专利名称：一种清洗机篮筐的制作方法
技术领域：
一种清洗机篮筐技术领域：
本实用新型涉及硅片清洗领域，尤其是涉及ー种在硅片清洗エ序中装载花篮的清洗机篮筐。背景技术：
公知的，硅片清洗做为硅片生产流程的最后一道エ序，其操作最为频繁，而且其清洗效率也将直接影响到硅片的成品率，因此， 硅片清洗的操作在硅片生产中属于至关重要的步骤之一；目前，在实际操作中发现，现有硅片清洗机的篮筐如果装不满花篮的话，花篮在清洗过程中容易出现倾倒或压篮等现象，严重时会导致整篮硅片的损坏，如果将篮筐装满的话，不但装篮时费时费カ，且多个花篮之间会产生挤压，而挤压过度的话也会造成花篮内的硅片边缘破损；其次，现有清洗机的篮筐分为单晶硅片用篮筐和多晶硅片用篮筐两种，即单晶硅片用篮筐只能安放单晶硅花篮，多晶硅片用篮筐只能安放多晶硅花篮，这导致了在清洗不同的硅片时需要选择更换不同的篮筐，从而造成操作人员的劳动强度増大；此外，在硅片的清洗烘干过程中，由清洗烘干隧道出来的清洗机篮筐温度较高，操作人员必须使用隔热手套防护才能进行下一歩的相关操作，但是，由于高温、摩擦或干燥等原因，清洗机的篮筐会带有大量的静电，而现有的隔热手套又不能防静电，这时一般是通过其他工具释放完静电再进行下一歩操作，因而导致了生产效率较低。
发明内容为了克服背景技术中的不足，本实用新型提供了一种清洗机篮筐，所述的篮筐不但能够安放单晶硅花篮和多晶硅花篮，并且在清洗过程中不会发生篮筐内花篮倾倒或压篮现象，同时所述的篮筐还能够有效的处理静电影响。为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案一种清洗机篮筐，所述的篮筐包含篮筐本体、挡杆和导电体；所述的篮筐本体两端上边框中部固定设有两根有间距的多晶硅花篮挡杆，在篮筐本体两端上边框的下部面活动连接有两根单晶硅花篮挡杆，且两根单晶硅花篮挡杆位于多晶硅花篮挡杆的两侧；所述的篮筐本体两端端面的对角位置分别安装有一块对应清洗机中感应装置的挡板；所述的篮筐本体下边框的角端设有接地的导电体。所述的清洗机篮筐，所述的单晶硅花篮挡杆的两端分别与对应的篮筐本体上边框定位卡接。所述的清洗机篮筐,所述的单晶娃花篮挡杆一端与对应的篮筐本体上边框活动套接，另一端通过螺纹与固定安装在篮筐本体上边框对应位置的螺帽丝接。由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果本实用新型所述的清洗机篮筐不但能够通过装卸挡杆达到安放单晶硅花篮和多晶硅花篮的目的，为使用方节省生产成本，而且在清洗过程中不会使篮筐内的花篮发生倾倒或压篮现象，从而相应提高了硅片的成品率；此外，所述的篮筐还能够有效的释放静电，即在保证操作安全的前提下提高了生产效率。
[0014]图I是本实用新型的示意图。图中1、篮筐；2、单晶硅花篮挡杆；3、多晶硅花篮挡杆；4、导电体；5、挡板。
具体实施方式
通过下面的实施例可以更详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的g在保护本实用新型范围内的一切变化和改进，本实用新型并不局限于下面的实施例；结合附图I所述的清洗机篮筐，所述的篮筐包含篮筐本体I、挡杆和导电体4 ;所述的篮筐本体I两端上边框中部固定设有两根有间距的多晶硅花篮挡杆2，即能够通过多晶硅花篮挡杆2和篮筐本体I的侧边框使安放在篮筐本体I内的多晶硅花篮得到牢固定位；在篮筐本体I两端上边框的下部面活动连接有两根单晶硅花篮挡杆3，即能够通过单晶硅花篮挡杆3和篮筐本体I的侧边框使安放在篮筐本体I内的单晶硅花篮得到牢固定位，同吋，由于单晶硅花篮挡杆3和对应的篮筐本体I上边框之间是活动连接的，因此，在清洗时只需通过装卸所述的单晶硅花篮挡杆3即能够达到在篮筐本体I内安放单晶硅花篮或多晶 