专利名称：面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种面向半导体制造装备功能仿真的 批量配置文件管理方法。
背景技术：
随着半导体制造行业中需要仿真的设备越来越多，型号不一，对于各种设备的快 速有效的管理成为必不可少的一部分。例如目前的半导体制造业不仅包括设备级的配置文 件，而且还包括系统级以及子系统级的配置文件，因此为了能够对仿真设备配置文件的有 效管理，就需要一个管理软件来对其进行有效的管理。以下就对本发明所采用的一些现有技术进行简单介绍ULINQ TO XMLLINQ to XML是一种启用了 LINQ的内存XML编程接口，使用它，可以 在.NETFramework编程语言中处理XML。它将XML文档置于内存中，这一点很像文档对象模型(D0M)。您可以查询和修改 XML文档，修改之后，可以将其另存为文件，也可以将其序列化然后通过网络发送。但是， LINQ to XML与DOM不同它提供一种新的对象模型，这是一种更轻量的模型，使用也更方 便，这种模型利用了 Visual C#2008在语言方面的改进。LINQ to XML 最重要的优势是它与 Language-Integrated Query(LINQ)的集成。 由于实现了这一集成，因此，可以对内存XML文档编写查询，以检索元素和属性的集合。LINQ to XML的查询功能在功能上(尽管不是在语法上)与XPath和XQuery具有可比性。Visual C#2008集成LINQ后，可提供更强的类型化功能、编译时检查和改进的调试器支持。通过将查询结果用作XElement和XAttribute对象构造函数的参数，实现了一种 功能强大的创建XML树的方法。这种方法称为“函数构造”，利用这种方法，开发人员可以方 便地将XML树从一种形状转换为另一种形状。LINQ to XML提供了改进的XML编程接口，这一点可能与LINQ to XML的LINQ功 能同样重要。通过LINQ to XML，对XML编程时，您可以实现任何预期的操作，包括1)从文件或流加载XML。2)将XML序列化为文件或流。3)使用函数构造从头开始创建XML。4)使用类似XPath的轴查询XML。5)使用Add、Remove、Replaceffith和SetValue等方法对内存XML树进行操作。6)使用XSD验证XML树。7)使用这些功能的组合，可将XML树从一种形状转换为另一种形状。8)在使用XML编程时，主要关注的通常是XML元素，也可能关注属性。在LINQ to XML中，可以直接使用XML元素和属性。例如，可以执行以下操作9)创建XML元素而根本不使用文档对象。当必须使用XML树的片段时，这可简化编程。10)直接从 XML 文件加载 T =System. Xml. Linq. XElement 对象。11)将 T =System. Xml. Linq. XElement 对象序列化为文件或流。12)使用LINQ to XML时，仅在文档的根级别添加注释或处理说明时，才需使用 XDocument 类2、HASHHASH算法意义在于提供一种快速存取数据的方法，它用一种算法建立键值和真实 值之间的关系，让用户在需要只用某个真实值时，用键值可以快速提取到想要的真实值。3、游标当索引文件过于庞大，一次性载入时可能超出了 HASH存储限制，所以需要给定载 入基数(系统设定基数为74)，每次都以基数个数载入索引文件中的记录，系统根据界面下 端所能见到的第一个节点作为记录所在的位置，通过改变记录所在位置后重新确定载入所 需的索引记录范围，每次位置改变后都将清空HASH，将新载入的索引记录填充到HASH中， 从而保证记录可以一直读取都不会出现内存溢出的状况。4、XMLXML是一种数据存储语言，能够清晰得展示数据的结构状态，XML的便操作性更加 有利于配置文件的存储。
发明内容
本发明的目的旨在提出一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件动态 管理方法，从而能对仿真设备配置文件进行有效地管理。本发明主要采用HASH算法，LINQ TO XML保存索引数据以及游标定位这三个方面。在上述核心技术方法的基础上，本发明研 发实现了主要包括设备级的批量配置文件管理，子系统级批量配置文件管理，系统级的批 量配置文件管理的功能。