专利名称：光罩追踪监控系统及方法
技术领域：
本发明涉及一种光罩追踪监控系统及方法，特别是有关于一种自动化 的光罩追踪监控系统及方法。
背景技术：
在现代化先进硅片代工厂(Foundry)或半导体制造厂(Fab.)中， 光罩为制作硅片时必要的组件，因为制造硅片需运用"光微影"的技术， 所谓"光微影"意即是半导体厂将设计好的线路图形制作成光罩，应用光 学成像的原理将图形投影完整且精确地复制到硅片上，所以光罩在制作硅 片时是十分重要的，光罩的状态好坏对硅片质量有关键性的影响。
因为光罩制作成本及单价都十分高昂，所以如何有效率管理或纪录光 罩的处理流程，进一步延长光罩使用寿命是光罩管理上重要的议题。
由于目前光罩处理运送等步骤，都是由操作员人工进行纪录工作，在 人工纪录的过程中难免易造成疏失，然而对光罩而言，即便是微小的疏失 也可能造成产品质量上的影响，因此对光罩的管理必须特别要求精确，尽 可能避免一切损害的可能。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种光罩追踪监控系统及方法，利用无线射 频(RFID)技术管理者可掌握每一光罩的最新动态，光罩所有移动以及处理 流程将直接纪录回传于主控终端，提供更有效率且实时的管理方式。
本发明的再一主要目的，是提供一种光罩追踪监控系统及方法，可随 时监督光罩的储存状态。
本发明又一主要目的，是提供一种光罩追踪监控系统及方法，可以快 速识别光罩盒的储存位置。本发明的另一主要目的，是提供一种自动化的光罩信号识别巻标，该 巻标附着于光罩盒上，可自动感应，避免光罩于感应过程中产生损伤。
本发明又一主要目的，是提供一种光罩追踪监控系统及方法，可建立 一精确纪录光罩数据的数据库，依据此数据库所提供的内容，光罩使用的 年限及保存状态可获得最好的保护，节省成本，增进管理效能。
基于上述的目的，本发明首先提供一种光罩追踪监控系统，运用于一 光罩处理系统，通过此在光罩处理流程中自动追踪监控光罩。
该光罩处理系统包括至少一机台及至少一光罩盒，机台可以是光罩储 存机、光罩清洁机、光罩运输机、微影工艺中的曝光机或其它光罩处理流 程中需要的机台类型。该光罩盒有两种， 一种是光罩传送盒，用以在传送 过程中存载光罩之用；另一种是光罩保存盒，用以在光罩保存于光罩储存 机时所用。
本发明所提供的光罩追踪监控系统包含至少一 RFID信号识别巻标、 至少一 RFID信号读取装置以及一主控终端；由于光罩盒能与机台结合， 故将该RFID信号识别巻标设置或附着于该光罩盒上。而该信号识别巻标 以无线射频的方式传送信号，此信号识别巻标为可拆取式；当光罩在光罩 传送盒与光罩保存盒之间移转时，该信号识别巻标可取下随光罩移动而转 移到不同的光罩盒。
该信号识别巻标以无线射频的方式传送一第一信号，该第一信号内容 是传达光罩盒所承载光罩的数据，而该机台上的RFID信号读取装置，会 在处理该光罩前、中或后接收该来自光罩盒的第一信号，并发送一第二信 号给主控终端，该第二信号内容是传达该光罩于该机台运作的最新数据。 而该主控终端，则会自动接收来自该机台的第二信号，通过由接收该第二 信号，该主控终端可纪录该光罩处理过程及追踪其最新动态。
该主控终端可建有一数据库自动纪录储存所有光罩的基本数据，如光 罩编码、光罩类型、制造日期、制造公司等，同时亦纪录该光罩所有处理 过程，如各处理动作所需的时间、出入各处理机台的次数纪录、进入各处 理机台的顺序等。
本发明再提供一种光罩追踪监控方法，用于该光罩处理系统，该光罩 追踪监控方法包含以下步骤提供上述的光罩追踪监控系统，以及使用该机台处理该光罩的前、中或后，利用该RFID信号识别巻标发出第一信号， 利用该信号读取装置接收该第一信号，并发送一第二信号，利用该主控终 端接收该第二信号可通过此纪录该光罩处理的过程。
经由本发明所提供的设计，可使光罩得到自动化的管理，进一步防止 因人工疏失所造成的光罩损害，可使得光罩寿命得以提高。此外，本发明 使用的RFID系统，还可提供管理者掌握光罩的最新动态，随时追踪光罩 在处理及移动的变化，进一步，经由精确的纪录光罩数据，光罩的使用及 保存状态皆得到最佳的保护。
图1是一光罩处理流程示意图； 图2是本发明的光罩追踪监控系统示意视图，； 图3是本发明的光罩盒及信号识别巻标示意图。主要组件符号说明
1 光罩处理流程photomask handling process
10 光罩传送盒photomask transporting pod
15 光罩保存盒photomask storage pod
20 光罩运输机photomask transporter
30 光罩清洗机photomask cleaner
40 光罩储存机photomask stocker
