用于触摸输入和触觉反馈应用的集成式压电悬臂致动器和晶体管的制作方法

文档序号:11160748阅读:来源:国知局
技术总结
可以生成用户反馈并且可以通过集成到电子设备中的单个半导体元件来接收用户输入。单个半导体元件可以包括与晶体管(例如薄膜晶体管)集成的压电悬臂致动器,使得致动器与晶体管电绝缘但机械地附接到晶体管。一种集成方式是将致动器的压电薄膜延伸到晶体管的栅电极叠层中。悬臂致动器可以被控制以提供触觉反馈。可以通过与悬臂致动器集成的晶体管而与悬臂致动器的控制独立地并且可能同时地接收用户输入。

技术研发人员:杰西·阿方索·卡拉韦奥·福乐易斯卡斯;易普拉辛·胡韦什;穆罕默德·N·阿尔迈德豪恩;里达·贝拉
受保护的技术使用者:沙特基础工业全球技术公司
文档号码:201680000914
技术研发日:2016.06.03
技术公布日:2017.05.10

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