硅花篮的目的；为更便于装卸所述的单晶硅花篮挡杆3，能够将每一根单晶硅花篮挡杆3的两端分别与对应的篮筐本体I上边框定位卡接；或者，将每ー根单晶硅花篮挡杆3的一端与对应的篮筐本体I上边框活动套接，将该根单晶硅花篮挡杆3的另一端通过螺纹与固定安装在篮筐本体I上边框对应位置的螺帽丝接；所述的两根单晶硅花篮挡杆3位于多晶硅花篮挡杆2的两侧，从而能够满足单晶硅花篮和多晶硅花篮的不同尺寸要求；所述的篮筐本体I两端端面的对角位置分别安装有一块对应清洗机中感应装置的挡板5，即通过挡板5提高清洗机上感应装置的感应准确度，从而避免感应失误的现象发生；为释放静电，能够在所述的篮筐本体I下边框的角端安装设置ー始終接地的导电体4，即当所述的篮筐移动时，所述的导电体4能够始终接地以释放所述篮筐上的静电。实施本实用新型所述的清洗机篮筐，当清洗多晶硅吋，就把单晶硅花篮挡杆3拆卸下来，通过多晶硅花篮挡杆2对多晶硅花篮进行定位，使多晶硅花篮不能偏移或倾倒；当清洗单晶硅时，则把单晶硅花篮挡杆3固定安装在篮筐本体I上，通过单晶硅花篮挡杆3对单晶硅花篮进行定位，使单晶硅花篮不能偏移或倾倒；在清洗过程中，当所述的篮筐到达指定位置吋，清洗机上的光电开关通过挡板5准确感应到有料，并将有料信息传送至PLC，PLC在收到信息后机械臂不会向同一位置吊装所述的篮筐，从而有效防止了压篮事故的发生；同吋，由于所述的导电体4始終与地接触释放着静电，所以操作人员能够直接使用隔热手套对由清洗烘干隧道出来的所述篮筐进行下一歩的相关操作。以上内容中未细述部份为现有技术，故未做细述。
权利要求1.一种清洗机篮筐，其特征是所述的篮筐包含篮筐本体(I)、挡杆和导电体(4);所述的篮筐本体(I)两端上边框中部固定设有两根有间距的多晶硅花篮挡杆(2)，在篮筐本体(I)两端上边框的下部面活动连接有两根单晶硅花篮挡杆(3)，且两根单晶硅花篮挡杆(3)位于多晶硅花篮挡杆(2)的两侧；所述的篮筐本体(I)两端端面的对角位置分别安装有一块对应清洗机中感应装置的挡板(5);所述的篮筐本体(I)下边框的角端设有接地的导电体⑷。
2.根据权利要求I所述的清洗机篮筐，其特征是所述的单晶硅花篮挡杆(3)的两端分别与对应的篮筐本体(I)上边框定位卡接。
3.根据权利要求I所述的清洗机篮筐，其特征是所述的单晶硅花篮挡杆(3)—端与对应的篮筐本体(I)上边框活动套接，另一端通过螺纹与固定安装在篮筐本体(I)上边框对应位置的螺帽丝接。
专利摘要一种涉及硅片清洗领域的清洗机篮筐，所述的篮筐包含篮筐本体、挡杆和导电体；所述的篮筐本体两端上边框中部固定设有两根有间距的多晶硅花篮挡杆，在篮筐本体两端上边框的下部面活动连接有两根单晶硅花篮挡杆，且两根单晶硅花篮挡杆位于多晶硅花篮挡杆的两侧；所述的篮筐本体两端端面的对角位置分别安装有一块对应清洗机中感应装置的挡板；所述的篮筐本体下边框的角端设有接地的导电体；所述的篮筐不但能够安放单晶硅花篮和多晶硅花篮，并且在清洗过程中不会发生篮筐内花篮倾倒或压篮现象，同时所述的篮筐还能够有效的处理静电影响。
文档编号H01L21/67GK202394850SQ20112055878
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月28日 优先权日2011年12月28日
发明者任祖江, 周积勋, 张磊, 智兵强, 智旭强, 朱晓磊, 聂传付, 谷金升, 邓占鹏, 霍得生 申请人:上海超日(洛阳)太阳能有限公司