自动测试和特征化数据分析方法和装置的制作方法

专利名称：自动测试和特征化数据分析方法和装置的制作方法
自动测试和特征化数据分析方法和装置
背景技术：
等离子工艺的进步带来了半导体工业的发展。在等离子工艺系统(例如等离子组
合工具)被部署到顾客现场之前，会进行一系列的质量控制测试。这些质量控制测试中得到的数据需要加以收集和存储以供后续分析之用。 —般来说，在等离子组合工具被从生产商送往顾客之前，会对等离子组合工具和它的各种组件进行大量的质量控制测试。此处讨论的等离子组合工具是指可含有多个模块(例如处理模块，传送模块等)并可含有多个子系统(例如RF(射频)匹配器，气体盒，TCP匹配器，偏压匹配器等)的等离子工艺系统。为了便于讨论，我们用"组件"这个词来指代等离子组合工具中的一个单独的或有多个部分的装置。因此，一个组件可以简单如气体管道，也可以复杂得像整个工艺模块。 一个有多部分的组件(例如工艺模块)可以由其它多部分的组件(例如真空系统，气体系统，电源系统等)组成，这些组件又可以是由别的多部分组件或单独组件组成的。 —个等离子组合工具的各种组件可能是由不止一个生产商生产的。例如，等离子组合工具的生产商，例如美国加利福尼亚州费利蒙市的朗姆研究公司，在生产等离子组合工具的时候一般会利用许多第三方供应商的组件。事实上，这是半导体工艺设备领域的标准方式，因为，这样可以使公司关注于他们的强项，而把他们兴趣或能力范围之外的工作转给其它公司。 目前不存在标准的组件测试框架。测试可能是生产商和/或第三方进行的。内部测试允许生产商对测试方法有一定程度的控制。然而，外包给第三方的测试使得生产商对所进行的测试的控制很有限或根本没有任何控制。 为了便于讨论，图1A显示了具有工艺模块102和传送模块111的等离子组合工具的示例。在工艺模块102中有组件106和108(例如，气体盒和射频匹配器)。测试夹具112 (例如LamWorks)附着于模块102，其使整个工艺模块102能够进行测试。额外的测试夹具(例如基于LamWorks的测试夹具104和Nyker Labview测试夹具110)附着于组件106和108上。 此处讨论的夹具是指具有允许组件在模拟工艺环境中进行测试的软件界面的硬件。例如，一个交流/直流盒的测试夹具可以使测试人员能够对导线连接和电源组件等进行测试。在一些实例中，一个组件可能没有测试夹具。在图1A中，传送模块111是没有测试夹具的。因此，对传送模块111的测试可以按照纸上流程(p即erprocedure)手工完成。在使用纸上流程的情况下，测试的质量可能取决于测试人员的技能和谨慎程度。而且，该流程可能要依赖测试人员的主观理解。在一些情况下，测试人员可能无法总是完全执行所有步骤。在有的情况下，测试人员可能编造数据。因此，测试结果可能缺乏一致性和整体性。
图1B显示了图1A中的组件和与这些组件相联系的结构的图表。对于工艺模块102，连接由生产商内部制造的测试夹具112(例如LamWorks)。利用这些由生产商制造的夹具进行的测试可以让生产商对于用来进行测试的方法能够进行一定程度的控制。在一个示例中，生产商能够决定每个测试夹具在测试组件的时候采用的控制逻辑。而且，因为每个测试夹具都能够在该测试夹具上记录和储存数据(例如在SQL数据库中)，生产商可以读取收集到的电子形式的数据，从而使得生产商能够操作这些数据用以分析。然而，报告，或对报告的读取，可能限制于内网中或纸件打印。 在另一个示例中，附着于组件106(例如RF匹配器)的测试夹具106(例如LamWorks)是内部制造的，但是可以送到外面到第三方以测试该组件。即使生产商提供测试夹具，但是一般来说生产商对由第三方在外面进行的测试的控制很少甚至根本无法进行控制。甚至，对于不在现场进行的测试，生产商会不能容易地读取测试数据。相反，生产商可能只能接收到纸件打印或图像拷贝形式的测试数据。 在一些情况下，可能会采用第三方供应商制造的测试夹具来进行测试。在一个实施例中，附着于组件108 (例如气体盒)的测试夹具110 (例如使用Labview的Nyker)可能是第三方生产的。因为测试夹具是第三方生产的，生产商就可能没有办法对测试夹具采用的控制逻辑进行控制。在这些情况下，生产商通常依赖使用第三方提供商制造的测试夹具的测试人员来对组件进行良好的测试并收集其相关数据。甚至，生产商通常对不在现场进行的测试数据的读取也受到限制，特别是如果数据是通过纸件或图像格式提供给生产商。结果就是，生产商可能在操作数据以进行分析的时候遇到困难。 —般来说，控制系统在测试和生产环境中会采用不同的控制逻辑。结果是，测试环境可能无法复制生产环境中可能出现的问题。例如，在等离子组合工具生产的过程中对控制系统进行修改是常见的。然而，这些修改可能没有普及到所有的测试人员。结果是，测试人员可能没有创建类似于生产环境的那种环境的全部数据。甚至，可能几个组件都会进行修改，然而生产商却无法被通知到以适应这些修改。