为达到上述目的，本发明一方面提出一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配 置文件管理方法，包括以下步骤分别创建设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和 系统级批量管理文件，其中，所述设备级批量管理文件包括设备级索引文件及各个设备的 配置文件，所述子系统级批量管理文件包括子系统级索引文件及各个子系统所对应的配置 文件，所述系统级批量管理文件包括子系统级索引文件及各个系统所对应的配置文件；根 据所述设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件对设备的配置 文件进行加载，并显示所述设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管 理文件对应的设备列表；在所述对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储所述 对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照所述对应设备的 配置文件的路径进行加载；如果需要对所述设备级索引文件、子系统级索引文件和系统级 索引文件中的一个或多个进行更新，则通过LINQ TO XML技术在对应的索引文件中查找需 要更新的节点，并对其进行更新。在本发明的一个实施例中，以屏幕可最大显示记录个数的两倍为显示设备的基 数；当通过滚动条滚动或滑动鼠标中间的滚轮改变记录所在位置时，自动将获取显示下方 的最后一条记录的记录编号；获取所述记录编号前方1. 5倍最大显示数，及后方0. 5倍显示数为区间的记录，并重新显示在所述屏幕中。在本发明的一个实施例中，所述对设备级索引文件进行更新包括添加设备、删除 设备和提交设备。在本发明的一个实施例中，所述对子系统级索引文件进行更新包括添加子系统和 删除子系统。在本发明的一个实施例中，所述对系统级索引文件进行更新包括添加系统和删除 系统。在本发明的一个实施例中，所述设备级索引文件包括整个设备的索引文档、所有 文档结构、设备索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和 记录对应的设备配置文件所存放的位置。在本发明的一个实施例中，所述设备级索引文件还包括每个设备对应有提交标 记，所述提交标记表明对应的设备是否被提交。在本发明的一个实施例中，所述子系统级索引文件包括整个子系统索引文档、所 有文档结构、子系统索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名 称和记录对应的设备配置文件所存放的位置。在本发明的一个实施例中，所述系统级索引文件包括整个系统索引文档、所有文 档结构、系统索引的所有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记 录对应的设备配置文件所存放的位置。本发明实现了主要包括设备级批量配置文件管理，子系统级批量配置文件管理， 系统级批量配置文件管理的功能。在设备、子系统、系统的添加，删除时会及时将其对应的 文件名称以及存储路径更新到索引文件中，方便集中管理各级配置文件，这样可以节省载 入相应配置文件的时间，只要知道配置文件名称就可以快速载入对应的配置文件。本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变 得明显，或通过本发明的实践了解到。
本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变 得明显和容易理解，其中图1为本发明实施例的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法 流程图；图2为本发明实施例的设备级批量管理文件处理流程图；图3为系统运行时需要查看某个设备的具体设置示意图；图4为本发明实施例的子系统级批量管理文件处理流程图；图5为系统运行时需要查看某个子系统的具体设置示意图；图6为本发明实施例的系统级批量管理文件处理流程图；图7为系统运行时需要查看某个系统的具体设置示意图。
具体实施例方式下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终
6相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附 图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。本发明基于Windows xp操作系统，采用Visual studio 2008实现的。它可以完成 对于设备级、子系统级、系统批量配置文件的管理功能。在系统启动时，将各自的管理文件， 也就是相应的索引文件载入到内存中；并通过载入显示的索引文件能够快速载入想要载入 的配置文件，载入至内存中的索引有一定数量的限制，通过游标的定位控制，可以自由载入 以控制点为基准一定基数数量的索引记录，实现动态管理。本发明的核心技术主要涉及hash算法，linq to xml保存索引数据以及游标定位 这三个方面。在上述核心技术方法的基础上，本发明研发实现了主要包括设备级的批量配 置文件管理，子系统级批量配置文件管理，系统级的批量配置文件管理的功能。在设备、子 系统、系统的添加，删除时会及时将其对应的文件名称以及存储路径更新到索引文件中，方 便集中管理各级配置文件，这样可以节省载入相应配置文件的时间，只要知道配置文件名 称就快速载入对应的配置文件。