101 主控终端control terminal
110 光罩运输机photomask transporter
112 RFID信号读取装置RFID reader
120 光罩清洗机photomask cleaner
122 RFID信号读取装置RFID reader
130 光罩储存机photomask stocker
132 RFID信号读取装置RFID reader
140 光罩盒photomask pod
142 RFID信号识别巻标REID
具体实施例方式
由于本发明是揭露一种运用无线射频(RFID)技术的光罩追踪监控系 统的结构，而下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制， 其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。
首先，请参考图l，其是通常的光罩处理流程1示意图。内容包括一 光罩运输机20，此运输机用以运送光罩之用； 一个光罩清洗机30，此机 将使用后光罩进行清洗并去除污染物； 一个光罩储存机40，该储存机内部 随时充满惰性气体，以达到提升光罩盒与大气隔绝以确保其内部物品不受 污染的效果；以及至少一个光罩盒10或15，该光罩盒有两种， 一种是光 罩传送盒IO，用以在传送过程中存载光罩之用；另一种是光罩保存盒15， 用以在光罩保存于光罩储存机时所用。
通常的光罩处理流程为操作员将光罩置入光罩传送盒IO，再将光罩传送 盒10放入光罩运输机20中，待光罩传送盒10运输至光罩清洗机处30， 操作员再将光罩(未示于图中)由光罩传送盒10中取出置入光罩清洗机30 中，清洗动作完成，再将光罩置回光罩保存盒15并放入光罩储存机40; 在此传统处理的流程中，所有移动光罩的动作、纪录及操作机器的部分皆 以人工进行。
接着请参考图2，是本发明的一种运用无线射频(RFID)技术的光罩追 踪监控系统的示意图。本发明的运用无线射频(RFID)技术的光罩追踪监控 系统，该光罩追踪监控系统包含有 一个主控终端IOI、多个RFID信号读 取装置112，分别装设于上述的机台110、 120、 130之上，该些机台可以 是光罩储存机、光罩清洁机、光罩运输机、微影工艺中的曝光机或其它光 罩处理流程中需要的机台类型，以读取RFID信号，并传送信号给主控终 端。该主控终端可为至少一台以上的电子计算器。
接着，请参考图3所示，是本发明的光罩盒及RFID信号识别巻标示 意图。本发明的光罩盒140及RFID信号识别巻标142。其中该光罩盒140 可为光罩保存盒15或光罩传送盒10。
当光罩于上述机台中处理时，该光罩保存盒或光罩传送盒140上的 RFID信号识别巻标142，会以无线射频的方式传送一第一信号给机台110、120、 130，该第一信号内容是传达光罩盒140所承载的该光罩的数据。而 该机台IIO、 120、 130上的RFID信号读取装置112、 122、 132，是用以接 收该来自光罩盒140的第一信号，并会在该机台处理该光罩前、中或后， 并发送一第二信号给主控终端101，该第二信号内容是传达该光罩于机台 110、 120、 130运作的最新数据。而该主控终端101，则会接收来自该机 台IIO、 120、 130的第二信号，通过由接收该第二信号，该主控终端可纪 录该光罩及该机台处理过程及追踪其最新动态。
此发明中主控终端101与信号识别巻标142及信号读取巻标112、 122、 132之间的联系，可由无线方式或有线方式收送信号。该信号识别巻标142 皆为独特具辨识性的识别码，此标签是可重复回收使用的，同时该标签为 可拆取式；当光罩在光罩传送盒与光罩保存盒之间移转时，该信号识别巻 标可配合，取下随光罩移动而转移到不同的光罩盒140。
本发明另一较佳实施例中，该信号识别巻标142有可开关的设计，光 罩传送盒10与光罩保存盒15两个一组，共享同一组辨识性的识别码，当 光罩由光罩保存盒15中取出转移至光罩传送盒10的时候，无须将RFID 信号识别巻标142从光罩保存盒15中取下转至光罩传送盒10，只需要将 光罩保存盒15上的RFID信号识别巻标142功能开关关上，再将光罩传送 盒10上的RFID信号识别巻标142功能开关开启，信号收发功能就自动由 光罩保存盒15转至光罩传送盒10上，此设计可使管理者轻易的进行移动 光罩的动作。
请参照图1至图2，本发明再提供一种光罩追踪监控方法，用于该光 罩处理系统，该光罩追踪监控方法包含以下步骤提供上述的光罩追踪监 控系统，以及使用该机台处理该光罩的前、中或后，利用该RFID信号识 别巻标142发出第一信号，利用该RFID信号读取装置112、 122、 132接 收该第一信号，并发送一第二信号，利用该主控终端101通过此接收该第 二信号纪录该光罩处理的过程。