结果就是，直到等离子组合工具进到现场，这些修改才被注意到。 在一些情况下，一个组件(例如传送模块111)可能没有与之相关联的测试夹具。在没有测试夹具的情况下，测试人员不得不基于纸上流程来对组件进行测试。这种情况的测试方法一般依赖于测试人员的技能和知识。此外，该流程可能要依赖测试人员的主观理解。而且，测试人员可能无法完全执行所有步骤。因此，收集到的数据可能取决于测试人员的谨慎程度。例如，测试人员可能选择不去进行完整测试(例如跳过某些步骤)，或者测试人员可能选择跳过测试而编造数据。因此，测试结果会缺乏一致性和完整性。生产商可能难于确定测试数据的准确度，特别是测试数据是记录在纸上。 因为可以采用广泛的测试方法，生产商可能无法向他们的顾客保证在测试等离子组合工具和组件时采用了稳定的质量。考虑到缺少测试标准，收集到的数据可能随着测试方法和测试人员的不同出现实质内容和质量上的不同。而且，因为测试人员通常仅仅受限于他所测试的组件，而不可能进行集成测试。甚至，测试中得到的报告可能在形式和实质内容上都有不同。在一个示例中，如果测试是内部进行的话，生产商能够读取电子测试数据。在另一个示例中，如果测试是在非现场进行的话，生产商可能只能读取纸件拷贝或图像拷贝的测试数据。 考虑到测试数据可能不是容易操作以进行分析的格式，生产商可能没有资源或时间来分析测试数据。因此，除非问题非常明显，可能不会分析测试数据，除非生产环境中出现了问题。即使到那时，缺乏有效的工具来分析这些数据也使得排除问题变成艰巨的任务并使得追踪问题的根源成为挑战。

发明内容
在一个实施例中，本发明涉及一种对安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制。该方法包括提供ATAC(自动测试和特征化)夹具。该ATAC夹具至少包括第一系统控制软件包("第一SCS")，代表该生产系统控制软件。该ATAC夹具至少还包括数据管理器模块，配置为通过计算机网络从第一数据库中取得规范数据。该ATAC夹具至少还包括测试管理器模块，配置为利用该第一 SCS执行为该组件设计的测试组。该ATAC夹具至少还包括SCS接口引擎，配置为向该第一 SCS提供至少该测试组。该ATAC夹具至少还包括数据分析模块，配置为提供计算机实现的数据分析的工具给用户，以分析在测试该第一组件时取得的测试数据。该方法还包括将该ATAC夹具与该第一组件耦合，以使得该ATAC夹具中的该第一 SCS能够利用该测试组和至少一部份该规范数据测试该组件。当测试该第一组件时，熄掉不存在的该等离子工艺系统的缺失组件以模拟该缺失组件，从而允许使用该第一 SCS对该第一组件在模拟环境中进行测试，就像在测试该第一组件的时候该缺失组件是存在的一样。
在另一个实施例中，本发明涉及一种安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的测试夹具，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制。该测试夹具包括第一系统控制软件包("第一SCS")，其代表该生产系统控制软件。该测试夹具也还包括数据管理器模块，配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据。该测试夹具还包括测试管理器模块，配置为利用该第一 SCS执行为该组件设计的测试组。该测试夹具还包括SCS接口引擎，配置为向该第一 SCS提供至少该测试组。该测试夹具还包括数据分析模块，配置为提供计算机实现的数据分析的工具给用户，以分析在测试该第一组件时取得的测试数据。该测试夹具，当与该第一组件耦合时，配置为使该测试夹具中的该第一 SCS能够利用该测试组和至少一部份该规范数据测试该组件。当测试该第一组件时，熄掉不存在的该生产等离子工艺系统的缺失组件以模拟该缺失组件，从而允许使用该第一 SCS对该第一组件在模拟环境中进行测试，就像在测试该第一组件的时候该缺失组件是存在的一样。
在另一个实施例中，本发明涉及一种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，该等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制。该方法包括提供ATAC(自动测试和特征化)夹具。该ATAC夹具配置为模拟等离子工艺系统从而该第一组件可以用由该ATAC夹具经由计算机网络从数据库中取得的测试组和规范数据进行测试。该方法还包括将该ATAC夹具与该第一组件耦合，以便于对该第一组件进行测试。该方法还包括利用该测试组和该规范数据测试该第一组件。该方法还包括利用该ATAC夹具分析测试该第一组件时取得的测试数据以检测触发通知的条件。熄掉测试该第一组件时不存在的该等离子工艺系统的缺失组件以模拟该缺失组件，从而允许对该第一组件在模拟环境中进行测试。 下面结合附图，对本发明的上述特征以及其它特征作出进一步详细的说明。


