FBAR设计及设计检验方法与流程

文档序号:17697021发布日期:2019-05-17 21:39阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种FBAR设计及设计检验方法。把应用需求转化为技术要求的输入,从关键指标开始,通过理论基础,建立仿真模型,进行优化,再而制备初样。从理论到设计,再到生产,而对生产制品逆推设计参数,使得可以和制备前设计比较,建立起设计和产品之间相互推演的关系,即实现设计和设计检验。本发明是对FBAR应用在滤波器和功分器上的设计,提供一套系统的,行之有效的方法,使得能够对FBAR进行设计,并在设计实现过程中去解决存在的一些问题,结合考虑工艺以能够制备实现,这样包括设计检验部分,能够对设计和制备之间可循环流程,以进一步改进。

技术研发人员:李国强
受保护的技术使用者:河源市众拓光电科技有限公司
技术研发日:2018.11.28
技术公布日:2019.05.17
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