一种气体质量流量调节控制器的制作方法

本实用新型具体涉及一种气体质量流量调节控制器。

背景技术：

质量流量控制器用于对流体的质量流量进行精密测量和控制。在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多钟领域的科研和生产中有着重要的应用。但现有的质量流量控制器功能单一，不具备组分检测功能。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种气体质量流量调节控制器，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一种气体质量流量调节控制器，包括带密封门的壳体，且密封门设有控制器、显示器和操作键，其结构要点在于：壳体的两侧均设有连接口，且连接口通过气流通道相连接，壳体内设有温度调节装置，气流通道设有质量流量计和温度传感器，且气流通道靠近两侧的连接口处均设有洗气装置、压力传感器和红外检测器。

作为优选的，密封门和壳体之间设有密封条，且密封门和壳体通过螺丝固定。

作为优选的，控制器包括数据处理模块、数据传输模块、与压力传感器连接的压力检测模块、与温度传感器连接的温度检测模块、与质量流量计连接的质量流量检测模块和与红外检测器连接的组分检测模块，且数据处理模块通过数据传输模块分别与温度调节装置、压力检测模块、温度检测模块、质量流量检测模块和组分检测模块信号连接。

作为优选的，气流通道为螺旋形或折线形或波浪形。

作为优选的，质量流量计的数量为三个，且在气流通道上均匀布置。

作为优选的，温度调节装置包括加热装置和制冷装置。

与现有技术相比，本实用新型设计合理，结构简单，安装方便，功能多样化，既可以调节气体质量流量，又可以实现气体组分的定性定量分析，提高实用性。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的内部结构示意图；

图3为本实用新型控制器的结构示意图

图中：1-密封门，2-壳体，3-显示器，4-操作键，5-连接口，6-气流通道，7-温度调节装置，8-质量流量计，9-温度传感器，10-洗气装置，11-压力传感器，12-红外检测器，13-数据处理模块，14-数据传输模块，15-压力检测模块，16-温度检测模块，17-质量流量检测模块，18-组分检测模块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的解释说明，但不限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案，一种气体质量流量调节控制器，包括带密封门1的壳体2，且密封门1设有控制器、显示器3和操作键4，所述的壳体2的两侧均设有连接口5，且连接口5通过气流通道6相连接，所述的壳体2内设有温度调节装置7，所述的气流通道6设有质量流量计8和温度传感器9，且气流通道6靠近两侧的连接口5处均设有洗气装置10、压力传感器11和红外检测器12，所以安装时不用考虑进气端和出气端，安装更加方便快捷，同时洗气装置10可以对气体进行净化、除杂和干燥等，确保检验的准确性。

其中，在本实施例中，所述的密封门1和壳体2之间设有密封条，且密封门和壳体通过螺丝固定，不仅保证密封性，还便于检修。

其中，在本实施例中，所述的控制器包括数据处理模块13、数据传输模块14、与压力传感器11连接的压力检测模块15、与温度传感器9连接的温度检测模块16、与质量流量计8连接的质量流量检测模块17和与红外检测器12连接的组分检测模块18，且数据处理模块13通过数据传输模块14分别与温度调节装置7、压力检测模块15、温度检测模块16、质量流量检测模块17和组分检测模块18信号连接，智能化控制，操作更加方便，同时组分检测模块18通过红外检测器12可以对气体的组分进行定性和定量分析。

其中，在本实施例中，所述的气流通道6为螺旋形或折线形或波浪形，增加气流通道6中的气体流通路线，同时对气体进行很好的缓冲，有效保证气流平稳。

其中，在本实施例中，所述的质量流量计8的数量为三个，且在气流通道6上均匀布置，多点测量，可以保证检测数据的准确性。

其中，在本实施例中，所述的温度调节装置7包括加热装置和制冷装置，温度调节装置7可以根据温度传感器9反馈的数据进行自动调节，保证气流通道6内气体的温度恒定，降低检测误差。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。