在附图中，本发明作为示例而不是作为限制来说明，其中类似的参考标号指出相似的元件，其中
图1A显示了具有工艺模块和传送模块的等离子组合工具的示例，以便于讨论。 图IB显示了图1A中的组件以及和这些组件相关联的测试结构的图表。 图2A显示了，在本发明的一个实施例中，附有ATAC测试夹具的等离子组合工具。 图2B显示了，在本发明的一个实施例中，该ATAC测试框架的架构。 图3显示了，在一个实施例中，使用该ATAC系统对等离子组合工具的组件进行测
试的简化流程图。 图4显示了，在一个实施例中，与数据库相关的ATAC系统的整体环境的简图。 图5显示了，在一个实施例中，数据分析模块的方框图。 图6和图7显示了，在一个实施例中，数据分析模块生成的图表的示例。 图8显示了，在一个实施例中，使用ATAC系统解决问题的简化流程图。
具体实施例方式
现在将根据其如在附图中说明的几个实施方式来具体描述本发明。在下面的描述中，阐述许多具体细节以提供对本发明的彻底理解。然而，对于本领域技术人员，显然，本发明可不利用这些具体细节的一些或者全部而实施。在有的情况下，公知的工艺步骤和/或结构没有说明，以避免不必要的混淆本发明。 下面描述几种具体实施例，包括方法和技术。应当记住，本发明也覆盖包含储存了执行本发明的技术的计算机可读指令的计算机可读介质的制造品。计算机可读媒体可以包括，例如，半导体、磁性、光磁、光学或其它形式的储存计算机可读代码的计算机可读介质。而且，本发明还覆盖实施本发明实施例的装置。这些装置包括专用的和/或可编程的电路，以执行本发明实施例中包含的任务。这些装置的例子包括进行过恰当编程的通用计算机和/或专用计算器件，也可以包括计算机/专用计算器件的结合以及专用的/可编程的电路，以执行本发明实施例中包含的各种任务。 按照本发明的实施例，提供了可以使测试等离子工艺系统(例如等离子组合工具)的测试方法和数据收集标准化的测试装置。测试框架，或称为自动测试和特性化(ATAC)系统，该系统控制软件(SCS)，并模拟生产环境。利用ATAC系统，生产商可以对测试方法和规范进行控制。 在本文件中，使用等离子组合工具讨论各种实施方式。然而，本发明并不限于等离子组合工具，可以应用于任何等离子工艺系统。(例如，考虑这种情况，正在对等离子组合工具及其各组件进行测试。在一个实施例中，测试人员可能利用ATAC系统，通过熄掉(stubbing out)没有被测试的组件来模拟生产环境。因为测试环境反映生产环境，所以测试不仅仅是硬件级别的。相反，整个等离子组合工具及其系统控制软件(SCS)可以在集成的基础上加以测试。而且，在本发明的一个实施例中，ATAC系统可把测试过程中收集到的数据在近乎实时的环境中传送至生产商系统。结果是，生产商很容易读取测试数据。 如前所述，ATAC系统是对等离子组合工具及其组件进行测试的测试装置，该工具具有SCS以在生产过程中对等离子组合工具进行控制。该ATAC系统可包括数据管理器模块以取得关于等离子组合工具的组件的规范数据(例如测试方法，测试规范和相关的测试规范数据)。在这种方式中，每种组件的测试人员，不论他是内部测试人员或者为第三方销
8售商工作，都可以利用相同的规范数据。 数据管理器模块可以通过访问计算机网络取得规范数据。在本发明的一个实施例中，计算机网络表现为因特网及/或生产商的信息技术架构。在一个实施例中，数据管理可以在.net架构下实现，该架构是由华盛顿州雷蒙德市的微软公司提供和/或维护。同样的数据管理还可以在测试完成后将测试结果数据和/或文件从测试夹具传递到制造商的中央测试数据存档服务器中。 该ATAC系统还可包括测试管理模块，其配置为执行一测试组以测试一组件。这里讨论的测试组可包括一个或多个测试。该测试组可包括测试规范和相关的测试规范数据，可由该数据管理模块下载。所执行的测试数量由测试员确定。利用测试管理模块，同样的测试方法可分发给所有的测试员。 该ATAC系统还包括SCS接口引擎，配置为与利用该等离子组合工具的SCS进行的该测试组通信。SCS接口引擎可以运行编码在测试脚本中的命令，也可以发送命令到SCS。在本发明的一个实施例中，SCS接口引擎可以使用Smalltalk(—种面向对象的编程语言)实现。关于Smalltalk的信息可以在w丽.Smalltalk, org上找到。测试脚本可以编写在由符合ATAC命令语法的命令组成的纯文本文件中。 该数据管理器模块，该测试管理器模块和该SCS接口引擎可以位于主机中，该主机也可包含在生产期间控制等离子组合工具的SCS。这些不同部分协同工作，以创建一个用以测试组件并收集测试结果的环境。在本发明的一个实施例中，测试结果通过计算机网络(使用适当的软件和/或硬件组件)传送到生产商的测试数据存档服务器中。得到授权的人员可以访问存储在存档服务器中的测试结果。 等离子组合工具可能包含许多组件。其中一些部件可能是内部生产的，而其它组件可能是外包给供应商的。内部及外部的测试人员用来测试这些组件的测试框架是ATAC系统。为了对一个组件进行测试，测试人员(无论是在内部还是在外部)都可以将ATAC测试夹具钩(hook)到在测试的组件上。这里讨论的ATAC测试夹具是指内部建有ATAC系统的测试夹具。 一旦将正测试的组建挂到该ATAC测试夹具，测试人员就能够进入生产商地址并能够指明正在测试的组件。等离子组合工具中的其它的组件可熄掉(例如，模拟就好像这些组件存在并可以操作)。 将正确的测试规范和方法下载到ATAC系统中。开始测试，并把测试中收集到的数
