在于，前述控制部构成为，基于前述状态信息，判别前述物品处置装置是正常状态还是异常状态，并且，在判别为前述物品处置装置是正常状态的情况下，作为前述通知信息，将由表示前述物品处置装置是正常状态的正常判别信息构成的正常通知信息、或由基于前述状态信息生成的正常时信息和前述正常判别信息构成的正常通知信息向前述管理装置发送，在判别为前述物品处置装置是异常状态的情况下，作为前述通知信息，将由表示前述物品处置装置是异常状态的异常判别信息和基于前述状态信息生成的、数据量及数据项目的至少一方比前述正常时信息多的异常时信息构成的异常通知信息向前述管理装置发送。

根据该结构，在判别为物品处置装置是正常状态的情况下，管理装置能够基于正常通知信息中包括的正常判别信息掌握物品处置装置是正常状态。在判别为物品处置装置是异常状态的情况下，管理装置能够基于异常通知信息中包括的异常判别信息掌握物品处置装置是异常状态。

此外，在判别为物品处置装置是异常状态的情况下，除了异常判别信息以外，还将作为有关物品处置装置的工作的详细的信息的异常时信息也向管理装置发送。管理装置能够基于该异常时信息分析例如物品处置装置的状态的时间上的变迁等，掌握产生的异常状态的内容。此外，由于不仅是异常时信息，将异常判别信息也向管理装置发送，所以管理装置与仅基于异常时信息判别是否是物品处置装置的异常状态的情况相比，能够较早地判定物品处置装置是异常状态。

另一方面，在判别为物品处置装置是正常状态的情况下，将数据的总容量比异常通知信息小的正常通知信息向管理装置发送。正常通知信息由于是仅由正常判别信息构成的信息、或由比异常时信息小的正常时信息和正常判别信息构成的信息，所以数据的总容量比异常通知信息小。因而，在抑制通信量的增加的同时，管理装置也能够可靠地掌握物品处置装置是正常状态。

这样，根据本结构，能够实现在抑制物品处置装置与管理装置之间的通信量的增加的同时、管理装置能够尽可能早地掌握物品处置装置的异常内容的物品处理设备。

此外，作为1个技术方案，物品处置设备优选的是，前述控制部构成为，按照前述一定时间间隔反复执行概要信息生成处理，前述概要信息生成处理基于作为在一定时间内收集到的前述状态信息的期间状态信息，生成前述数据量及数据项目的至少一方比前述期间状态信息少的概要信息，作为前述正常通知信息，将前述正常判别信息及前述概要信息向前述管理装置发送，作为前述异常通知信息，将前述异常时信息及前述期间状态信息向前述管理装置发送。

根据该结构，异常通知信息是由异常判别信息和期间状态信息构成的信息，正常时通知信息是由正常判别信息和概要信息构成的信息。由于概要信息是数据量及数据项目的至少一方比期间状态信息少的信息，所以正常通知信息为数据的总容量比异常通知信息小的信息。因而，能够实现在抑制物品处置装置与管理装置之间的通信量的增加的同时、管理装置能够尽可能早地掌握物品处置装置的异常内容的物品处理设备。这里，期间状态信息优选的是足够用于管理装置将异常状态的发生状况解析或掌握异常状态发生时的物品处置装置的状态的量的信息。管理装置在物品处置装置为异常状态的情况下，能够基于从控制部发送的异常通知信息可靠地进行物品处置装置的异常状态的掌握等。此外，由于概要信息不需要这样的解析等，所以管理装置能够掌握物品处置装置是正常状态的程度的信息就足够。因而，在物品处置装置是正常状态的情况下，基于概要信息，管理装置能够适当掌握其正常状态，同时能够抑制物品处置装置与管理装置之间的通信量的增加。

此外，作为1个技术方案，物品处置设备优选的是，前述控制部构成为，在判别为前述物品处置装置是正常状态的期间中，将前述正常通知信息对前述管理装置按照第1设定时间间隔反复发送，构成为，在判别为前述物品处置装置是异常状态的期间中，将前述异常通知信息对前述管理装置按照比第1设定时间间隔短的第2设定时间间隔反复发送。

根据该结构，与物品处置装置是正常状态的情况（第1设定时间间隔）相比，在物品处置装置是异常的情况下（第2设定时间间隔）将通知信息以较高的频度发送。因而，管理装置在物品处置装置是异常的情况下，与是正常的情况相比，能够将其异常内容以时间序列更详细地掌握。

这里，优选的是，前述状态信息是有关前述物品处置装置具备的电源装置的输出电压、前述电源装置的输出电流及前述电源装置的温度的某1个以上的信息，前述控制部构成为，在前述输出电压、前述输出电流及前述温度中的至少1个脱离了异常判别用的容许范围的情况下，判别为前述异常状态。

在许多情况下，在物品处置装置的电源装置中发生了异常的情况下，继续该物品处置装置的工作并不好。作为表示电源装置的状态的状态信息，例如有电源装置的输出电压、电源装置的输出电流及电源装置的温度等。根据本结构，通过在输出电压、输出电流及温度中的至少1个脱离了异常判别用的设定范围的情况下判别为异常状态，能够适当地检测在电源装置中发生了异常。

作为1个技术方案，优选的是，前述物品处置装置是物品输送用的移动体，前述移动体自由地支承物品，沿着移动路径移动，在该情况下，前述控制部将位置信息作为前述异常时信息向前述管理装置发送，前述位置信息表示收集作为生成前述异常时信息的基础的前述状态信息时的前述移动体的位置。

在作为物品处置装置的移动体中发生了异常的情况下，该移动体有可能在移动路径上停止。控制部通过在异常时信息中包括表示移动体的位置的位置信息，管理装置能够掌握移动体停止的移动路径上的位置。

作为1个技术方案，优选的是，前述物品处置装置是物品输送用的移动体，前述移动体自由地支承物品，沿着移动路径移动，在该情况下，前述控制部将表示收集前述状态信息时前述移动体是否支承着物品的信息作为前述异常时信息向前述管理装置发送，前述状态信息作为生成前述异常时信息的基础。

在作为物品处置装置的物品输送用的移动体中发生了异常的情况下，该移动体有可能在支承着物品的原状下停止。控制部通过在异常时信息中包括表示移动体是否支承着物品的信息，管理装置能够掌握移动体是否支承着物品。由此，例如作业者能够进行将该物品从移动体取出等的应对，能够抑制因不能输送物品而不能将该物品出厂、或因不能加工造成的成品率的下降。

附图标记说明

10 顶棚输送车（物品处置装置）；20 容器保管装置（物品处置装置）；10B 电源装置；10H（H） 顶棚输送车控制部（控制部）；20B 电源装置；20H（H） 保管装置控制部（控制部）；B 容器（物品）；K 管理装置；T 行进轨道（移动路径）。