用于触摸输入和触觉反馈应用的集成式压电悬臂致动器和晶体管的制作方法

文档序号:11160748阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种装置,包括:

晶体管,所述晶体管包括至少源电极、漏电极和栅电极;以及

包括压电材料的悬臂致动器,

其中,所述悬臂致动器通过所述晶体管的所述栅电极电绝缘地但机械地连接到所述晶体管并且与所述晶体管集成,

其中,所述悬臂致动器包括与所述源电极、所述漏电极和所述栅电极分离的至少两个电极,其中,所述至少两个电极包括第一电极和第二电极,并且

其中,所述至少两个电极允许与通过所述源电极、所述漏电极和所述栅电极访问所述晶体管独立地同时致动所述悬臂致动器。

2.如权利要求1所述的装置,还包括:耦接到所述晶体管的至少所述源电极、所述漏电极和所述栅电极的感测电路,其中,所述感测电路配置为通过感测所述晶体管的阈值电压的变化来检测施加到所述悬臂致动器的压力。

3.如权利要求2所述的装置,其中,所述压电材料包括热电材料,并且其中,所述感测电路配置为检测所述悬臂致动器周围的环境温度。

4.如权利要求1所述的装置,还包括:耦接到所述悬臂致动器的所述至少两个电极的触觉反馈电路。

5.如权利要求4所述的装置,其中,所述触觉反馈电路配置为生成直流(DC)信号或交流(AC)信号,以偏转所述悬臂致动器。

6.如权利要求5所述的装置,其中,所述触觉反馈电路配置为生成直流(DC)信号并模拟从表面升起的按钮。

7.如权利要求5所述的装置,其中,所述触觉反馈电路配置为生成交流(AC)信号和抖动效应。

8.如权利要求1所述的装置,其中,所述悬臂致动器包括PVDF,和/或所述悬臂致动器包括附接在所述压电材料的远离所述晶体管的远端处的负载。

9.如权利要求1所述的装置,其中,所述晶体管包括以下各项中的至少一项:交错式底栅薄膜晶体管(TFT)、共面底栅TFT、交错式顶栅TFT和共面顶栅TFT。

10.如权利要求1所述的装置,其中,所述晶体管和所述悬臂集成在显示设备中,其中,所述显示设备是电子设备的一部分,所述电子设备包括以下各项中的至少一种:移动设备、蜂窝式电话、笔记本电脑、平板电脑、媒体播放器、全球定位系统(GPS)设备和电子书阅读器。

11.如权利要求1所述的装置,其中,所述晶体管还包括:

第一半导体沟道区;

第二半导体沟道区;

在所述第一半导体沟道区和所述第二半导体沟道区上的介电层;和

在所述第一半导体沟道区和所述第二半导体沟道区上的压电层,

其中,所述栅电极在所述第一半导体沟道区上和所述第二半导体沟道区上延伸。

12.如权利要求11所述的装置,其中,所述第一半导体沟道区包括p-型半导体,并且其中,所述第二半导体沟道区包括n-型半导体。

13.如权利要求12所述的装置,还包括:

耦接到所述第一半导体沟道区的第一源电极;

耦接到所述第二半导体沟道区的第二源电极;和

耦接到所述第一半导体沟道区并耦接到所述第二半导体沟道区的漏电极。

14.如权利要求13所述的装置,还包括:

耦接到所述第一源电极和所述漏电极的第一传感器电路,其中,所述第一传感器电路配置为测量所述压电层内的压电效应;和

耦接到所述第二源电极和所述漏电极的第二传感器电路,其中,所述第二传感器电路配置为测量所述压电层内的热电效应。

15.一种能够向用户提供触觉反馈的电子设备,所述电子设备包括:

触觉反馈设备的阵列,其中,所述触觉反馈设备的阵列中的至少一个触觉反馈设备包括:

晶体管,所述晶体管包括至少源电极、漏电极和栅电极;和

包括压电材料的悬臂致动器,

其中,所述悬臂致动器通过所述晶体管的所述栅电极电绝缘地但机械地连接到所述晶体管并且与所述晶体管集成,

其中,所述悬臂致动器包括与所述源电极、所述漏电极和所述栅电极分离的至少两个电极,其中,所述至少两个电极包括第一电极和第二电极,并且

其中,所述至少两个电极允许与通过所述源电极、所述漏电极和所述栅电极访问所述晶体管独立地同时致动所述悬臂致动器。

16.如权利要求15所述的实现触觉反馈的设备,还包括:与所述触觉反馈设备的阵列耦接的处理器,其中,所述处理器配置为接收来自所述触觉反馈设备的阵列的信号,并且配置为基于所接收的信号确定用户输入,或者所述处理器配置为确定触觉反馈感觉以提供给用户,并且配置为生成信号,当该信号被提供给所述触觉反馈设备的阵列时导致所述用户接收所确定的触觉反馈感觉。

17.如权利要求15所述的实现触觉反馈的设备,还包括:显示设备,其中,所述触觉反馈设备的阵列位于所述显示设备上。

18.一种方法,包括:

通过晶体管来检测指示对电子设备的用户输入的压电膜的感应电荷的变化,其中,所述压电膜与所述晶体管电绝缘,但机械地连接到所述晶体管;

通过耦接到所述晶体管的处理器,至少部分地基于所述感应电荷的变化来确定是否有对传感器的压力,其中,所述感应电荷的变化是至少部分地基于耦接到所述压电膜的晶体管的阈值电压来确定的;

通过所述处理器,至少部分地基于所确定的所述传感器处的压力来处理所述用户输入;和

通过所述处理器,至少部分地基于所接收的用户输入来执行操作。

19.如权利要求18所述的方法,还包括:向所述传感器的所述压电膜输出信号,其中,该信号引起所述传感器的致动器运动,其中,该信号包括被选择以使所述致动器运动确定的距离的直流(DC)信号;或者,向所述传感器的所述压电膜输出信号,其中,该信号包括被选择以在所述致动器中引起振动的交流(AC)信号。

20.如权利要求18所述的方法,其中,检测感应电荷中的所述变化的步骤和向所述传感器的所述压电膜输出所述信号的步骤是同时执行的。

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