据上传到生产商的测试数据存档服务器上(可以是进行测试时在测试人员的要求下，也可
以是测试完成后立刻进行)。现在生产商、测试人员和供应商可以很容易的获取数据以进行
分析。而且，当问题出现的时候，现场的工程师和顾客也可以获取这些数据。 为了分析测试过程中可能收集到的大量数据，可以将数据分析模块连接到生产商
的中央测试数据存档服务器(例如ATAC采集数据库)上。数据分析模块可以包括一个含有
统计工艺控制(SPC)逻辑的用户界面。使用这个用户界面，用户可以查询存储在ATAC采集
数据库中的测试数据并创建用户友好的报告。在一个实施例中，也可以将客户规范数据库
连接到数据分析模块，以使得用户可以将报告和图表的配置作为模板保存，其可在之后用
来制作即时报告。而且，顾客规范数据库可以包括通知规则，使得用户可以配置一些条件，
在这些条件下，系统会通知用户测试结果中出现了变化。 参照附图和下面的讨论，可以进一步理解本发明的特征和好处。图2A显示了附有ATAC测试夹具的等离子组合工具的示例。该等离子组合工具显示了一个工艺模块210和一个传送模块202。传送模块202中有操纵板204、真空传送模块(VTM) 206和大气压传送模块(ATM) 208。测试夹具232和230分别附着于VTM 206和ATM208上。在本例中，操纵板204的ATAC测试夹具没有显示。操纵板204是指控制计算机和电力分配硬件放置的地方。在本发明的一个实施例中，每个组件都存在ATAC测试夹具；然而，那些缺少足够复杂的功能和/或控制逻辑的组件(例如操纵板)可能不需要ATAC测试夹具。
在工艺模块210中，可能存在的组件包括(但不限于)TCP匹配器218 (有ATAC测试夹具234)、偏压匹配器220 (有ATAC测试夹具236)、气体盒222 (有ATAC测试夹具238)、偏置电极214 (有ATAC测试夹具240)和顶板216 (有ATAC测试夹具242)。还有一个测试夹具212附着于处理模块210上。除了 ATAC测试夹具，组合工具的这些和其它主要组件对本领域的技术人员来说是熟知的。因此，这里没有详细列出或讨论这些主要组件。
图2B显示了，在本发明的一个实施例中，ATAC测试框架的架构。主机252上运行着系统控制软件(SCS)254。 SCS 254与为生产环境中的等离子组合工具实现的系统控制软件相同。因此，好处是，可以在模拟生产环境中进行这些测试。 主机252上还有数据管理器模块256。数据管理器模块256是一个数据传输代理，允许规范数据经由路径253(其可经过因特网)加载到主机252以及结果测试数据上传到该测试数据存档服务器(例如Web服务器266)上。Web服务器266上的ATAC WEB服务器268实现了一个安全的因特网环境。因此，为了能够对ATAC WEB服务器器268进行访问，用户需要提供授权数据(例如用户名和密码)。 如果数据管理器模块256想要从生产商获取规范数据的话，则通过路径253发送请求至ATACWeb服务器268。 ATAC web服务器268会通过路径255从文件服务器262或者通过路径257从数据库服务器264取得规范数据。例如，制法可能存储在文件服务器262的文件中。另一方面，最小和最大容量可存储在数据库264中。在一个实施例中，文件服务器262和数据库服务器264可位于生产商内部架构中。规范数据可以通过路径253发送到数据管理器模块256。数据管理器模块256可以将规范数据存储在文件系统262 (通过路径259)和数据库260 (通过路径261)中。文件系统262和数据库260位于主机252本地。
测试管理器模块258也位于主机252中。测试人员可以利用测试管理器模块258来选择用于正进行测试的组件的测试方案(例如进行标准测试，进行故障处理，进行诊断等)。对每个测试方案来说，有一组可用的测试(例如，测试功能性)。 一组的测试可能包括一个或多个测试。测试人员可以选择进行所有测试，也可以只进行其中一些测试。该测试方案和该测试组来源于这些测试规范和相关的测试规范数据，它们可由数据管理器模块256从ATACweb服务器268中下载并存储到文件系统262和数据库260中。在一个实施例中，测试管理器258可以由JavaTM(可以从美国加利福尼亚州山景城的太阳微系统公司得到)实现。 —旦激活测试序列，测试管理器258可以通过路径267与SCS接口引擎269进行互动。SCS接口引擎269可以是该测试组与等离子组合工具的SCS 254通信。SCS接口引擎269可以运行编码在测试脚本中的命令并向SCS 254发出命令。在本发明的一个实施例中，SCS接口引擎269使用Smalltalk实现( 一种面向对象的编程语言)。