如图1所示，为本发明实施例的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管 理方法流程图。该方法包括以下步骤步骤S101，分别创建设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量 管理文件，其中，设备级批量管理文件包括设备级索引文件及各个设备的配置文件，子系统 级批量管理文件包括子系统级索引文件及各个子系统所对应的配置文件，系统级批量管理 文件包括子系统级索引文件及各个系统所对应的配置文件。以下对设备级批量管理文件、 子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件分别进行描述。1)设备级批量管理文件在系统初始状态时，设备索引文件是不存在的，当设备创建保存时，将创建的设备 作为索引文件的记录，与索引文件一起存储起来，索引文件存储的目录已经指定好，记录有 记录编号的，再次启动系统时，系统会在指定目录中直接将配置文件载入，从而实现配置文 件的快速载入。设备级批量管理文件中索引配置文件实例如下< ？ xml version = “ 1.0" encoding = 〃 utf-8“ standalone = 〃 no" ？ ><EquipmentIndex><indexstruct><fileinfolist><fileinfo><id>4</id><filename>DeviceTest</filename><submitflg>0</submitflg><filepath>. \Device\DeviceTest. xml</filepath></fileinfo>.........<fileinfo><id>10</id>
<filename>dfdf</filename><submitflg>0</submitflg><filepath>. \Device\dfdf. xml</filepath></fileinfo></fileinfolist></indexstruct></EquipmentIndex>其中，XML文档中各个元素的含义和约束如下<EquipmentIndex>含义代表整个设备索引文档，是XML树结构的根节点<indexstruct>含义代表所有文档结构<fileinfolist>含义设备索引的所有记录集<fileinfo>含义代表一个完整的索引记录约束一个fileinfolist中的若干个fileinfo是有序的，即应当与实际显示顺序 一致<id>含义代表一个记录在文件中的位置。〈filename〉含义代表一个记录的名称。<submitflg>含义代表一个记录的提交标记。约束一个fileinfo中的提交标记为0时，为可编辑状态，在届满可修改设备配置 中的信息；提交标记为1时，为不可编辑状态，此时一般被某个子系统使用中，用户在界面 中不可编辑该设备的配置信息。<filepath>含义代表一个记录对应的设备配置文件所存放的位置。需要说明的是，上述实例仅为本发明的一种优选的实现方式，2)子系统级批量管理文件在系统初始状态时，子系统索引文件是不存在的，当子系统创建保存时，索引文件 连同创建的设备作为索引文件的记录一起存储起来，记录有记录编号的，再次启动系统时， 系统会直接将配置文件载入。子系统级批量管理文件的索引配置文件实例如下< ？ xml version = “ 1.0" encoding = 〃 utf-8“ standalone = 〃 no" ？ ><SubSystemIndex><idxstruct>〈fileinfolist〉944123 A
说明 书6/10页
<fileinfo> <id>2</id>
<filename>test2</filename> <filepath>. \SubSystem\test2. xml</filepath> 〈/fileinfo〉
<fileinfo> <id>8</id>
<filename>sdf〈/filename〉 <filepath>. \SubSystem\sdf. xml</filepath> 〈/fileinfo〉 </fileinfolist> </idxstruct> </SubSystemIndex>
其中，XML文档中各个元素的含义和约束如下 <SubSystemIndex>
含义代表整个子系统索引文档，是XML树结构的根节点
<idxstruct>
含义代表所有文档结构
<fileinfolist>
含义子系统索引的所有记录集
<fileinfo>
含义代表一个完整的索引记录
约束一个fileinfolist中的若干个fileinfo是有序的，即应当与实际显示顺序
<id>
含义代表-〈filename〉 含义代表-<filepath> 含义代表-
个记录在文件中的位置。
个记录的名称。
