上述的管制规则可包含业界惯用的「西屋电 子规则」，包含：判定是否有任何这些标准化后的计量数据超出三倍的标准化后的标准差， 即超过3,从图中可以看到共有8个点违反此规则；判定连续三笔标准化后的计量数据中是 否至少有两笔超出两倍的该标准化后的标准差，图中V 1区域中的数据点即违反此规则；判 定连续五笔该标准化后的计量数据中是否至少有四笔超出一倍的该标准化后的标准差，图 中V 2区域中的数据点即违反此规则；或者是判定是否有至少连续八笔的该标准化后的计量 数据Z都位于该统计流程控制图表的正偏差或负偏差范围中，如V 3区域中所示的数据点。
[0044] 综合上述实施说明，本发明的优点在于通过特定的标准化动作将同种类的计量数 据汇整在单一 SPC图表中来进行检查，不易发生可供参考的计量数据不足的情形，并可摒 除不同进程方案或是不同产品等这类的参数变因，如此可省去使用者检查大量SPC图表的 时间。另一方面，此标准化动作同时考虑各数据群组平均值与标准差的同整，因此在数据检 查方面可同时顾及准确度与精确度，更能即时且有效地监控进程状态。
[0045] 以上所述仅为本发明的优选实施例，凡依本发明权利要求所做的同等变化与修 饰，皆应属本发明的保护范围。
【主权项】
1. 一种监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，包含： 取得表示该进程状态的输出参数的计量数据X，其中这些计量数据X对应第N个该进程 方案，N为大于1的整数； 根据下列公式标准化这些计量数据X，以产生对应的标准化后的计量数据Z:其中这些标准化后的计量数据Z对应第N个该进程方案，μ为对应该第N个进程方案 的所有这些计量数据X的平均值，σ为对应该第Ν个进程方案的这些计量数据X的标准差， 这些标准化后的计量数据Ζ具有一标准化后的标准差F;以及 根据这些标准化后的计量数据Ζ来判定该进程状态。2. 如权利要求1所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中根据这些 标准化后的计量数据Ζ来判定该进程状态的步骤包含： 将对应所有这些进程方案的这些标准化后的计量数据Ζ标示在单一统计流程控制图 表中；以及 判定这些标准化后的计量数据Ζ是否有违反该统计流程控制图表的管制规范。3. 如权利要求2所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中判定这些 标准化后的计量数据Ζ是否有违反该统计流程控制图表的管制规范的步骤包含判定是否 有任何这些标准化后的计量数据Ζ超出三倍的该标准化后的标准差茨4. 如权利要求2所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中判定这些 标准化后的计量数据Ζ是否有违反该统计流程控制图表的管制规范的步骤包含判定连续 三笔该标准化后的计量数据Ζ中是否至少有两笔超出两倍的该标准化后的标准差5。5. 如权利要求2所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中判定这些 标准化后的计量数据Ζ是否有违反该统计流程控制图表的管制规范的步骤包含判定连续 五笔该标准化后的计量数据Ζ中是否至少有四个超出一倍的该标准化后的标准差5。6. 如权利要求2所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中判定这些 标准化后的计量数据Ζ是否有违反该统计流程控制图表的管制规范的步骤包含判定是否 有至少连续八笔的该标准化后的计量数据Ζ都位于该统计流程控制图表的正偏差或负偏 差范围中。7. 如权利要求2所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，还包含在判定 这些标准化后的计量数据Ζ违反该统计流程控制图表的管制规范时送出一警示信息给违 反该管制规范的该标准化后的计量数据Ζ所对应的该进程方案的负责人。8. 如权利要求1所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中该标准化 后的标准差等于1。9. 如权利要求1所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中每一该进 程方案对应不同的产品。10. 如权利要求1所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中该多个 进程方案都在同一进程机台实施。11. 如权利要求1所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的方法，其中这些计 量数据X为对应第N个该进程方案的一种输出参数。12. -种监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，包含： 一计量工具，用来测量根据该多个进程方案运行的进程状态的输出参数，以产生计量 数据X，其中这些计量数据X对应第N个该进程方案，N为大于1的整数； 一数据库，用来接收并储存这些计量数据X;以及 一处理器，从该数据库接收这些计量数据X并根据下列公式标准化这些计量数据X以 产生对应的标准化后的计量数据Z，并根据这些标准化后的计量数据Z来判定该进程状态：其中这些标准化后的计量数据Z对应第N个该进程方案，μ为对应该第N个进程方案 的所有这些计量数据X的平均值，σ为对应该第Ν个进程方案的这些计量数据X的标准差， 这些标准化后的计量数据Ζ具有一标准化后标准差泛。13. 如权利要求12所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，还包含一以 指令编码的程序储存装置，该程序储存装置受该处理器执行时该指令编码会进行接收这些 计量数据X、标准化这些计量数据X以产生对应的该标准化后的计量数据Ζ、以及根据这些 标准化后的计量数据Ζ来判定该进程状态的动作。14. 如权利要求12所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，其中该处理 器将所有这些标准化后的计量数据Ζ标示在一对应所有这些进程方案的统计流程控制图 表中并判定这些标准化后的计量数据Ζ是否有违反该统计流程控制图表的管制规范。15. 如权利要求14所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，其中该处理 器判定是否有任何这些标准化后的计量数据Ζ超出三倍的该标准化后的标准差厅。16. 如权利要求14所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，其中该处理 器判定连续三笔该标准化后的计量数据Ζ中是否至少有两笔超出两倍的该标准化后的标 准差厅,17. 如权利要求14所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，其中该处理 器判定连续五笔该标准化后的计量数据Ζ中是否至少有四笔超出一倍的该标准化后的标 准差歹18. 如权利要求14所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，其中该处理 器判定是否有至少连续八笔的该标准化后的计量数据Ζ都位于该统计流程控制图表的正 偏差或负偏差范围中。19. 如权利要求14所述的监控根据多个进程方案运行的进程状态的系统，其中该处理 器在判定这些标准化后的计量数据Ζ违反该统计流程控制图表的管制规范时会送出一警 示信息给违反该管制规范的该标准化后的计量数据Ζ所对应的该进程方案的负责人。
【专利摘要】本发明提出了一种监控进程方案运行的进程状态的方法及其系统。该方法的步骤包含：取得进程状态的计量数据X、根据公式Z＝(X-μ)/σ标准化计量数据X以产生对应的标准化后的计量数据Z，其中μ为某一进程方案的所有计量数据X的平均值，σ为对应该进程方案的所有计量数据X的标准差、以及根据标准化后的计量数据Z来判定进程状态。
【IPC分类】G05B19/048
【公开号】CN105302036
【申请号】CN201410335988
【发明人】郭晴菀, 韦芮榛
【申请人】力晶科技股份有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2014年7月15日