可以收集测试结果并存储到文件服务器262和数据库260上。可以存储到文件服务器262上的测试结果的一个例子是一个数据日志文件。可以存储到数据服务器260上的 测试结果的例子是工艺模块中的气压测量值。 —个测试完成或者测试方案完成后，或者对一个组件的所有测试都已经完成后， 测试结果可马上上传到ATAC web服务器268上。在本发明的一个实施例中，在测试结果上 传到ATAC web服务器268时，可以关闭测试管理器模块258。关闭测试管理器模块258是 为了防止可能的数据冲突。为了上传测试结果，数据管理器模块256可以从文件系统262 和数据库260中取得测试结果，并将测试结果上传到ATAC web服务器268中，ATAC web服 务器可以将测试结果存储在文件服务器262和数据库服务器264中。 在结果上传到ATAC web服务器268之后可以马上访问测试结果，可以使用数据查 看器(例如ATAC Web报告器270)查看，数据查看器是一种允许用户查看报告并创建报告 的报告程序。被授予访问权限的用户可以访问测试结果。 图3显示了，在一个实施例中，使用ATAC系统对等离子组合工具的组件进行测试 的简化流程图。参考图2B，对图3进行讨论。例如，考虑这种情况，需要测试工艺模块210 的其中一个组件(例如偏置电极214、 TCP匹配器128、偏压匹配器220、气体盒222或顶板 216)。将ATAC测试夹具连接到需要进行测试的组件上。例如，将主机252连接到计算机 250 (例如VME)上，计算机控制工艺模块210及其组件。将内建有ATAC系统的主机250连 接到计算机250之后，ATAC系统就可以提供测试框架和接口 。 在步骤302中，启动数据管理器模块。为了开始对组件进行测试，计算机250可通 过路径251与主机252进行通信，以开始测试工艺并启动数据管理器模块256。
在下一个步骤304中，测试者按下按钮以对规范数据进行更新。数据管理器256可 以与生产商的计算机网络(例如ATAC web服务器264)连接，并下载所有的规范数据(例 如，在一个实施例中，不同版本的规范数据)。如前所述，一旦测试人员提供了认证信息之 后(例如，用户名和密码)，就可以准许其对计算机网络(例如ATACWeb服务器264)进行访 问。在一个实施例中，如果对一个组件的测试需要进行好几次，那么在以后的下载过程中， 仅仅下载规范数据中不同的部分。 为了将规范数据下载到数据管理器模块256中，计算机网络(例如ATAC Web服务 器264)从文件服务器262和数据库服务器264中取得规范数据。从文件服务器262和数据 库服务器264中取得的规范数据可以被下载到数据管理器模块256并存储到文件系统262 和数据库260中。 升级完规范数据之后，用户可以在下一个步骤306中输入关于该组件的识别信息 (例如序列号，设备ID等)并选择规范数据的版本。在下一个步骤308中，将所选取版本 的规范数据通过复制到所有运行时目录中而应用。在下一个步骤310中，测试人员可以对 该组件特定的选项进行配置。例如，气体盒可以根据其有多少气体管道(例如12条气体管 道)、有多少盒(例如16盒)或该气体盒具有的供给管道的数量(例如是否是双气体供给 管道)进行配置。 在下一个步骤312中，测试人员可以启动测试管理器模块以选择测试方案(步骤 314)。在一个示例中，测试人员想要对气体盒进行标准测试组。选择好测试方案之后，测试 人员可以得到与该测试方案相关联的测试组。在下一个步骤316中，测试人员可以选择要 执行的测试。在一个示例中，对气体盒的标准测试组包括40个可进行的测试。在这40个测试中，测试人员可以选择执行全部的或仅仅是选中的一些测试。测试管理器模块258可 利用存储在文件系统262和数据库260中的规范数据来选择测试方案和所要执行的一测试 组。 在下一个步骤318中，执行每一步测试。SCS接口引擎269可以与测试管理器模块 258通信以获取测试序列。SCS接口引擎269可以执行编码在测试脚本中的命令，也可以向 SCS 254发送命令以开始测试。基于收到的信息，SCS 254可以熄掉所有不被测试的组件并 初始化该测试序列。在本发明的一个实施例中，SCS接口引擎269可以使用Smalltalk实 现，Smalltalk是一种面向对象的编程语言。 每次测试过程中采集到的数据都会通过测试管理器模块258传送到文件系统262 和数据库260中。在下一个步骤320中，如果需要额外的步骤，测试人员将回到步骤316，并 选择一个新的测试。这个过程将持续到完成测试人员想要进行的所有测试。