-个记录对应的设备配置文件所存放的位置。 3)系统级批量管理文件
在系统初始状态时，系统索引文件是不存在的，当系统创建保存时，索引文件连同 创建的设备作为索引文件的记录一起存储起来，记录有记录编号的，再次启动系统时，系统 会直接将配置文件载入。系统级批量管理文件的索引配置文件实例如下< ？ xml version = “ 1.0" encoding = “ utf-8“ standalone = “ no" ？ ><SystemIndex><idxstruct>
<fileinfolist><fileinffo><id>l</id><filename>test l</filename><filepath>. \System\test 1. xml</filepath></fileinfo>..............<fileinfo><id>8</id><filename>test2</filename><filepath>. \System\test2. xml</filepath></fileinfo></fileinfolist></idxstruct></SystemIndex>其中，XML文档中各个元素的含义和约束如下<SystemIndex>含义代表整个系统索引文档，是XML树结构的根节点<idxstruct>含义代表所有文档结构<fileinfolist>含义系统索引的所有记录集<fileinfo>含义代表一个完整的索引记录约束一个fileinfolist中的若干个fileinfo是有序的，即应当与实际显示顺序
一致<id>含义代表一个记录在文件中的位置。〈filename〉含义代表一个记录的名称。<filepath>含义代表一个记录对应的设备配置文件所存放的位置。步骤S102，根据设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理 文件对设备的配置文件进行加载，并显示设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和 系统级批量管理文件对应的设备列表。步骤S103，在对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储对应的索引文 件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照对应设备的配置文件的路径进 行加载，从而实现快速加载。在本发明的实施例中，如果需要对设备级索引文件、子系统级索引文件和系统级
10索引文件中的一个或多个进行更新，则通过LINQ TO XML技术在对应的索引文件中查找需 要更新的节点，并对其进行更新。为了对本发明有更清楚的理解，以下将对设备级批量管理文件、子系统级批量管 理文件和系统级批量管理文件的管理分别进行介绍，当然在本发明中将其划分为设备级、 子系统级和系统级三个级别，然而本领域技术人员也可根据本发明及实际的需要，仅划分 为设备级和系统级三个级别，或者在本发明的基础上再增加级别，这些均基于本发明的思 想，因此也应落入本发明的保护范围之内。1、设备级批量管理文件如图2所示，为本发明实施例的设备级批量管理文件处理流程图，包括以下步骤步骤S201，启动仿真系统。步骤S202，判断设备级文件索引是否存在。如果判断设备级文件索引不存在，则执 行步骤S204。步骤S203，如果判断设备级文件索引存在，载入索引文件。步骤S204，继续启动系统。步骤S205，进入设备层。系统运行时，需要查看某个设备的具体设置时，知道设备 的名称，在设备列表中找到其对应的位置，双击节点，如图3所示。步骤S206，添加设备。当索引文件存在，新添加设备保存时，通过调用LINQ TO XML 去查询索引文件判断索引文件是否含以该名称建立的索引，没有则添加该索引，有则不作 任何操作，设备级还有一个提交功能，用户提交的数据不能在修改，索引文件中包含一个提 交标记，在系统初始化载入的时候，根据索引文件中各个设备标记的不同，在系统中显示不 同，在用户提交设备的时候，需要更新索引文件，会通过LINQ TO XML技术在索引文件中查 找到需要更新的节点。步骤S207，删除设备。系统会取得该节点的名称去存储索引信息的HASH表中快速 查找该设备配置文件的具体路径，获取路径快速载入该设备的配置文件。系统中显示设备 的基数是以屏幕可最大显示记录个数(指设备未展开的状态下能显示记录的个数)的两倍 为准，当通过滚动条滚动或者滑动鼠标中间的滑轮改变记录所在位置，系统自动将获取显 示下方的最后一条记录的记录编号，获取该编号前方1. 5倍最大显示数，后方0. 5倍显示数 为区间的记录，重新显示到界面中。假设基数为72，系统可见的设备树为36，鼠标滚动停止 时系统显示记录的编号为72，此时需要从索引文件中读取的18-90之间的记录，屏幕显示 36-72之间的记录，滚动条滑块停留在中间位置，此时屏幕中可看到当用户删除某一个记录 时，从内存删除设备结构中所具有的该记录信息，利用LINQTO XML技术找到索引文件中该 记录，再从索引中删除存储该记录信息，索引文件中也同样需要删除以该记录名称为名称 的记录。步骤S208，提交设备。步骤S209，保存设备。步骤S210，判断索引文件是否存在。步骤S211，创建对应的索引文件并保存。步骤S212，更新索引。2、子系统级批量管理文件