请接着参照图3，其中该光罩处理系统的光罩盒140包含至少一光罩 传送盒10用以传送该光罩、 一光罩保存盒15用以保存该光罩，该光罩传 送盒10以及该光罩保存盒15具有的该信号识别巻标142，是具有至少部 分相同识别码，且有可开关的设计，当光罩在光罩传送盒10与光罩保存盒15之间移转时，另包含以下步骤关闭该光罩所移出的光罩盒140的
信号识别巻标142，以及开启所移入的光罩盒140的信号识别巻标142。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的申请 专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及 实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰， 均应包含在下述的申请专利范围中。
权利要求
1、一种光罩追踪监控系统，用于一光罩处理系统，其中该光罩处理系统包含至少一光罩传送盒用以传送至少一光罩、一光罩保存盒用以保存该光罩及至少一机台用以处理该光罩，其特征在于，该光罩追踪监控系统包含有至少一个RFID信号识别卷标，设于该光罩传送盒以及该光罩保存盒其中之一，该信号识别卷标以无线射频的方式传送一第一信号，此信号识别卷标为可拆取式，当光罩在光罩传送盒与光罩保存盒之间移转时，该信号识别卷标可取下随光罩移动而转移到不同的光罩盒；至少一个RFID信号读取装置，设于该机台，其中该机台处理该光罩前、中或后，该信号读取装置是用以接收该第一信号，并发送一第二信号；以及一主控终端，接收该第二信号，该主控终端包含一纪录设备，该纪录设备用以储存该光罩处理的数据。
2、 如权利要求1所述的光罩追踪监控系统，其特征在于，该光罩处 理的数据包含光罩清洁纪录、光罩运送纪录、光罩储存时间。
3、 如权利要求1的光罩追踪监控系统，其特征在于，所述每一个RFID 信号识别巻标皆为独特具辨识性的识别码。
4、 如权利要求1的光罩追踪监控系统，其特征在于，该机台为一光 罩储存机或一光罩清洁机或一光罩运输机或一微影工艺中的曝光机。
5、 如权利要求1所述的光罩追踪监控系统，其特征在于，该光罩盒 为一光罩传送盒或光罩保存盒。
6、 如权利要求1的光罩追踪监控系统，其特征在于，该RFID信号识 别巻标为可回收重复使用。
7、 如权利要求1的光罩追踪监控系统，其特征在于，所述主控终端 为至少一台以上的电子计算器。
8、 如权利要求1的光罩追踪监控系统，其特征在于，该信号读取装置是以无线方式或有线方式传送该第二信号给该主控终端。
9、 如权利要求1的光罩追踪监控系统，其特征在于，该光罩处理系统的光罩盒包含至少一光罩传送盒用以传送该光罩、 一光罩保存盒用以保 存该光罩，该光罩传送盒以及该光罩保存盒具有的该信号识别巻标，是具 有至少部分相同识别码，且有可开关的设计，当光罩在光罩传送盒与光罩 保存盒之间移转时，该光罩所移出的光罩盒的信号识别巻标是被关闭，而 所移入的光罩盒的信号识别巻标是被开启。
10、 一种光罩追踪监控方法，用于一光罩处理系统，其中该光罩处理系统包含至少一光罩盒用于存放至少一光罩以及至少一机台用以处理该光罩，其特征在于，该光罩追踪监控方法包含以下步骤 提供一光罩追踪监控系统包含至少一个RFID信号识别巻标，设于该光罩盒，该信号识别巻标以无 线射频的方式传送一第一信号；至少一个RFID信号读取装置，设于该机台；以及 一主控终端；以及使用该机台处理该光罩的前、中或后，利用该RFID信号识别巻标发 出第一信号，利用该信号读取装置接收该第一信号，并发送一第二信号，利用该主 控终端接收该第二信号可通过此纪录该光罩处理的过程。
11、 如权利要求10所述的光罩追踪监控方法，其特征在于，该光罩 处理系统的光罩盒包含至少一光罩传送盒用以传送该光罩、 一光罩保存盒 用以保存该光罩，该信号识别巻标为可拆取式，当光罩在光罩传送盒与光 罩保存盒之间移转时，另包含以下步骤取下该信号识别巻标随光罩移动而转移到不同的光罩盒。
全文摘要
本发明一种光罩追踪监控系统及方法，本发明系统是用于一光罩处理系统。该光罩处理系统可包括光罩盒以及光罩处理机台。本发明所提供的光罩追踪监控系统包括一主控终端、至少一无线射频(RFID)信号识别卷标设于上述的光罩盒、至少一无线射频(RFID)信号读取装置设于上述的机台；该主控终端储存一切光罩于处理过程的纪录。本发明另提供一种光罩追踪监控方法。
文档编号G06K19/07GK101556436SQ200810087058
公开日2009年10月14日 申请日期2008年4月11日 优先权日2008年4月11日
发明者谢刚宁, 赖东焕 申请人:家登精密工业股份有限公司