所有测试完成 之后，测试人员会在下一个步骤322中关闭测试管理器。 在本发明的一个实施例中，在完成一个测试或者完成一个测试方案之后，测试结 果会上传到ATAC web服务器268上。例如， 一个测试方案要进行40个步骤。在每一步的最 后，测试人员可以关闭测试管理器模块以上传数据。当测试人员重新启动测试管理器模块 时，系统会给测试者提供每一个测试的状态和继续测试的机会。结果是，更频繁的上传测试 结果的能力使得测试人员和对测试结果感兴趣的其它人员可以近乎实时地访问测试结果， 这就可以进行分析和故障处理。 在下一个步骤324中，可以激活数据管理器模块以开始上传数据(步骤326)。例 如，数据管理器模块256可以从文件系统262和数据库260中取得测试结果，并把测试结果 发送给ATAC web服务器268。测试结果存储在文件服务器262和数据库服务器264中，而 且任何有权查看结果的人(例如现场工程师、供应商、客户等)都能可以访问。在下一个步 骤328中，对该组件的测试完成，测试人员可以使用ATACWeb报告器254来查看数据。
图4显示了，在一个实施例中，与数据库相关的ATAC系统的整体环境的简图。设 想这样一种情况，例如，销售商402、404和406正在使用ATAC系统408收集测试数据，并通 过ATAC系统408将数据向上传送到ATAC采集数据库410。这些数据存储在ATAC采集数据 库408中并可以用于后续分析。利用存储的大量数据，需要数据分析模块将采集到的测试 数据复制到可读的报告和图表中。 图5显示了 ，在一个实施例中，数据分析模块的框图。数据分析模块502与ATAC采 集数据库504连接。在一个实施例中，定制规则数据库506也可以与数据分析模块502相 连。 在一个实施例中，数据分析502可以包括统计工艺控制(SPC)后端过程510。通过 SPC后端过程，对存储在ATAC采集数据库504中的测试数据进行统计分析。为了给用户提 供用户友好界面以获取和分析数据，数据分析模块502可以包括用户界面512。使用用户 界面512，用户可以访问SPC后端过程510以查询存储在ATAC采集数据库504中的测试数 据。查询的结果会呈现在用户友好报告和图表中，这些报告和图表可以由用户通过访问定 制规则数据库506配置。 在一个实施例中，定制规则数据库506可以包括文件存储区域和SQL数据库。文 件存储区域可以包括如何创建和定制报告和图表的规则。通过使用定制规则数据库506，用户可以创建图表和报告的模板，用户可以将模板保存下来供以后使用。在另一个实施例中， 定制规则数据库506还包括放置通知信息的数据库。 在一个实施例中，当某种特定活动发生时，用户想要得到通知。通过使用数据分析 模块502的自动通知514，用户可以接收到特定活动的通知。为了定义通知的规则，自动通 知可访问定制规则数据库506。如上所述，定制规则数据库506可以包括通知规则，该规则 使得使用者可以配置一些条件，在这些条件下，系统会通知用户测试结果中出现了变化。在 一个示例中，用户可以设置自动通知规则，其中当传送模块一个组件的数据变化超过一个 预定义的百分比的时候，系统将通知用户。当这个自动通知规则触发时，用户会被通知到。 在一个实施例中，使用 一个预定义、显示测试数据的变化的模板来生成报告。
图6和图7显示了，在一个实施例中，数据分析模块生成的图表的类型。图6显示 了一个有位置偏移的组件的图形。在这个示例中，在2005年IO月间发生的一个事件引起 了位置偏移变化的趋势。使用数据分析模块，用户可以利用自动通知特性来对类似于图6 中显示的那些变化向他发出警告，以此检测制造过程中的漂移。 在另一个实施例中，图7显示了一个组件耐热值的图表的示例。在此示例中，耐热
性的数值有缓慢的攀升的趋势。根据每天的数据，用户可能不能确定向上的趋势；然而，利
用数据分析模块，用户可以绘制出耐热值图表并很快确定这个趋势。而且，用户可以利用当
前的趋势来预测即将得到的测试结果，并能够利用这种预测来预防故障。 图6和图7都显示了可以如何在器件被送往客户场地之前，利用数据分析模块检
测可能引起问题的变化的示例。在一个实施例中，利用高效和有效的分析工具，例如数据分
析模块，生产商不仅可以防止故障的发生，也可以修改测试标准以提供对测试结果的更好
的控制。在一个示例中，如果范围的上下限可以有效收窄从而组件能更好地制作，那么在顾
客处就会较少发生硬件故障。 下面的示例描绘了如何使用存储在ATAC采集数据库中的测试数据解决问题，有 权查看测试数据的人员可以很容易的访问ATAC采集数据库中的数据。图8显示了 ，在一个 实施例中，使用ATAC系统解决问题的简化流程图。例如，考虑这种情况，现场工程师将等离 子组合工具设置到了客户的现场。在第一个步骤802中，在客户现场，等离子组合工具出现 了问题。在一个示例中，设置好之后，等离子组合工具没有通过不含等离子体的VCI测试。 VCI是工艺模块中的器件，对工艺模块的电压控制方案进行监控。不含等离子体的VCI测试 要求倾斜度在设定的范围内。然而，客户现场的测试结果可能在范围的下限处。