如图4所示，为本发明实施例的子系统级批量管理文件处理流程图，包括以下步 骤步骤S401，启动仿真系统。步骤S402，判断设备级文件索引是否存在。如果判断设备级文件索引不存在，则执 行步骤S404。步骤S403，如果判断设备级文件索引存在，载入索引文件。步骤S404，继续启动系统。步骤S405，进入子系统层。系统启动后，需要具体查看某个已经配置好的子系统， 或者修改某个已经配置好的子系统，知道该子系统的名称，就可以在界面中找到该节点，双 击该节点，系统获取该子系统的名称，在存有该索引HASH表中查找其对应的键值，也就是 它对应配置文件存储的路径，通过该路径在文件系统中找到其对应的配置文件，载入该配 置文件，如图5所示。步骤S406，添加子系统。当索引文件存在时，系统启动时会自动加载索引文件，当 需要新添加子系统，在保存子系统信息时，会通过LINQ TO XML技术在索引文件中查找是否 含有该子系统名称的索引项，没有则添加该项索引，有则不作任何操作。步骤S407，删除子系统。系统中显示子系统的基数是以屏幕可最大显示记录个 数(指子系统未展开的状态下能显示记录的个数)的两倍为准，当通过滚动条滚动或者滑 动鼠标中间的滑轮改变记录所在位置，系统自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编 号，获取该编号前方1. 5倍最大显示数，后方0. 5倍显示数为区间的记录，重新显示到界面 中。假设基数为72，系统可见的子系统数为36，鼠标滚动停止时系统显示记录的编号为72， 此时需要从索引文件中读取的18-90之间的记录，屏幕显示36-72之间的记录，滚动条滑块 停留在中间位置，此时屏幕中可看到当用户删除某一个记录时，从内存删除设备结构中所 具有的该记录信息，利用LINQ TO XML技术找到索引文件中该记录，再从索引中删除存储该 记录信息，索引文件中也同样需要删除以该记录名称为名称的记录。步骤S408，保存子系统。步骤S409，判断索引文件是否存在。步骤S410，更新索引。步骤S411，创建对应的索引文件并保存。3、系统级批量管理文件如图6所示，为本发明实施例的系统级批量管理文件处理流程图，包括以下步骤步骤S601，启动仿真系统。步骤S602，判断设备级文件索引是否存在。如果判断设备级文件索引不存在，则执 行步骤S604。步骤S603，如果判断设备级文件索引存在，载入索引文件。步骤S604，继续启动系统。步骤S605，进入系统层。系统启动后，需要具体查看某个已经配置好的系统，或 者修改某个已经配置好的系统，知道该系统的名称，在界面中找到该节点，双击该节点，系 统获取该系统的名称，在存有该索引HASH表中查找其对应的键值，也就是它对应配置文件 存储的路径，通过该路径在文件系统中找到其对应的配置文件，载入该配置文件，如图7所不。步骤S606，添加系统。当索引文件存在时，系统启动时会自动加载索引文件，当需 要新添加系统，在保存系统配置信息时，会通过LINQ TO XML技术在系统索引文件中查找是 否含有该系统名称的索引项，没有则添加该项索引，有则不作任何操作。步骤S607，删除系统。系统中显示系统的基数是以屏幕可最大显示记录个数(指 子系统未展开的状态下能显示记录的个数)的两倍为准，当通过滚动条滚动或者滑动鼠标 中间的滑轮改变记录所在位置，系统自动将获取显示下方的最后一条记录的记录编号，获 取该编号前方1. 5倍最大显示数，后方0. 5倍显示数为区间的记录，重新显示到界面中。假 设基数为72，系统可见的子系统数为36，鼠标滚动停止时系统显示记录的编号为72，此时 需要从索引文件中读取的18-90之间的记录，屏幕显示36-72之间的记录，滚动条滑块停留 在中间位置，此时屏幕中可看到当用户删除某一个记录时，从内存删除设备结构中所具有 的该记录信息，利用LINQ TO XML技术找到索引文件中该记录，再从索引中删除存储该记录 信息，索引文件中也同样需要删除以该记录名称为名称的记录。步骤S608，保存系统。步骤S609，判断索引文件是否存在。步骤S610，更新索引。步骤S611，创建对应的索引文件并保存。本发明实现了主要包括设备级批量配置文件管理，子系统级批量配置文件管理， 系统级批量配置文件管理的功能。在设备、子系统、系统的添加，删除时会及时将其对应的 文件名称以及存储路径更新到索引文件中，方便集中管理各级配置文件，这样可以节省载 入相应配置文件的时间，只要知道配置文件名称就可以快速载入对应的配置文件。尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以 理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换 和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。
