技术特征：
技术总结
本发明公开了一种纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法，属于微纳米操控领域。所述系统包括DSP主控制板、X轴信号合成器、Y轴信号合成器以及位置信号反馈单元，所述的DSP主控制板包括DSP芯片和DSP总线接口等，所述的X轴信号合成器和Y轴信号合成器分别包括主DA单元、增益DA单元、平移DA单元、旋转DA单元以及求和运放单元；所述DSP主控制板通过DSP总线接口，为X轴信号合成器发送X轴信号，为Y轴信号合成器发送Y轴信号；同时接收来自所述位置信号反馈单元的X轴反馈信号和Y轴反馈信号。利用本发明可以准确的调整扫描区域平移量，又确保了扫描区域始终使用16位DA输出能力，有效提高了扫描运动分辨力。
技术研发人员：殷伯华;许广鹿;李雪;刘俊标;初明璋;王岩;赵伟霞
受保护的技术使用者：中国科学院电工研究所
技术研发日：2018.08.21
技术公布日：2018.12.21