在下一个步骤804中，用户(例如现场工程师)可以登陆ATAC网站。在下一个步 骤806中，用户可以输入用户名和密码以访问ATAC网站。在下一个步骤808中，用户可以 从ATAC获取测试结果。在下一个步骤810中，用户可以通过分析测试数据来解决问题。通 过使用数据分析模块，用户能够查询ATAC采集数据库以收集用于进行不含等离子体的VCI 测试的测试数据。通过分析，现场工程师在测试过程中能够检测到倾斜度已经趋近于范围 的下限(即使是在范围中)。而且，现场工程师可以分析与相同配置相关的测试数据，并能 够确定倾斜度开始有下降趋势的时间。根据这些数据，现场工程师能够跟踪那时所发生的 事件的问题。通过进一步调查，跟踪问题而找到提供电极的供货商。利用很容易通过ATAC web服务器访问到数据，所以现场工程师能够很快的确定问题。在过去，分析可能要花数周 甚至数月的时间。
可以从本发明的具体实施例中看出，ATAC系统提供了一个标准的测试框架，因此 能够大幅度减少测试不准确的可能性。通过将测试标准化，生产商现在可以保证，客户现场 设定的等离子工艺系统已经由生产商认可的测试方法和规格测试过。而且，ATAC系统允许 近乎实时地上传数据；因此，那些有权访问数据的人员可容易访问测试结果从而进行数据 分析和故障排除。 尽管本发明采用若干实施例的方式进行描述，然而存在变形、置换和等同替换，这 些均会落入本发明的范围。而且，此处提供的题目，发明内容和摘要仅仅是为了方便，不应 该用来限制权利要求的范围。而且，在本发明中，一组的"n"指的是在该组中一个或多个 "n"。应当注意的是，有很多实现本发明中的方法和装置的代替方法。因此，权利要求的范 围应当被解释为涵盖这些落入本发明主旨和范围的变形、置换和等同替换。
1权利要求
一种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，该方法包含提供ATAC(自动测试和特征化)夹具，所述ATAC夹具至少包括第一系统控制软件包(“第一SCS”)，其代表所述生产系统控制软件，数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据，测试管理器模块，其配置为利用所述第一SCS执行为测试所述组件设计的测试组，SCS接口引擎，其配置为向所述第一SCS提供至少所述测试组，数据分析模块，其配置为提供计算机实现数据分析工具给用户，以分析在测试所述第一组件时取得的测试数据，将所述ATAC夹具与所述第一组件耦合，以使所述ATAC夹具中的所述第一SCS能够利用该测试组和至少一部份所述规范数据对该第一组件进行测试，其中，熄掉测试所述第一组件时不存在的所述等离子工艺系统的缺失组件以模拟所述缺失组件，从而允许使用该第一SCS在模拟环境中对该第一组件进行测试，就像在测试该第一组件的时候该缺失组件是存在的一样。
2. 根据权利要求1所述的方法，其中，该计算机网络代表因特网。
3. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述规范数据代表销售商在测试与所述第一组 件类型相同的组件时使用的数据，而无论哪家所述销售商实际上对与所述第一组件类型相 同的组件进行所述测试。
4. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述测试管理器模块被赋予了使用Web服务器访 问所述第一数据库的权限。
5. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述规范数据是由所述等离子工艺系统的生产 商提供给所有销售商测试与所述第一组件类型相同的组件的，而无论哪家所述销售商实际 上对与所述第一组件类型相同的组件进行所述测试。
6. 根据权利要求1所述的方法，其中，还包含使用所述数据管理器模块从对所述第一 组件的所述测试中取得测试结果，并通过因特网上传所述测试结果至第二数据库以进行后 续分析。
7. 根据权利要求6所述的方法，其中，该测试结果以预先定义的格式存储，该格式对所 有的销售商测试的与该第一组件类型相同的组件都一致，而无论是哪家所述销售商实际上 对与所述第一组件类型相同的所述组件进行所述测试。
8. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一SCS代表所述生产系统控制软件的精确 拷贝。
9. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述数据分析模块进一步配置为监控所述测试 数据触发通知事件的条件。
10. 根据权利要求9所述的方法，其中，所述数据分析模块还包括自动通知模块，其配 置为如果所述触发通知事件的条件满足，则发送通知。