权利要求
一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特征在于，包括以下步骤分别创建设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件，其中，所述设备级批量管理文件包括设备级索引文件及各个设备的配置文件，所述子系统级批量管理文件包括子系统级索引文件及各个子系统所对应的配置文件，所述系统级批量管理文件包括子系统级索引文件及各个系统所对应的配置文件；根据所述设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件对设备的配置文件进行加载，并显示所述设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件对应的设备列表；在所述对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储所述对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照所述对应设备的配置文件的路径进行加载；如果需要对所述设备级索引文件、子系统级索引文件和系统级索引文件中的一个或多个进行更新，则通过LINQ TO XML技术在对应的索引文件中查找需要更新的节点，并对其进行更新。
2.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，其中以屏幕可最大显示记录个数的两倍为显示设备的基数；当通过滚动条滚动或滑动鼠标中间的滚轮改变记录所在位置时，自动将获取显示下方 的最后一条记录的记录编号；获取所述记录编号前方1. 5倍最大显示数，及后方0. 5倍显示数为区间的记录，并重新 显示在所述屏幕中。
3.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述对设备级索引文件进行更新包括添加设备、删除设备和提交设备。
4.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述对子系统级索引文件进行更新包括添加子系统和删除子系统。
5.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述对系统级索引文件进行更新包括添加系统和删除系统。
6.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述设备级索引文件包括整个设备的索引文档、所有文档结构、设备索引的所有记 录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存 放的位置。
7.如权利要求6所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述设备级索引文件还包括每个设备对应有提交标记，所述提交标记表明对应的 设备是否被提交。
8.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述子系统级索引文件包括整个子系统索引文档、所有文档结构、子系统索引的所 有记录集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件 所存放的位置。
9.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，其特 征在于，所述系统级索引文件包括整个系统索引文档、所有文档结构、系统索引的所有记录 集、完整的索引记录、记录在文件中的位置、记录的名称和记录对应的设备配置文件所存放 的位置。
全文摘要
本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法，包括分别创建设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件；根据所述设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件对设备的配置文件进行加载，并显示所述设备级批量管理文件、子系统级批量管理文件和系统级批量管理文件对应的设备列表；在所述对应的设备列表中选择设备，并根据设备名称在存储所述对应的索引文件的HASH表中查找对应设备的配置文件的路径，以及按照所述对应设备的配置文件的路径进行加载。
文档编号G06F17/30GK101944123SQ20101029025
公开日2011年1月12日 申请日期2010年9月25日 优先权日2010年9月25日
发明者徐华, 赖太阳 申请人:清华大学