1.一种无硅片的测量流程编译方法，其包括：
-输入晶圆数据文件；
-从所述晶圆数据文件之中提取至少一种第一参数；以及
-根据所述至少一种第一参数生成测量流程编译文件。
2.根据权利要求1所述的测量流程编译方法，其中，所述方法还包括：
-保存所述测量流程编译文件，以指示晶圆处理系统按照所述测量流程编译文件来运行从而处理所述晶圆。
3.根据权利要求1所述的测量流程编译方法，其中，所述测量流程编译方法在线下自动地执行。
4.根据权利要求1所述的测量流程编译方法，其中，所述测量流程编译文件包括：
-步骤测量流程编译文件；和/或
-模型测量流程编译文件。
5.根据权利要求4所述的测量流程编译方法，其中，
-当所述测量流程编译文件为步骤测量流程编译文件时，所述至少一种第一参数包括：
-晶圆小片信息；
-对齐位置信息；
-测量位置信息；和/或
-定位键文件，或者
-当所述测量流程编译文件为模型测量流程编译文件时，所述至少一种第一参数包括：
-模型数据。
6.根据权利要求5所述的测量流程编译方法，其中，当所述测量流程编译文件为模型测量流程编译文件时，根据所述至少一种第一参数生成测量流程编译文件的步骤包括：
-选择光学测量计量台；
-选择波长范围；和/或
-选择滤波器。
7.根据权利要求6所述的测量流程编译方法，其中，所述滤波器包括25％的滤波器、50％的滤波器和/或100％的滤波器。
8.根据权利要求4所述的测量流程编译方法，其中，所述步骤测量流程编译文件包括小片映射、测量组、影像文件和/或定标流程，其中，所述映像文件被配置为转换为影像图案，所述影像图案为明式图示或者暗式图案。
9.根据权利要求5所述的测量流程编译方法，其中，所述晶圆小片信息包括小片大小和原始的小片位置。
10.根据权利要求5所述的测量流程编译方法，其中，当所述测量流程编译文件为步骤测量流程编译文件时，根据所述至少一种第一参数生成测量流程编译文件的步骤包括：
-根据所述晶圆小片信息产生小片映射；
-根据所述测量位置信息产生测量组；
-将定位键文件转换为影像文件；和/或
-根据对齐位置信息产生定标流程。