产品检查的有效性验证装置以及其方法

文档序号:8512508阅读:495来源:国知局
产品检查的有效性验证装置以及其方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种产品检查的有效性验证装置以及其方法,更详细而言,涉及一种 检查产品后,能够确认所进行的检查是否有效的产品检查的有效性验证装置以及其方法。
【背景技术】
[0002] 广泛用于电子产业领域的基板、晶片等通过检查装置检查不良。例如,利用摄像机 拍摄作为检查对象的产品,然后分为良好与不良。
[0003] 在检查装置安置需要检查的对象并操作参数进行检查。但是,要确认检查是否进 行得正常时,要从装置取出产品后放显微镜或放大镜上面确认检查不良的真伪,因此,非常 不方便。在视觉装置(vision setting)未经正常验证的状态下开始进行一系列自动化工 作而生产产品(自动运行)时,将会发生生产产品的检查错误,并降低检查装置的检查能力 以及收率。由此,检查装置的检查能力及收率取决于一级检查设备操作者,而教育初级检查 设备操作者则需要很长时间。

【发明内容】

[0004] 本发明是为解决所述问题点而提出的,其目的在于,提供一种能确认产品检查是 否有效的产品检查的有效性验证装置以及其方法。
[0005] 本发明的目的并不局限于此,对于未提及的其他目的,本领域的技术人员可通过 以下记载将会明确理解。
[0006] 为达成所述目的,根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置,其用于 验证通过输送机传送而来的产品的不良检查是否有效,其中包括:多个影像处理模块,基于 通过设置于所述输送机上的各摄像机拍摄的影像分别检测出所述产品的不良信息,根据所 述不良信息分别判断所述产品的不良与否而生成个别检查结果值;中央处理模块,合计所 述各个别检查结果值而生成所述产品的最终检查结果值,并合计所述各不良信息而生成整 体不良信息;以及有效性验证模块,将所述整体不良信息显示于一个影像中,并与事先存储 的检查基准书进行比较而验证所述最终检查结果值的有效性。
[0007] 为达成所述目的,根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法,其中,包 括:获取对检查对象产品进行拍摄的影像、所述产品的不良信息以及所述产品的个别检查 结果值的步骤;合计所述个别检查结果值而生成所述产品的最终检查结果值,合计所述不 良信息而生成整体不良信息的步骤;在所述产品的主影像显示所述整体不良信息的步骤; 基于所述显示的不良信息与检查基准书进行比较而验证所述最终检查结果值的真伪的步 骤;以及基于所述验证结果重新设定所述最终检查结果值,然后重新分类所述产品的步骤。
[0008] 本发明的其他具体事项包含于详细说明及图中。
[0009] 发明效果
[0010] 根据本发明,能够验证是否有效地进行了特定产品的检查,并据此改变为自动运 行模式,而能连续自动检查试料。 toon] 由于在自动运行模式之前能进行设定参数及确认设定值是否有错的过程,因此, 能提高检查装置的可靠性。
【附图说明】
[0012] 图1是在输送机检查产品的示意图。
[0013] 图2是根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置的构造框图。
[0014] 图3是示出连接于图2的产品检查的有效性验证装置的设备的构造框图。
[0015] 图4是示出图2的产品检查的有效性验证装置的传感器模块的位置的图。
[0016] 图5是示出图2的产品检查的有效性验证装置的传感器模块的光束图案及输出特 性文件的图。
[0017] 图6是图2的产品检查的有效性验证装置的影像处理模块的详细构造框图。
[0018] 图7是图2的产品检查的有效性验证装置的中央处理模块的详细构造框图。
[0019] 图8是用于说明图2的产品检查的有效性验证装置的重新检查过程的图。
[0020] 图Θ是图2的产品检查的有效性验证装置的有效性验证模块的详细构造框图。
[0021] 图10是示出通过图2的产品检查的有效性验证装置获得的影像的图。
[0022] 图11是示出根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法的顺序的顺序 图。
[0023] 图12是示出在执行图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法 之后,在自动运行模式下的产品检查方法的顺序的顺序图。
[0024] 图13是示出图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法的动作 序列的图。
[0025] 图14是示出在执行图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法 之后,在自动运行模式下的产品检查方法的动作序列图。
[0026] 符号说明:
[0027] 100 :产品检查的有效性验证装置,110 :影像处理模块,120 :中央处理模块,130 : 有效性验证模块,140 :传感器模块,150 :显示模块
【具体实施方式】
[0028] 本发明的优点、特征以及达成所述目的的方法通过附图及后述的详细说明将会明 确。但是,本发明并不局限于以下所述的实施例而可体现为各种不同的形态,以下实施例用 来使本发明更加明确,并对本发明所属领域的技术人员提供完整的技术范围。本发明仅由 权利要求范围而决定。在整个说明书中,对相同的构成要素标注相同的符号。
[0029] 第一、第二等序数的用语用于说明各种元件、构成要素及/或部分而使用,但所述 元件、构成要素及/或部分并不限定于所述用语。所述用语仅用来区别一个元件、构成要素 及/或部分与另一个元件、构成要素及/或部分。因此,以下所述的第一元件、第一构成要 素或第一部分在本发明的技术思想内也可为第二元件、第二构成要素或第二部分。
[0030] 在本说明书中使用的术语是用来说明实施例而已,并不限定本发明。本说明书中, 没有特别说明的情况下,单数形态也包括复数形态。说明书中使用的"包括(comprises)" 及/或"由~而成(made of)",所提及的构成要素、步骤、动作及/或元件不排除一个以上 的其他构成要素、步骤、动作及/或元件的存在或附加。
[0031] 在没有其他定义时,在本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可使 用为本发明所属领域的技术人员能共同理解的含义。而且,在没有特别定义时,不得夸张解 释词典上词义。
[0032] 以下,参照附图详细说明本发明。
[0033] 图1是在输送机检查产品的示意图。图2是根据本发明的一实施例的产品检查的 有效性验证装置的构造框图。
[0034] 根据图1,产品P传送到输送机11,获取传感器(Grab sensor) 142感应产品P,位 于输送机11上部的摄像机21拍摄产品P,然后,分析所拍摄的产品P以检测出产品P的瑕 疵。此处,获取传感器142是用于获取影像的传感器,每当感应到从输送机11传送而来的 产品P时,摄像机21进行拍摄而获取影像,然后进行检查,经过设定时间后停止。获取影像 时,根据要检查的产品P的瑕疵设置各种照明装置27。若影像处理模块110从获取传感器 142收到获取影像的指令时,照明装置27和摄像机21被同步化而获取影像。
[0035] 根据图2,根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置100验证对由输 送机11传送而来的产品P的不良检查是否有效,并具备:多个影像处理模块110、中央处理 模块120、有效性验证模块130、传感器模块140以及显示模块150等。此处,产品P包括基 板、晶片等可基
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