11. 一种配置为对安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的测试夹具，所述等离 子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，所述测试夹具包含第一系统控制软件包("第一SCS")，其代表所述生产系统控制软件， 数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据，测试管理器模块，其配置为利用所述第一 SCS执行为测试所述组件设计的测试组， SCS接口引擎，其配置为向所述第一 SCS提供至少所述测试组，及数据分析模块，其配置为提供计算机实现数据分析工具给用户，以分析在测试所述第 一组件时取得的测试数据，其中所述测试夹具，当与所述第一组件耦合时，配置为使所述测试夹具中的所述第一 SCS能够利用该测试组和至少一部分所述规范数据测试所述第一组件，及其中，熄掉测试所述第一组件时不存在的所述生产等离子工艺系统的缺失组件以模拟所述缺失组件，从而允许使用所述第一 SCS在模拟环境中对所述第一组件进行测试，就像在测试所述第一组件的时候所述缺失组件是存在的一样。
12. 根据权利要求11所述的测试夹具，其中，所述计算机网络代表因特网。
13. 根据权利要求11所述的测试夹具，其中，所述规范数据代表销售商在测试与所述 第一组件类型相同的组件时使用的数据，而无论是哪家所述销售商实际上对与所述第一组 件类型相同的组件进行所述测试。
14. 根据权利要求11所述的测试夹具，其中，所述测试管理器模块被赋予了使用Web服 务器访问所述第一数据库的权限。
15. 根据权利要求11所述的测试夹具，其中，所述规范数据是由所述等离子工艺系统 的生产商提供给所有销售商测试与所述第一组件类型相同的组件的，而无论是哪家所述销 售商实际上对与所述第一组件类型相同的组件进行所述测试。
16. 根据权利要求11所述的测试夹具，其中，该数据管理器模块进一步配置为从对所 述第一组件的所述测试中取得测试结果，并通过因特网上传所述测试结果至第二数据库以 进行后续分析。
17. 根据权利要求16所述的测试夹具，其中，该测试结果使用预先定义的格式存储，该 格式对所有的销售商测试的与所述第一组件类型相同的组件都一致，而无论是哪家所述销 售商实际上对与所述第一组件类型相同的组件进行所述测试。
18. 根据权利要求ll所述的测试夹具，其中，所述第一SCS代表所述生产系统控制软件的精确拷贝。
19. 根据权利要求11所述的测试夹具，其中，所述数据分析模块进一步被配置为监控 所述测试数据触发通知事件的条件。
20. 根据权利要求19所述的测试夹具，其中，所述数据分析模块还包括自动通知模块， 配置为如果所述触发通知事件的条件满足，则发送通知。
21. —种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，所述等离子工 艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，该方法包含提供ATAC(自动测试和特征化)夹具，所述ATAC夹具配置为模拟等离子工艺系统从而 所述第一组件可以利用由所述ATAC夹具经由计算机网络从数据库中取得的测试组和规范 数据进行测试；将所述ATAC夹具与所述第一组件耦合，以便于对所述第一组件进行测试； 用该测试组和所述规范数据测试所述第一组件；及分析利用所述ATAC夹具测试所述第一组件时取得的测试数据以检测触发通知的条件，其中，熄掉测试所述第一组件时不存在的所述等离子工艺系统的缺失组件以模拟所述 缺失组件，从而允许在模拟环境中对所述第一组件进行测试，就像在测试所述第一组件的 时候所述缺失组件是存在的一样。
22. 根据权利要求21所述的方法，其中，所述计算机网络代表因特网。
23. 根据权利要求21所述的方法，其中，测试管理器模块被赋予了使用Web服务器访问 所述第一数据库的权限。
全文摘要
一种对配置为安装在等离子工艺系统中的组件进行测试的方法。该方法包括提供ATAC(自动测试和特征化)夹具，该夹具包括系统控制软件包(SCS)，代表生产系统控制软件；数据管理器模块，配置为通过计算机网络从数据库中取得规范数据；测试管理器模块，配置为执行为测试该组件设计的测试组；SCS接口引擎，配置为向该SCS提供该测试组；及数据分析模块，配置为提供由计算机实现的数据分析的工具，从而分析测试组件时得到的测试数据。该方法还包括将该ATAC夹具与该组件耦合，以使得该ATAC夹具中的SCS能够利用该测试组和至少一部份规范数据测试该组件。
文档编号G06F11/00GK101730850SQ200780037283
公开日2010年6月9日 申请日期2007年8月3日 优先权日2006年8月3日
发明者保罗·罗纳德·巴林泰恩, 杰米·萨米恩托, 许杰安, 顾蒂娜派柳 申请人:朗姆研究公司