一种炉管Gauge触发点的监控方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路设备维护技术领域，更具体地，涉及一种可对炉管的Gauge (量测)触发点偏移进行监控的方法。
【背景技术】
[0002]目前用于对半导体晶圆(Wafer)进行例如扩散处理的炉管，如日本东京电子公司(TEL)Formula机型的炉管，在特气管路中设有若干针对特气压力进行监控的量测仪表，对管路中的特气压力进行检测，以便当管路中特气压力达到量测触发点(Gauge TriggerPoint)时发出工艺中止的警报(Recipe Abort)，避免晶圆报废。
[0003]量测仪表设有Gauge触发点的调校点、信号灯和量测端。其中，量测端可连接万用表的测头，用于对触发点的设定值进行量测(万用表以电压形式显示，与触发点的压力设定值对应，即IV=ITorr);调校点用于对触发点的设定值(以压力值形式表示)进行调节，并可在万用表的表盘显示调节后对应的电压值;信号灯在管路中特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态，而在管路中特气压力超出触发点的设定值时为关灯状态。量测仪表与机台的控制系统相连，以在管路中特气压力超出触发点的设定值时通知控制系统发出“Recipe Abort”警报，中止工艺。
[0004]然而，上述的例如Formula机型的炉管，其Gauge触发点只是在安装机台的时候检测一次，之后就没有检测机制来监控和有效管理Gauge触发点。而随着时间的推移以及炉管机台环境中各种因素的影响，触发点的设定值会发生偏移(即Gauge触发点偏移)的问题。例如，某Gauge触发点的设定值为5Torr(即管路中的特气压力管控值为5Torr，万用表的显示值对应为5V)，如设定值偏移为4Torr时，当管路中的特气压力达到4Torr时，信号灯即提前由亮灯状态变为关灯状态;此时，控制系统将错误地发出“Recipe Abort”警报，该管路中的特气将打不开，且工艺被中止，如此会带来晶圆报废的风险，且还具有安全隐患。
[0005]由于目前机台自身没有侦测Gauge触发点偏移的手段，因而经常发生Gauge触发点被错误触发而报警的问题，对安全生产也造成了一定的影响。鉴于Gauge触发点在实际生产过程中的作用非常关键，如果能够时刻监控Gauge触发点偏移的问题，并能够实现自动报警，这样就可实现对Gauge触发点的自动监控，从而可以提前预防产品报废风险，方便管理，并起到安全生产的良好效果。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种炉管Gauge触发点的监控方法，可实现对Gauge触发点偏移时的自动报警监控。
[0007]为实现上述目的，本发明的技术方案如下:
[0008]—种炉管Gauge触发点的监控方法，所述炉管的特气管路中设有针对特气压力进行监控的量测仪表，所述量测仪表设有Gauge触发点，并设有Gauge触发点对应的调校点、信号灯和量测端，所述信号灯在特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态、在超出触发点的设定值时为关灯状态并触发报警，包括以下步骤:
[0009]步骤一:建立量测仪表与一控制单元之间的连接；
[0010]步骤二:在控制单元设定小于Gauge触发点设定值的一阈值，并设置一警报模块；
[0011]步骤三:控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间，同时触发警报模块报警。
[0012]优选地，通过在所述控制单元设置软件互锁编程模块，设定阈值并进行软件互锁语句编程，实现对炉管Gauge触发点的监控。
[0013]优选地，当发生特气压力值小于阈值、同时信号灯处于关灯状态时，控制单元判断Gauge触发点偏移；当发生特气压力值大于阈值、同时信号灯处于亮灯状态时，控制单元判断Gauge触发点未偏移。
[0014]优选地，所述控制单元连接炉管的控制系统。
[0015]优选地，所述炉管为Formula机型。
[0016]优选地，所述阈值小于Gauge触发点设定值10%以内。
[0017]优选地，所述软件互锁编程模块连接警报模块。
[0018]优选地，所述软件互锁编程模块连接量测仪表。
[0019]优选地，对量测仪表Gauge触发点是否偏移的状况进行周期性人工检测及校准;方法包括:利用一万用表，将万用表与量测仪表的量测端进行连接，读取万用表的电压显示值，并与Gauge触发点设定值比较，进行周期性人工检测；当电压显示值相对Gauge触发点设定值偏移时，通过量测仪表的调校点进行调节，使得调节后的电压显示值与Gauge触发点设定值相符，完成校准;其中，电压显示值与Gauge触发点设定值的数值之间为一一对应关系。
[0020]从上述技术方案可以看出，本发明通过控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据量测仪表信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间，同时触发警报模块报警。本发明可利用软件互锁语句编程，并通过软件互锁编程模块实现对炉管Gauge触发点的自动监控;在此基础上，还可增加进行周期性人工检测及校准。本发明可实现自动报警监控Gauge触发点偏移的问题，从而实现对Gauge触发点进行自动监控，提前预防产品报废风险，方便管理，并可起到安全生产的良好效果。
【附图说明】
[0021]图1是本发明一种炉管Gauge触发点的监控方法流程图。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】作进一步的详细说明。
[0023]在以下本发明的【具体实施方式】中，请参阅图1，图1是本发明一种炉管Gauge触发点的监控方法流程图。如图1所示，本发明提供了一种炉管Gauge触发点的监控方法。所述炉管的特气管路中设有针对特气压力进行监控的量测仪表。例如，所述炉管可以采用日本东京电子公司(TEL)Formula机型的炉管，当然，也可以是其他公司或其他机型的炉管。该Formula机型的炉管在其特气管路中设有若干针对特气压力进行监控的量测仪表，对管路中的特气压力进行检测，以便当管路中特气压力达到Gauge触发点(Gauge TriggerPoint，量测触发点)时发出工艺中止的警报(Recipe Abort)，避免晶圆报废。
[0024]例如，可在Formula机型炉管特气管路的真空排气口设有名称为VG3的气压量测仪表，用于对真空排气口处的特气压力进行监控。量测仪表设有Gauge触发点的调校点、信号灯和量测端。其中，量测端可连接万用表的测头，用于对触发点的设定值进行量测(万用表以电压形式显示，与触发点的压力设定值的数值之间是一一对应的关系，即IV= ITorr);调校点用于对触发点的设定值(以压力值形式表示)进行调节，并可在万用表的表盘显示调节后对应的电压值;信号灯在管路中特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态，而在管路中特气压力超出触发点的设定值时为关灯状态并触发报警。量测仪表与炉管机台的控制系统相连，以在管路中特气压力超出触发点的设定值时通知控制系统发出“Recipe Abort”警报，中止工艺。
[0025]请参阅图1。本发明的一种炉管Gauge触发点的监控方法，可包括以下步骤:
[0026]步骤一:建立量测仪表与一控制单元之间的连接。
[0027]可以将控制单元连接至炉管的控制系统，从而可在控制系统的统一控制下进行运行。
[0028]步骤二:在控制单元设定小于Gauge触发点设定值的